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微机电系统设计与制造[电气与自动化]
类型：电子教案　大小：19.6MB　下载/浏览：33/1820　评论：8　评分：6.1　积分：10
本课件包含微机电系统概论、微机电系统功能材料、微机械加工制造技术、微机械执行器、微机械传感器、微机
关键字：机电微机
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