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北京科技大学材料科学学院：《薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology》第九讲 微机电技术和纳米机电技术 MicroEelectroMechanical & NanoEelectroMechanical systems（MEMs & NEMs）
文档格式：PPT　文档大小：757.5KB　文档页数：53
一、 MEMs发展简介 二、MEMs的制备技术基础 三、典型应用的MEMs
电子科技大学：《微机电系统》课程教学资源（PPT课件讲稿）第二章 MEMS的设计 Micro-Electro-Mechanical-System（MEMS）
文档格式：PPT　文档大小：1.19MB　文档页数：60
硅晶体结构与微观力学 微尺度效应 MEMS设计的基本问题 MEMS设计的具体方法
川北医学院：《生物医学工程导论》课程教学资源（课件讲稿）12 微机械电子系统技术在生物医学工程中的应用（Micro Electro Mechanical System，MEMS）
文档格式：PDF　文档大小：3.1MB　文档页数：55
MEMS简介 MEMS制造工艺 MEMS的应用
北京科技大学材料科学学院：《薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology》第九讲 微机电技术和纳米机电技术 MicroEelectroMechanical & NanoEelectroMechanical systems（MEMs & NEMs）
文档格式：PPT　文档大小：605.5KB　文档页数：53
一、MEMs发展简介 二、MEMs的制备技术基础 三、典型应用的MEMs
《应用声学》：MEMS压电水听器和矢量水听器研究进展（中国科学院声学研究）
文档格式：PDF　文档大小：1.42MB　文档页数：5
为了进一步提高MEMS矢量水听器的灵敏度,设计了具有U形槽的压电复合悬臂梁结构和电极串联结构,采用具有更高压电系数的掺钒ZnO薄膜作为压电层,并对MEMS制备工艺进行了改进,有望显著提高MEMS矢量水听器的灵敏度
电子科技大学：《柔性MEMS系统与集成 Flexible MEMS Technology and Integration》课程教学资源（教学大纲）
文档格式：PDF　文档大小：422.89KB　文档页数：4
电子科技大学：《柔性MEMS系统与集成 Flexible MEMS Technology and Integration》课程教学资源（教学大纲）
《Microelectronics Process》MEMS Mask layout
文档格式：PDF　文档大小：25.27KB　文档页数：1
MEMS Mask layout Die leve Dark-field mask Dimensions are in micron
《Microelectronics Process》MEMS LAB SESSION 2
文档格式：PDF　文档大小：49.87KB　文档页数：3
MEMS LAB SESSION 2 Undercut Silicon Nitride using KOH Etching OVERVIEW OF LAB SESSION: This lab session utilizes potassium hydroxide(koh) wet etching to undercut and release the silicon nitride cantilevers and fixed-fixed beams. In Step
《塑料成型工艺与模具》课程教学资源（文献资料）基于MEMS技术的微型模具制作工艺研究
文档格式：PDF　文档大小：549.65KB　文档页数：6
《塑料成型工艺与模具》课程教学资源（文献资料）基于MEMS技术的微型模具制作工艺研究
电子科技大学：《微机电系统设计与制造》课程教学资源（PPT课件）第四章 MEMS的制造技术
文档格式：PPT　文档大小：3.04MB　文档页数：64
4.1. 体微加工 4.3 LIGA体微加工技术 4.4 表面微加工 4.5 键合技术 4.6 其他微加工技术
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