一、CVD过程中典型的化学反应 二、CVD过程的热力学 三、 CVD过程的动力学 四、CVD过程的数值模拟技术 五、CVD薄膜沉积装置

10-2 特征函数 10-3 数学基础 10-4 热系数 10-5 熵、内能和焓的微分关系式 10-6 比热容的微分关系式 10-7 克拉贝龙方程和焦-汤系数 10-8 实际气体对理想气体性质的偏离 10-9 维里方程 10-10 经验性状态方程 10-11 普遍化状态方程与对比态原理

第七章 统计热力学初步 第八章 化学动力学基础 第九章 电化学 第十章 表面化学 第十一章 胶体化学

本章学习目标： 1. 能描述喷管、扩压管和节流阀内流体流动规律； 2. 说明气流改变的力学条件和几何条件并计算流速和流量； 3. 设计一维喷管的外形； 4. 讨论并分析节流前后压力、温度、焓和熵变化情况及条件；

6-1 纯物质的热力学面及相图 6-2 汽化与饱和 Vaporization and Saturation 6-3 水蒸气的定压发生过程 6-4 水和水蒸气状态参数及其图表 6-5 水蒸气的热力过程

一、 CVD过程中典型的化学反应 二、 CVD过程的热力学 三、 CVD过程的动力学 四、CVD过程的数值模拟技术 五、 CVD薄膜沉积装置

§18–1 自由度和广义坐标 §18–2 以广义坐标表示的质点系平衡条件 §18–3 动力学普遍方程 §18–4 第一类拉格朗日方程 §18–5 第二类拉格朗日方程 §18–5 拉格朗日方程的初积分

6.1质点运动微分方程及应用 mir=Flt,r,) 正问题:已知F,求(t 反问题:已知F(),求F 对于质点动力学,反问题很简单,属于微分学 问题。正问题较难些,属于常微分方程求解问 题。正问题是本章的主要内容

第七章刚体动力学 刚体质量几何 1、质点的运动与什么有关? 外力,质量。 2、质点系(刚体)的运动与什么有关? 外力,质量,质量分布。 3、 下面介绍描述质量分布的物理量: 质心,转动惯量,惯性张量等

§1 光速不变和爱因斯坦相对性原理 §2 洛仑兹变换 §3 同时性的相对性和时间延缓 §4 长度收缩 §5 因果性的绝对性 §6 洛仑兹协变矢量（补充） §7 相对论速度变换