一、 CVD过程中典型的化学反应 二、 CVD过程的热力学 三、 CVD过程的动力学 四、CVD过程的数值模拟技术 五、 CVD薄膜沉积装置

3.1 化学反应速率 3.2 化学动力学近似 3.3 单分子反应机理 3.4 链式反应和链分支反应 3.5 简单碳氢燃料的反应机理

§18–1 自由度和广义坐标 §18–2 以广义坐标表示的质点系平衡条件 §18–3 动力学普遍方程 §18–4 第一类拉格朗日方程 §18–5 第二类拉格朗日方程 §18–5 拉格朗日方程的初积分

6.1质点运动微分方程及应用 mir=Flt,r,) 正问题:已知F,求(t 反问题:已知F(),求F 对于质点动力学,反问题很简单,属于微分学 问题。正问题较难些,属于常微分方程求解问 题。正问题是本章的主要内容

第七章刚体动力学 刚体质量几何 1、质点的运动与什么有关? 外力,质量。 2、质点系(刚体)的运动与什么有关? 外力,质量,质量分布。 3、 下面介绍描述质量分布的物理量: 质心,转动惯量,惯性张量等

5.1 余函数方程 5.2 导数压缩因子及其在推算热力性质中的应用 5.3 实际气体热力过程分析方法

§1 概述 §2 氨工业合成的热力学基础 §3 氨工业合成的动力学基础 §4 氨工业的合成 §5 原料气生产 §6 氨工业生产的原则流程

§1 光速不变和爱因斯坦相对性原理 §2 洛仑兹变换 §3 同时性的相对性和时间延缓 §4 长度收缩 §5 因果性的绝对性 §6 洛仑兹协变矢量（补充） §7 相对论速度变换

第二章回顾了仅仅考虑初始和终止状态时的反应系统热力学。 本章把第四章的化学动力学知识和热力系统的基本守恒原则(如质量、能量守恒)结合起来。 描述系统从开始反应状态到最后形成状态的具体过程,系统既可以处于平衡状态,也可以处于不平衡状态。即:计算系统反应从开始到结束不同时间的温度和各种成分的浓度

本章重点：碳钢两类珠光体(即片状和粒状)的组织形态、形成机制以及力学性能，掌握影响珠光体转变动力学因素。本章难点：珠光体(片状和粒状)的形成机制