4.5光栅传感器 45.1光栅传感器的结构 452莫尔条纹形成的原理 453莫尔条纹技术的特点 454光栅的光路 45.5辨向原理 456细分技术
4.5 光栅传感器 4.5.1 光栅传感器的结构 4.5.2 莫尔条纹形成的原理 4.5.3 莫尔条纹技术的特点 4.5.4 光栅的光路 4.5.5 辨向原理 4.5.6 细分技术
4.5.1光栅传感器的结构 光栅传感器由光源、透镜、光栅副(主光栅和 指示光栅)和光电接收元件组成。 光源 透镜 主光栅 透镜 指示光栅 光电元件 上一页 下一页
4.5.1 光栅传感器的结构 ⚫ 光栅传感器由光源、透镜、光栅副(主光栅和 指示光栅)和光电接收元件组成。 返 回 上一页 下一页
光栅传感器光源: 钨丝灯泡 输出功率较大,工作范围较宽(-40°到+130%C) 与光电元件相组合的转换效率低。在机械振动和冲击 条件下工作时,使用寿命将降低。 半导体发光器件: 转换效率高,响应特征快速。 如砷化镓发光二极管,与硅光敏三极管相结合,转换 效率最高可达30%左右。砷化镓发光二极管的脉冲响 应速度约为几十ns,可以使光源工作在触发状态,从 而减小功耗和热耗散。 上一页 下一页
光栅传感器光源: ⚫ 钨丝灯泡: 输出功率较大,工作范围较宽(-40℃到+130℃) 与光电元件相组合的转换效率低。在机械振动和冲击 条件下工作时,使用寿命将降低。 ⚫ 半导体发光器件: 转换效率高,响应特征快速。 如砷化镓发光二极管,与硅光敏三极管相结合,转换 效率最高可达30%左右。砷化镓发光二极管的脉冲响 应速度约为几十ns,可以使光源工作在触发状态,从 而减小功耗和热耗散。 。 返 回 上一页 下一页
光栅副:指示光栅+主光栅 (a)主光栅 放大 (b)指示光栅 a+b=W称为光栅的栅距(或光栅常数) 通常情况下,a=b=W2 上一页 下一页
光栅副:指示光栅+主光栅 a+b=W称为光栅的栅距(或光栅常数) 通常情况下,a=b=W/2 返 回 上一页 下一页
光电元件 包括有光电池和光敏三极管等部分。 在采用固态光源时,需要选用敏感波长与光源 相接近的光敏元件,以获得高的转换效率 在光敏元件的输出端,常接有放大器,通过放 大器得到足够的信号输出以防干扰的影响。 上一页 下一页
光电元件 ⚫ 包括有光电池和光敏三极管等部分。 ⚫ 在采用固态光源时,需要选用敏感波长与光源 相接近的光敏元件,以获得高的转换效率。 在光敏元件的输出端,常接有放大器,通过放 大器得到足够的信号输出以防干扰的影响。 返 回 上一页 下一页
4.52莫尔条纹形成的原理 6 横向莫尔条纹的斜率 tan a= tan wvii 2 m莫尔条纹间距 BuI BC wW B=AB= 6 sIn 2 莫尔条纹的宽度Bn由 光栅常数与光栅夹角决定 上一页 下一页
4.5.2 莫尔条纹形成的原理 2 tan tan = 横向莫尔条纹的斜率 莫尔条纹间距 BC W W BH = AB = = 2 2sin 2 sin 莫尔条纹的宽度BH由 光栅常数与光栅夹角决定 返 回 上一页 下一页
4.53莫尔条纹技术的特 (1)调整夹角即可得到很大的莫尔条纹的宽度,起到了 放大作用,又提高了测量精度 (2)莫尔条纹的光强度变化近似正弦变化,便于将电信 号作进一步细分,即采用“倍频技术”。这样可以提 高测量精度或可以采用较粗的光栅。 (3)光电元件对于光栅刻线的误差起到了平均作用。刻 线的局部误差和周期误差对于精度没有直接的影响。 因此可得到比光栅本身的刻线精度高的测量精度。 这是用光栅测量和普通标尺测量的主要差别 上一页 下一页
4.5.3 莫尔条纹技术的特点 (1)调整夹角即可得到很大的莫尔条纹的宽度,起到了 放大作用,又提高了测量精度。 (2)莫尔条纹的光强度变化近似正弦变化,便于将电信 号作进一步细分,即采用“倍频技术” 。这样可以提 高测量精度或可以采用较粗的光栅。 (3)光电元件对于光栅刻线的误差起到了平均作用。刻 线的局部误差和周期误差对于精度没有直接的 影响。 因此可得到比光栅本身的刻线精度高的测量精度。 这是用光栅测量和普通标尺测量的主要差别。 返 回 上一页 下一页