济南大学材料科学与工程学院《现代材料测试方法》ppt课件，吴海涛主讲。主要内容包括光学显微分析、X—

电子显微分析技术及其在材料科学中的应用内容，主要从光学的角度分析了电子显微的技术。

、透射电子显微镜、复型技术、电子衍射原理、晶体薄膜衍衬成像分析、扫描电子显微镜、电子探针显微分析等

微小、结构简单、肉眼直接看不见，必须借助光学显微镜或电子显微镜放大数百倍、数千倍，甚至数万倍才能观

《现代分析测试SEM-扫描电子显微镜与电子探针显微分析》教学课件：扫描电子显微镜（ScanningE

▪概述 ▪电子衍射原理 ▪电子显微镜中的电子衍射 ▪单晶电子衍射花样标定 ▪复杂电子衍射花样

主要优点:放大倍数大、制样方便、分辨率高、景深 大等 目前广泛应用于材料、生物等研究领域 扫描电子显微镜的成象原理和光学显微镜、透射电子 显微镜均不同,它不是以透镜放大成象,而是以类似 电视摄影显象的方式、用细聚焦电子束在样品表面扫 描时激发产生的某些物理信号来调制成象,近年扫描 电镜多与波谱仪、能谱仪等组合构成用途广泛的多功 能仪器

一、电子探针的原理 二、电子探针仪的结构 三、波谱仪(WDS) 四、能谱仪(EDS) 五、电子探针仪分析方法

❖ 第一节 电子光学基础 ❖ 第二节 电子与固体物质的相互作用 ❖第三节 透射电镜（TEM） ❖第四节 扫描电镜 ❖第五节 电子探针(Electron Micro￾probe Analysis, EMPA or EPMA) 第六节 扫描隧道显微镜 (STM) 第七节 原子力显微镜 (AFM) 第八节 电子显微镜分析在材料研究中的应用 ❖ 一、形态、精度的分析 ❖ 二、元素的存在状态分析 ❖ 三、玻璃的非晶态结构分析 ❖ 四、材料断面的研究 ❖ 五、晶界（微观研究） ❖ 六、微区结构分析 ❖ 七、高分子材料的研究

◼ 1 电镜的结构与成象 ◼ 2 电镜中的电子衍射及分析 1）斑点花样（原理、实验方法、指数标定及应用） 2）菊池线花样 （原理、指数标定、应用） 3）会聚书束花样 （原理、实验方法、指数标定及应用） ◼ 3 电镜显微图象解释 1）复形象 2）衍衬象 3）相位象 ◼ 4 扫描电子显微术 ◼ 5 X射线显微分析和俄歇能谱分析