光刻的目的和意义第四章已做过简单的描 述,这一章主要介绍基本光刻工艺中的表面准 备至曝光的工艺步骤及光刻胶的特性

对于中规模、大规模和某些VLSI的IC，前面介绍的基本光刻工艺完全适用，然而 ，对于ULSI/VLSI IC 这些基本工艺已经明显力不能及。在亚微米工艺时代，某些光刻工艺在0.3µm以下明显显示出它的局限性。存在地问题主要包括：光学设备的物理局限；光刻胶分辨率的限制；晶园表面的反射现象和高低不平现象等

第十四章紫外一可见 分光光度法 第一节光学分析概论 一、电磁辐射和电磁波谱 二、光学分析法及其分类 三、光谱法仪器—分光光度计

1. 恒星光谱分类 2. 星系星族分析 3. 星系自转速度 4. 星际消光 5. 活动星系分类 6. 恒星形成率 7. 测量气体电子密度 8. 测量气体电子温度 9. 测量星系金属丰度

第一节 光学分析概论 一、电磁辐射和电磁波谱 二、光学分析法及其分类 三、光谱法仪器——分光光度计 第二节 紫外-可见吸收光谱 一、紫外-可见吸收光谱的产生 二、紫外-可见吸收光谱的电子跃迁类型 三、相关的基本概念 四、吸收带类型和影响因素

CD-ROM光盘驱动器是用来从光盘中读出信息的装置，CD-ROM驱 动器根据安装方式分有内置式和外置式两种；按与计算机的接口方式 有IDE接口和SCSI接口；按数据传输率分为4倍速、8倍速、24倍速、 48倍、52倍速度等。CD-ROM光盘驱动器是一个光学、机械和电子 技术结合的产物，它包括机械部分、光学部分和控制系统

随着教学改革的不断深入，有机化学教学在课程体系、教学内容、教学手段和 教学模式等方面都有了新的变化。为了适应这种形势的需要，许多教师开始编写新 的既能涵盖有机化学基本概念、基本理论、基本方法、基本反应及机理，又能反映 时代特色和学科发展方向的新教材。同时，为了方便师生的交流和让学生掌握更多 的学习主动权，最近几年出版的新教材大多附有电子光盘，光盘的内容可以是教材 内容的分类、归纳和补充，也可以是教学计划和教学方法等

一、杨氏双缝干涉实验 例1在杨氏双缝干涉实验中,用波长=589.3nm的纳灯作光源,屏幕距双缝的距离d=800mm,问: (1)当双缝间距1mm时,两相邻明条纹中心间距是多少? (2)假设双缝间距10mm,两相邻明条纹中心间距又是多少?

第四节各种化合物的典型光谱续 一、脂肪烃类化合物 二、芳香族化合物 三、醇、酚、醚 四、羰基化合物 五、含氮化合物

第四节各种化合物的典型光谱 一、脂肪烃类化合物 二、芳香族化合物 三、醇、酚、醚 四、羰基化合物 五、含氮化合物