实验三 薄膜厚度的测量
[实验目的] 1.了解台阶仪的结构和工作原理。 2.利用台阶仪测量薄膜的厚度。 [实验仪器] Xp-1型台阶仪
[实验原理] 1.台阶仪工作原理 台阶仪测量的核心部分，称为激光反射悬臂梁
工作原理： 首先由激光源即二极管激光发光器发出激光，激光束通过和 宝石轴承连体的镜面反射到一块两象限光电池上。这就组成了 所谓的激光反射悬臂梁。其中光电池的作用是将反射的光信号 转化为电信号，当然也可以将变化的光信号转变为电信号。 测量原理： 当探针在样品上进行接触式扫描时，由于样品表面的高低起伏 从而使得探针随着样品表面也做高低起伏。由于探针的高低起 伏就带动了蓝宝石轴承的倾斜度发生变化，从而使镜面倾斜度 随着时刻发生变化，致使激光反射到光电池上的光斑位置时刻 发生变化，变化的光斑位置产生变化的电信信号，通过对电信 号的转换就会得到样品表面的高低形貌
2.软件功能介绍
[实验操作步骤] 1. 开机（请严格按照顺序操作） （1）开总电源并打开电脑主机及显示屏。 （2）等电脑完全打开后再打开测量仪电源开关（仪器背面）。 （3）打开测量软件并初始化 。 关机是反向顺序 2.将探针抬起，保证针尖的高度超过样品厚度后，将样品 紧贴样品台放入。注意不要将样品直接放在针尖下方， 而是通过移动样品台将样品移到针尖下方。 3.将样品放到针尖下方后，降下探针使其逼近样品。注意一 定控好探针下降的高度，使探针与样品之间要有一定的距 离，以免者碰撞损坏探针。 4.逼近后抬起针并找到要测的区域