第一章:晶体二极管 3、随着半导体工艺的发展,五十年代末得克萨斯仪器公司的基尔 白、仙童半导体公司的诺依斯等人研究实现了集成电路,实现了管 路结合,以后集成度越来越髙,岀现了超大规模集成电路,这是电 子学的又一次革命,也是近代科学技术发展的新的标志
第一章:晶体二极管 电子线路是电子学的一门应用学科,是现代先进科学的组成部分之 一,也是发展迅速的学科之一。1、最早在1883年,托马斯·爱迪生 再改进白炽灯的实验中,发现了爱迪生效应,但他当时未能认识到 这一发现的重要意义。直到1907年L ·De ·Forest(李·德·弗列斯特 )研制了电子三极管,使电子学进入实用阶段并作为一门新兴科学 而崛起,由于有了利用电子三极管制作的放大器和振荡器电路,才 使我们今天所熟悉的无线电和电视广播成为现世,其他诸如雷达、 自动导航、立体声放大器和计算机等的应用,也无不归功于电子三 极管的发明,而在这一发明 的推动下,开创了伟大的技术和社会 革命。然而,电子管有它固有的弱点,管子的灯丝必须加热至足够 的温度以便使阴极发射电子,灯丝电压和电流的典型值是6.3(V)和 0.3(A),即大约2(W)功率,最早的第一台电子数字计算机约用了 18,000只电子管,需供36,000(W)的功率,另外电子管还有体 积大、寿命短、转换速率受限制等缺点。 2、到1947年晶体管的发明才克服了电子管的这些缺点,引起了电 子学的又一次革命,晶体管是约翰·巴丁、沃尔特·布雷登和威廉·肖 克莱共同发明,该发明促成了计算机、通信等方面的飞速发展,鉴 于它的重要价值,这些人共同获得了1956年的诺贝尔物理机奖。单 个电子器件与元件组成的电路称为分立电路,复杂的分立电路由于 焊点多及布线等影响了可靠性及精度的提高。 3、随着半导体工艺的发展,五十年代末得克萨斯仪器公司的基尔 白、仙童半导体公司的诺依斯等人研究实现了集成电路,实现了管 路结合,以后集成度越来越高,出现了超大规模集成电路,这是电 子学的又一次革命,也是近代科学技术发展的新的标志
本章主要内容简介(略)
•本课程的主要内容简介:1、半导体器件:是本课程基础部分, 主要包括半导体物理基础知识,二极管、晶体三极管、场效应管 工作原理及应用原理。2、放大器基础:是本课程重点之一,主要 包括放大器的静态分析、动态分析及性能指标,单管放大电路, 组合放大电路,差分放大电路,电流源电路及应用,集成功率放 大电路,集成运算放大电路,放大器的频率分析和噪声分析。3、 放大器中的负反馈,是课程重点和难点之一,主要包括反馈放大 器的组成和类型,负反馈放大器的性能分析,深度负反馈计算, 负反馈放大器的稳定性分析。4、集成运算放大器及其应用电路, 是课程又一个重点和难点,主要包括集成运算放大器应用电路的 组成原理(加减乘除比例对数指数开平方等各类算术运算、有源 滤波、精密测量放大器和仪器放大器、电流传输器等),集成运 算放大器性能参数及其对电路的影响,集成电压比较器。 •学习方法:本课程是两个专业的主干基础课,也是学习《非线性 电路》(谐振功放、振荡器、调制解调、锁相环)、通信、计算 机应用等必备的基础,学习中应着重掌握各类放大器的工作原理、 特点、应用和分析方法。1、由于器件的非线性,在线性应用时需 要进行近似处理。2、对各类放大器应掌握其静态分析方法(判断 放大器工作和动态分析方法,应具备较高的电路分析能力。3、一 定量的习题训练是十分必要的,一般需要100--200道题的训练量, 一定要独立完成作业。4、重视实验环节,具备一定的动手能力和 电路设计能力才算真正理解和掌握了本课程的基本知识点。 本章主要内容简介(略)
本征激发和复合:在温度升高和受到光线照射时,共价键中的 价电子挣脱共价键的束缚成为自由电子,在共价键中留下相同数量 的空穴(可以看作带正电的离子或载流子)这种现象称为本征激发 空穴形成后,邻近共价键中的价电子受它的吸引作用很容易跳过去 填补空穴,这样空穴便转移到邻近共价价键中去,因此就出现价电 子和空穴两个相反方向的运动,半导体正是依靠自由电子和空穴两 种载流子导电的物质。所谓复合是指自由电子在热骚动过程中与空 穴相遇而释放能量,造成自由电子-空穴对的消失
1.1 半导体物理基础知识 半导体:导电能力介于导体和绝缘体之间的物体,它的电阻 率在(10-3--109) .cm范围内,主要有硅(主要材料)、锗、砷 化镓(高频高速器件)等。 一、本征半导体 1、本征半导体:硅和锗的单晶(整块晶体内部晶格排列完全一致 或原子在空间排列成很有规律的空间点阵)称为本征半体(将纯净 原材料及需要的杂质放在坩埚中加热至熔点Si=14200C使其融化为晶 体,用一块小晶体与液面接触,将籽晶上拉即可生成新的晶体,另 一种办法是用高频感应加热硅棒,使其局部融化,冷却后成为单晶) Si:1S22S22P63S23P2 {内层原子核称为惯性核} Ge:1S22S22P63S23P63P104S24P2 { 2N2个电子旋转方向的不同分布} 它们最外层都有四个价电子,形成单晶时,每个价电子和邻 近原子的价电 子形成共价键。 在热力学温度0K时和没有外界影响条件下,价电子束缚在共 价键中,不能自由移动,不是自由电子,是良好的绝缘体。 2、本征激发和复合:在温度升高和受到光线照射时,共价键中的 价电子挣脱共 价键的束缚成为自由电子,在共价键中留下相同数量 的空穴(可以看作带正 电的离子或载流子)这种现象称为本征激发。 空穴形成后,邻近共价键中的 价电子受它的吸引作用很容易跳过去 填补空穴,这样空穴便转移到邻近共价价键中去,因此就出现价电 子和空穴两个相反方向的运动,半导体正是依靠自由电子和空穴两 种载流子导电的物质。所谓复合是指自由电子在热骚动过程中与空 穴相遇而释放能量,造成自由电子--空穴对的消失
导带 ●●●●●●●●●●0●●●●●●● E 禁带 E 图1-1 -EV 价带oooo0oo0o0000 为了计算自由电子的浓度,还应知道状态密度函数Ne(E),它表 示单位
3、费米能级与热平衡载流子浓度:根据量子统计理论可知,在温 度为T时(晶体处于热平衡状态),能量为E的状态被电子占有的几 率为: F(E)={1+EXP[(E-EF)/KT]}-1 其中T 是绝对温度(室温T=3000K) K是玻尔兹曼常数 K=1.3810-23焦耳/ 0K EF是费米能级,E= EF状态被电子占有的几率为1/2 在原子中,电子所具有的能量状态不是连续分布的,而是离 散的,每一个能量状态对应一个能级,能级是量子化的,其分布如 下图1-1所示: 导带 • • • • • • • • • • • • • • • • • • ——————————Ec 禁带 – – –– – – – – – – – – – – EF 图1-1 ——————————Ev 价带 o o o o o o o o o o o o o 为了计算自由电子的浓度,还应知道状态密度函数 Ne(E),它表 示单位
杂质半导体 在本征半导体中,掺入一定量的杂质元素就成为杂质半导体, 分为N型和P型若掺入五价元素的杂质(磷、锑或砷),则是N型半 导体,若掺入三价元素(硼、镓、铟),则是P型半导体 1、N型半导体:磷有五个价电子,而只需拿出四个与相邻的硅原 子进行共价键结合,多余一个电子未被束缚在共价键中,仅受磷原 子核内的正电核吸引比共价键弱),在常温下很容易挣脱束缚成为 自由电子(施主杂质能级比较高,接近导带,常温下几乎全部电离 成为自由电子),磷原子因少一个电子成为带正电荷的磷离子(但 其束缚在晶格中,不能移动,不能象载流子,那样起导电作用), 因其施放电子,故称施主杂质。与本征激发相比,N型半导体中自 由电子浓度大大增加,而空穴因与自由电子相遇而复合机会增加 浓度反而更小了。杂质半导体中载流子浓度不再相等,多的称为多 数载流子又称多子,少的称为少数载流子,又称少子
体积内和单位能量范围内(ev电子伏特)允许电子占有的能量状态 数目,自由电子均处在导带内,空穴均处在价带内,处在导带内的 自由电子至少具有 Ec能量,因此本征半导体中自由电子的浓度为: Ni =EcNe(E)•F(E)d E= AT3/2EXP [-Eg0 /KT] 式中A是常数(硅为3.88×1016cm-3K-3/2 锗为1.76 ×1016cm-3K-3/2 ) Eg0是T=0K即-273OC时的禁带宽度室温下计算的: 硅的Ni =1.5 ×1010 cm-3 锗的Ni =2.4 ×1013 cm-3 而在金属导体中,自由电子浓度可达10221023 cm-3 ,相比之 下导电能力差, 不能产生二极管、三极管所需的导电机制,必须采 取措施(如掺杂)。 二、 杂质半导体 在本征半导体中,掺入一定量的杂质元素就成为杂质半导体, 分为N型和P 型若掺入五价元素的杂质(磷、锑或砷),则是N型半 导体,若掺入三价元 素(硼、镓、铟),则是P型半导体。 1、N型半导体:磷有五个价电子,而只需拿出四个与相邻的硅原 子进行共价键结合,多余一个电子未被束缚在共价键中,仅受磷原 子核内的正电核吸引比共价键弱),在常温下很容易挣脱束缚成为 自由电子(施主杂质能级比 较高,接近导带,常温下几乎全部电离, 成为自由电子),磷原子因少一个电子成为带正电荷的磷离子(但 其束缚在晶格中,不能移动,不能象载流子, 那样起导电作用), 因其施放电子,故称施主杂质。与本征激发相比,N型半导体中自 由电子浓度大大增加,而空穴因与自由电子相遇而复合机会增加 浓度反而更小了。杂质半导体中载流子浓度不再相等,多的称为多 数载流子 又称多子,少的称为少数载流子,又称少子
2、P型半导体:硼只有三个价电子,在与相邻的硅原子形成共价键 时,缺少一个价电子,因而形成一个空穴,这个空穴不是释放价电 子形成的,不会同时产生自由电子,而自由电子因与空穴相遇而复 合机会增加浓度反而更小了 当空穴由相邻共价键中的价电子填补时(相当于空穴移动) 硼原子由于接受一个电子成为带负电的硼离子(受主杂质能级比较 低,接近价带,常温下价带中价电子很容易获得能量来填补这个能 级,从而产生空穴),因其接受电子而产生空穴,称为受主杂质 3、杂质半导体的载流子浓度:在杂质半导体中,载流子是由杂质 电离和本征激发两个过程产生的,杂质电离只能产生一种载流子 (施主杂质是自由电子,受主杂质是空穴),在常温下杂质原子几 乎全部电离,由杂质电离产生的载流子浓度等于掺入杂质的浓度 掺杂越多,多子数目就越多,少子数目就越少,但它们之间的定量 关系服从下面两个约束
2、P型半导体:硼只有三个价电子,在与相邻的硅原子形成共价键 时,缺少一 个价电子,因而形成一个空穴,这个空穴不是释放价电 子形成的,不会同时 产生自由电子,而自由电子因与空穴相遇而复 合机会增加浓度反而更小了。 当空穴由相邻共价键中的价电子填补时(相当于空穴移动), 硼原子由于接 受一个电子成为带负电的硼离子(受主杂质能级比较 低,接近价带,常温下 价带中价电子很容易获得能量来填补这个能 级,从而产生空穴),因其接受 电子而产生空穴,称为受主杂质。 3、杂质半导体的载流子浓度:在杂质半导体中,载流子是由杂质 电离和本征激 发两个过程产生的,杂质电离只能产生一种载流子 (施主杂质是自由电子, 受主杂质是空穴),在常温下杂质原子几 乎全部电离,由杂质电离产生的载 流子浓度等于掺入杂质的浓度。 掺杂越多,多子数目就越多,少子数目就越 少,但它们之间的定量 关系服从下面两个约束:
例题:一块本征硅片,先掺入浓度为8×10-6cm3的五价砷原子,再 掺入浓度为5×1017cm3的三价硼原子,问它为何种杂质半导体,并 求室温时多子和少子的热平衡浓度值 解:由于Na大于Nd,结果是Nd释放的自由电子全部填入Na产生 的空穴外,还余下(Na-Nd)个空穴,因而杂质半导体由N型转 变为P型。 根据电中性条件:P=Na-Nd+N6≈Na-Nd=42×1017cm3相应 少子浓度N=(N/P0)=54×102cm3 杂质半导体的多子浓度与温度无关,而少子浓度与N成正比,因 而随温度升高而迅速增大,直到少子浓度增大到与多子浓度相当, 杂质半导体又恢复到类似的本征半导体,少子浓度的温度敏感特性 是导致半导体器件温度特性差的主要原因
(1)、在热平衡状态下,满足相应的热平衡条件:当温度一定时, 两种载 流子热平衡浓度值的乘积恒等于本征载流子浓度值Ni的平方。 即 N0P0=Ni2 (2)、满足电中性条件,整块半导体中的正电荷量恒等于负电荷 量。若施 主杂质浓度为Nd,则带正电的有已电离的杂质原子和少 子空穴,带 负电的 仅是多子自由电子,这样电中性条件为: N0= Nd+P0 由热平衡条件得: ( Nd+P0)P0= Ni2 由于Nd》 P0 故: Nd P0 Ni2 同理对受主杂质: ( Na+N0)N0= Ni2 由于Na》 N0 故: NaN0 Ni2 Na 为受主杂质浓度。 例题:一块本征硅片,先掺入浓度为8×1016cm-3的五价砷原子,再 掺入浓度为5×1017cm-3的三价硼原子,问它为何种杂质半导体,并 求室温时多子 和少子的热平衡浓度值。 解:由于Na大于Nd,结果是Nd释放的自由电子全部填入Na产生 的空穴外,还 余下( Na - Nd )个空穴,因而杂质半导体由N型转 变为P型。 根据电中性 条件:P0= Na - Nd +N0 Na - Nd=4.2 ×1017cm-3 相应 少子浓度 N0 =(Ni2 /P0)=5.4 ×102cm-3 杂质半导体的多子浓度与温度无关,而少子浓度与Ni2成正比,因 而随温度升 高而迅速增大,直到少子浓度增大到与多子浓度相当, 杂质半导体又恢复到 类似的本征半导体,少子浓度的温度敏感特性 是导致半导体器件温度特性差的主要原因
三、漂移和扩散 半导体中有自由电子和空穴两种载流子,它们除了在电场作用 下形成漂移电流外,还会在浓度差的作用下产生定向的扩散运动, 形成相应的扩散电流,而导体中不存在扩散电流,也没有空穴漂移 电流,只有自由电子在电场作用下形成的漂移电流 1、漂移电流:载流子在外加电场作用下,形成漂移电流,如 下图1-2所示: 若设Jpt和Jnt分别为空穴和自由电子的漂移电流密度(单位截 面积的电流),则它们分别为: Jpt=qpupE Jnt=-(-q)nmnE 总的漂移电流密度:J= Jpt+ Unt,式中p和n分别为空穴和自由电子 电场方向 图1-2
+ V — 图1-2 三、漂移和扩散 半导体中有自由电子和空穴两种载流子,它们除了在电场作用 下形成漂移电 流外,还会在浓度差的作用下产生定向的扩散运动, 形成相应的扩散电流, 而导体中不存在扩散电流,也没有空穴漂移 电流,只有自由电子在电场作用 下形成的漂移电流。 1、漂移电流:载流子在外加电场作用下,形成漂移电流,如 下图1-2所示: 若设Jpt和Jnt分别为空穴和自由电子的漂移电流密度(单位截 面积的电流), 则它们分别为: Jpt=qpPE Jnt = -(-q)nnE 总的漂移电流密度:Jt= Jpt+ Jnt,式中p和n分别为空穴和自由电子 电场方向
2、扩散电流:当半导体中载流子浓度分布不均时,就要出现扩散现 象如光照、注入载流子,半导体中热平衡遭到破坏,载流子浓度差 引起扩散,产生扩散电流扩散电流大小与浓度梯度成正比: JPD=-qDpdP(x)dx JD=-(qD,dn(x)/dx 存在载流子浓度差是半导体区别于导体的又一种特有现象在 导体中,只有一种载流子,如果其间存在着浓度差,则必产生自低浓 度向高浓度方向的电场,依靠电场力就会迅速将高浓度的电子拉向 低浓度处,因此,在导体中建立不了自由电子浓度差而在半导体中 存在两种载流子,当出现非平衡载流子后,建立浓度差时,仍能满足 处处电中性条件不会产生不同浓度之间的电场后面将会看到,在 杂质半导体中,由于自由电子和空穴的扩散形成PN结形成内建电场 扩散电
的浓度, q为电子电荷量,E为外加电场强度, P和n分别为空穴 和自由电子的迁移率温度越高,掺杂浓度越大,迁移率就越小, 硅中载流子迁移率比锗小,迁移 率半导体器件的工作速度或工作 频率,采用迁移率大的材料(如砷化镓)可 制作高速或高频的半 导体器件。 若半导体长度为L,截面积为S,则: V=E·L It=Jt ·S R=(V/ It)=ρ·L/S 其中电阻率ρ=E/ Jt =[q ·(p ·μp+n · μn )]-1 电导率σ=1/ ρ 本征半导体中,电阻率与本征载流子浓度成反比,杂质半导体σ 比本征半导体高的多,教材第8页例题中是六个数量级,光照使电导 率增加. 2、扩散电流: 当半导体中载流子浓度分布不均时,就要出现扩散现 象,如光照、注 入载流子,半导体中热平衡遭到破坏,载流子浓度差 引起扩散,产生扩散电流,扩 散电流大小与浓度梯度成正比: JPD= -qDPdP (x)/dx JnD= -(-q)Dndn (x)/dx 存在载流子浓度差是半导体区别于导体的又一种特有现象,在 导体中,只有一种 载流子,如果其间存在着浓度差,则必产生自低浓 度向高浓度方向的电场,依靠 电场力就会迅速将高浓度的电子拉向 低浓度处,因此,在导体中,建立不了自由电子浓度差,而在半导体中, 存在两种载流子,当出现非平衡载流子后,建立浓度 差时,仍能满足 处处电中性条件,不会产生不同浓度之间的电场.后面将会看到, 在 杂质半导体中,由于自由电子和空穴的扩散形成PN结,形成内建电场, 扩散电
流与漂移电流同时存在,而其内建电场的形成是由不能移动的带电离子形成的 12半导体PN结 在P型N型)半导体中,用杂质补偿的方法将其中一部分转换为N型(P型), 形成PN结,制造工艺有平面扩散法(高温)等。 动态平衡下的PN结: 1、阻挡层的形成:N型半导体中,施主杂质典礼后,形成大量的自由电子和 施主正离子,由于正离子受电子覆盖而处处保持电中性,P型半导体同样 受主负离子受空穴覆盖而处处保持电中性,而在P型和N型界面两侧明显 存在自由电子和空穴的浓度差异,N区中的自由电子向P区扩散,与P区空 穴复合;P区中的空穴向N区扩散,与N区自由电子复合,这样在PN结界 面附近形成少量不受自由电子和空穴覆盖的正负离子,即形成空间电荷区 又叫阻挡层(势垒区,耗尽区),并产生由N区正离子指向P区负离子的 内建电场,如下图1-3所示: P区 空间电荷区一N区 9000000o06060010ooe 图1-3 ee0000000000000100000 900066006:66%oe eeeeeeeee06⊕曲 0000OOE
流与漂移电流同时存在,而其内建电场的形成是由不能移动的带电离子形成的. 1.2 半导体PN结 在P型(N型)半导体中,用杂质补偿的方法将其中一部分转换为N型(P型), 形成PN结,制造工艺有平面扩散法(高温)等。 一、动态平衡下的PN结: 1、阻挡层的形成:N型半导体中,施主杂质典礼后,形成大量的自由电子和 施主正离子,由于正离子受电子覆盖而处处保持电中性,P型半导体同样 受主负离子受空穴覆盖而处处保持电中性,而在P型和N型界面两侧明显 存在自由电子和空穴的浓度差异,N区中的自由电子向P区扩散,与P区空 穴复合; P区中的空穴向N区扩散,与N区自由电子复合,这样在PN结界 面附近形成少量不受自由电子和空穴覆盖的正负离子,即形成空间电荷区, 又叫阻挡层(势垒区,耗尽区),并产生由N区正离子指向P区负离子的 内建电场,如下图1-3所示: P区 ︱ 空间电荷区 ︱ N区 图1-3