§3.1 几何光学 §3.2 波动光学 §3.3 光电信息技术

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西安电子科技大学：《光电探测技术与系统》课程电子教案（PPT课件讲稿）第06章 光电成像探测传感器 §6.3、电荷耦合器件（Charge Coupled Device, CCD）

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西安电子科技大学：《光电探测技术与系统》课程电子教案（PPT课件讲稿）光敏二极管、晶体管

四、各类热电探测器 五、电荷耦合器CCD 六、其他光电器件

超精密光学元件是决定高端装备性能的核心元件，在大科学装置、精密仪器等领域中被广泛应用。对光学元件进行高精度检测是保证元件质量的重要途径。光学检测技术因具有非破坏性、高精度而成为光学元件检测的有效技术。首先，对超精密光学元件主要检测技术进行了综述，重点介绍技术原理、研究现状和应用瓶颈；其次，针对光学检测技术中的相位解调问题，以波长移相测量技术为例，结合超精密平面光学元件检测，概述了相位解调算法的原理与实现过程，并对其性能进行综合评估；最后，展望光学元件检测技术的未来发展趋势

1. 基本光波导单元结构 ① 定向耦合器（含模式演变的定向耦合器） ② 对称与非对称Y分支 ③ 多模干涉耦合器（MMI） ④ 马赫-曾德尔干涉仪（MZI） ⑤ 微环谐振器 2. 光波导器件实例 ① 最简单的光波导--应力感应的光波导 ② 一个简单的可变光衰减器 ③ 变废为宝--较有创意的光波导传感器 ④ 三位垂直耦合光开关 ⑤ 经典与最新文献分享报告