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SiC作为一种综合性能优异宽禁带半导体,在金属氧化物半导体场效应晶体管中具有广泛的应用。然而SiC热氧化生成SiO2的过程具有各向异性,导致不同晶面上的氧化速率差异较大,这会对半导体器件的性能产生不利影响,因而研究SiC各个晶面上SiO2的生长规律尤其重要。建立有效合理的动力学模型是认识上述规律的有效手段。本文从反应机理和拟合准确度两方面对目前具有代表性的改进的Deal-Grove模型(Song模型和Massoud经验关系式)以及硅碳排放模型(Si?C emission model)进行系统研究和比较。在此基础上,分析已有模型的优缺点,提出本课题组建立的真实物理动力学模型应用的可能性,为SiC不同晶面氧化动力学的准确描述提供进一步优化和修正思路
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§9.1 引言 1.化学动力学的目的和任务 3.反应机理的概念 2.化学动力学发展简史 §9.2 反应速率和速率方程 1.反应速率的表示法 2.反应速率的实验测定 3.反应速率的经验表达式 4.反应级数 5.质量作用定律 6.速率常数 §9.3 简单级数反应的动力学规律 §9.4 反应级数的测定 §9.5 温度对反应速率的影响 1.阿累尼乌斯(Arrhenius) 经验公式 2.活化能的概念及其实验测定 3.阿累尼乌斯公式的应用 §9 .6 双分子反应的简单碰撞理论 1. 碰撞频率Z的求算 2. 有效碰撞分数q的计算 3. 速率常数k的计算 4. 碰撞理论的成功与失败 §9.7 基元反应的过渡态理论大意 §9.8 单分子反应理论简介
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第5章 机械振动基础 单自由度系统 二自由度系统 多自由度系统 随机振动的响应分析 第6章 路面输入及其模型 路面测量技术及数据处理 路面不平度的功率谱密度 空间频率功率谱密度转化为时间频率功率谱密度 路面不平度对汽车的输入功率谱密度 第7章 汽车部件垂向动力学 弹簧 减振器 橡胶金属元件 第8章 人体对振动的反应 概述 舒适性评价标准 平顺性测量 第9章 行驶动力学模型 模型推导前提 ¼车辆模型 ½车辆模型 整车模型 第10章 可控悬架系统 车身高度调节系统 全主动悬架系统 连续可变阻尼的半主动悬架系统 各类悬架系统的性能比较
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《一》 质点运动学 《二》 质点动力学 《三》 机械能和功 《四》 动量 《五》 刚体力学 《六》 相对论 《七》 振动力学与波动 《八》 热力学平衡态 《九》 热力学定律
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➢ 概述 ➢ 轮胎的功能、结构与发展 ➢ 轮胎模型 ➢ 轮胎纵向力学特性 ➢ 轮胎垂向力学特性 ➢ 轮胎侧向力学特性
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第一章大气动力学发展回顾与展望 第二章大气运动的坐标系与方程组一一 第三章大气中的涡旋运动 第四章大气的准地转运动 第五章大气边界层 第六章波动理论 第七章 Rossby波的传播与演变 第八章大气的非线性运动
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一、新药药代学的现行规定 1动物药代 化学药,生物药:(资料27) 1类全新:单次(3个剂量),多次,口服者加食物影响
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过去的 20 年,深部构造研究对于建立岩石圈构造、演化及动力学模式, 起到了巨大的推动作用。在跨世纪的时代中,它仍是重要的前沿领域。我国的 深部构造研究,还应围绕建立中国大陆动力学这一主题,以完善和修改板块构 造理论。为此应加强以下几个方面的研究:
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11.1碰撞理论 11.2过渡态理论 11.3单分子反应理论 11.4分子反应动态学简介 11.5在溶液中进行的反应 11.6快速反应的测试 11.7光化学反应 11.8催化反应动力学
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刚体动力学基础 平面机构动力学分析 刚体的线动量、角动量和质量参数 惯量矩阵的变换及惯量椭球 分离体分析法连杆机构力分析的虚功方法
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