5.1 数控铣床的分类与功能 5.2 数控铣床的工艺装备 5.3 零件图纸的数据处理 5.4 数控铣削加工工艺处理 5.5 数控铣削加工程序编制 5.6 数控铣削加工编程实例

【智能系统】模糊PID的超前支护装备支撑力自动控制系统编辑部

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超精密光学元件是决定高端装备性能的核心元件，在大科学装置、精密仪器等领域中被广泛应用。对光学元件进行高精度检测是保证元件质量的重要途径。光学检测技术因具有非破坏性、高精度而成为光学元件检测的有效技术。首先，对超精密光学元件主要检测技术进行了综述，重点介绍技术原理、研究现状和应用瓶颈；其次，针对光学检测技术中的相位解调问题，以波长移相测量技术为例，结合超精密平面光学元件检测，概述了相位解调算法的原理与实现过程，并对其性能进行综合评估；最后，展望光学元件检测技术的未来发展趋势

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