一、CVD过程中典型的化学反应 二、CVD过程的热力学 三、 CVD过程的动力学 四、CVD过程的数值模拟技术 五、CVD薄膜沉积装置

本书的内容在化学基本理论和基本知识方面主要包括热化学，化学反应的方向、程度和速率，水化学，电化学，物质结构基础以及金属元素化学，非金属元素化学，有机高分子化合物等；在联系工程实际方面主要包括能源、大气污染、水污染、金属腐蚀及防止、金属材料及表面处理、非金属材料、有机高分子材料及改性等。在内容安排上，全书在基本理论和基本知识方面主要贯穿两条主线。前一条是从宏观的热化学开始，引入一些化学热力学和化学动力学基础，并在水化学和电化学中予以应用。后一条是从微观的物质结构基础开始，联系周期系，重点阐述一些与工科有关的典型物质的性质及应用。这两条主线，既各有其侧重面，又互有关联。同时各章均有侧重联系工程实际的专题，主要是有关能源、环境化学和材料化学方面的内容

1刚体模型 2刚体运动的描述 3刚体动力学 4角动量守恒 5刚体的动能

一.配位取代(substitution)反应 反应机理: 计量关系, 速率方程 深层次的机理研究,影响反应速率的因素 中心离子 的电子结构(LFSE, HS, LS), 价态, 半径 离去基团(leaving group) ( 和M的作用) 进入基团(entering group) (有影响或者无影响) 旁位基团(spectator ligands) (例如, 对位效应) 空间效应(steric effects)

1 基本要求 [TOP] 1.1 掌握基元反应、总包反应、反应级数、反应分子数等基本概念。 1.2 掌握简单级数反应的微分和积分速率方程及确定反应级数的方法

一般化学反应又称热反应(thermal reaction)。而由光照射 而引起的化学反应称为 光 化 学 反 应 , 简 称 光化反应 (photochemical reaction)

一. 对峙反应 复杂反应: 由两个或两个以上的基元反应组成的反应。典型的 复杂反应有对峙反应、平行反应、连续反应和链反应。 正、逆两个方向都能进行的反应称为对峙反应(opposing reaction), 又称为对行反应或可逆反应

积分法(integration method)也称尝试法。将不同时刻的反 应物浓度数据代入各简单级数反应的积分速率方程中, 若计算 结果与某级反应的积分速率方程符合, 则此反应为该级反应。 应用此法时实验数据的浓度变化范围应足够大, 否则难以判明 反应级数

一. 计量方程与机理方程 计量方程: 只表示反应前后的物料平衡关系。例如: 2O3⎯→3O2 机理方程: 表示实际反应过程(反应历程)的方程

催化作用(catalysis): 一种或多种少量的物质, 能使化学反应的 速率显著增大, 而这些物质本身在反应前后的数量 及化学性质都不改变的现象。 催化剂(catalyst): 起催化作用的物质。 自催化剂(autocatalyst): 反应过程中自发产生的催化剂, 是一种 (或几种)反应的产物或中间产物。产生自催化剂的 现象称为自催化作用(autocatalysis)