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在基底材料上用物理或化学的方法制成敏感材料薄层（几百nm~几µm）。薄膜热传感器、应变片、气敏传感器

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1.疊加原理(Principle of Superposition) 2.雙狹縫干涉(Double-Slit- Interference 3.雙狹縫干涉圖形光強度分佈 4.波的相位加成(Phasor Addition of Wave) 5.薄膜干涉(Thin Film Interference)

一、外延生长 外延是在单晶上生长一层同质或异质的薄膜层