维告试hp/ www Cyvip com 第57卷第3期 2006年3月 Journal of Chemical Industry and Engineering (China) March 2006 研究简报 超纯水电解加工机理及工艺基础 鲍怀谦,徐家文 (南京航空航天大学机电学院,江苏南京210016) 关键词:超纯水;电解加工;阳离子交换膜 中图分类号:TG662 文献标识码:A 文章编号:0438-1157(2006)03-0626-04 Mechanism and technological foundation of ECM in ultra-pure water BAO Huaigian, XU Jiawen (School of Mechanical and Electrical Engineering, Nanjing University o Aeronautics and Astronautics, Nanjing 210016, Jiangsu, Chin Abstract: In order to develop green manufacturing and microfabrication, an innovative electrochemical machining method was introduced, that is the electrochemical machining(ECM) technology in ultra-pure water. The relative relationship of water dissociation and current density under the function of strong acid cation exchange membrane was studied, and the mechanism of electrochemical machining in ultra-pure water was also explored On the basis of theoretical analysis, the significance of two turning points of the voltage-current density characteristic curve was presented. As the result of water dissociation and machining experiments, the factors affecting current density were determined Key words: ultra-pure water; electrochemical machining (ECM); cation exchange membrane 引言 规电解液的电解加工构想,显示了其在微细、精 密加工领域良好的应用前景.常温、常压下,超纯 超纯水电解加工是在常规电解加工原理的基础水中OH浓度只有10-7mol·L,在电场强度 上,利用超纯水作电解液,并采用强酸性阳离子交为4×10V·m-1的条件下,电流密度只能达到 换膜来提高超纯水中OH离子的浓度,使电流密105A·cm-2数量级,达不到电解去除材料的条 度达到足够去除材料的一种新型电解加工工艺方件,但通过强酸性阳离子交换膜促进纯水的解离而 法,自20世纪50年代电解加工问世以来,因其具提高纯水中离子浓度后,在同样电场强度下,可以 有加工效率高、表面质量好、无切削力等优点而得提高电流密度达到10A·cm-2数量级.而电流密 到发展和应用.但在传统电解加工中,通常采用具度进入1~10A·cm-2范围内,相应电解加工Cu 有腐蚀性的电解质水溶液作电解液,对加工环境、Mo、Fe的速率可以达到1~10μm·min1数量 加工零件产生污染、腐蚀等作用,这大大限制了电级,这已进入实用微细电解加工速度范围,展现了 解加工的可持续发展和其在微细加工中的应用.其在微细加工中应用的可行性.并且比使用一般电 为了解决这些问题,日本学者提出以超纯水代替常解液的微细电解加工环境清洁,对加工零件和设备 2005-04-12收到初稿,2005-12-13收到修改稿 联系人及第一作者:鲍怀谦(1977-),男,博士研究生, Corresponding author: BAo Huaiqian, PhD candidate. 基金项目:航空科学基金项目(02H52049) 3. com supported by the Aeronautics Science Foundation (02H52049)
第 57卷 第 3期 2006年 3月 化 工 Journal of Chemical Industry 学 报 and Engineering (China) Vo1．57 No．3 M arch 2006 超 纯水 电解 加 工机 理及 工艺 基 础 鲍 怀谦 ，徐 家 文 (南 京航空航天大学机电学院 ，江苏 南京 210016) 关键词 ：超纯水 ；电锯加 工；阳离子交换膜 中图分类号 ：TG 662 文 献标识码 ：A 文章编号 ：0438—1157(2006)03一O626一O4 M echanism and technologicalfoundation ofECM in ultra—purewater BAO Huaiqian。XU Jiawen (SchoolofMechanicaland ElectricalEngineering，NanjingUniversityof AeronauticsandAstronautics，Nanjing210016，Jiangsu，China) Abstract： Inorderto develop green manufacturing and microfabrication，an innovative electrochemical machiningmethodwasintroduced，thatistheelectrochemicalmachining (ECM ) technologyinultra—pure water． Therelativerelationshipofwaterdissociationandcurrentdensityunderthefunctionofstrongacid cation exchange membrane was studied，and the m echanism Of electrochemicalm achining in ultra—pure waterwasalsoexplored．Onthebasisoftheoreticalanalysis，thesignificanceoftWO turning pointsofthe voltage—current density characteristic curve was presented． As the result of water dissociation and machining experim ents，the factorsaffecting currentdensityweredeterm ined． Key words： ultra—purewater； electrochemicalmachining (ECM )； cation exchangem em brane 丘 超纯水 电解 加工 是 在常规 电解 加 工原理 的基 础 上 ，利用超 纯水 作 电解 液 ，并 采 用强 酸性 阳离子 交 换膜 来提 高超 纯 水 中 OH 离 子 的浓 度 ，使 电流 密 度 达到 足够 去 除材 料 的 一种 新 型 电解 加 工工 艺 方 法． 自20世纪 50年代 电解加工问世以来 ，因其具 有加工效率高 、表面质量好 、无切削力等优点而得 到发展和应用．但在传统电解加工中，通常采用具 有腐 蚀性 的 电解 质 水溶 液 作 电解 液 ，对加 工 环 境 、 加 工零件 产生 污染 、腐 蚀 等作 用 ，这 大大 限制 了 电 解 加工 的可持 续 发 展 和 其在 微 细 加工 中 的应 用[． 为了解决这些问题 ，日本学者提出以超纯水代替常 2005-04～lg收到初稿 ，2005—12—13收到修改稿． 联系人殛第一作者 ：鲍怀谦 (1977～)，男 。博士研究生 基金项 目：航 空科学 基金项 目 (02H52049)． 规 电解液的电解加工构想l_2]，显示 了其在微细、精 密加工领域 良好 的应用前景． 常温、常压下 ，超纯 水 中 OH～浓 度 只 有 10 mol·L ，在 电场 强 度 为 4×10 V ·m 的条件下 ，电流密度 只能达到 10 A ·cm 数 量 级 ，达 不 到 电解 去 除 材 料 的 条 件．但通过强酸性阳离子交换膜促进纯水的解离而 提高纯水中离子浓度后 ，在同样 电场强度下，可以 提 高 电流密 度 达到 10。A ·cm 数 量 级 ．而 电流 密 度进入 1～10A·cm 范 围内，相应电解加工 Cu、 Mo、Fe的速 率 可 以达 到 1～ 10 m ·min 数 量 级，这已进入实用微细电解加工速度范围，展现了 其在 微细加 工 中 应用 的可行 性 ．并 且 比使用 一般 电 解液的微细电解加工环境清洁，对加工零件和设备 Received date： 2005 04— 12． Corresponding author： BAO E—mall： bhqian@ 163．cowl Foundation item ： supported Foundation (02H52049)． H uaiqian， PhD candidate by the Aeronautics Science 维普资讯 http://www.cqvip.com
维告讯htp/www.cyvip.com 第3期 鲍怀谦等:超纯水电解加工机理及工艺基础 ·627 不产生污染,加工过程的循环和加工后废液中因不 D, F(Cu,i-Cm i (1) 含电解质而处理更加方便.这些优点可望开发绿 色、微细电解加工 当膜表面离子浓度降到零时便可得到极限电流 密度jm,即cm→0时j→jm,则 1超纯水电解加工中水解离理论基础 ZiD Fc (2) 1.1水解离模型的建立 2水解离的理论分析 超纯水是一种极弱的电解质,电离度极小,电 水解离是超纯水解离生成H和OH的过程, 离常数约为a=1.8×10°;但水中H和OH的但是在水中并不存在单独的H+,而是与水分子形 数量很大,它们不断产生,又不断复合,无规则的成水合质子H1QO+,即 运动和碰撞;在外加直流电场的情况下,水中H 2H20PHsO+OH- (3) 和OH就会有规律地分别向阴阳两极移动,并由定温度下,该质子反应达到平衡时,cH+和 它们来充当导电任务,从而形成微弱的电流,可这coH的乘积是定值.根据热力学中对溶剂和溶质标 样小的电流密度还不足以达到电解加工去除材料的准状态的规定,水自身解离反应的标准平衡常数为 要求,因此应采用强酸性阳离子交换膜催化水解 K=cH+×coH 离,在一定电场强度条件下使电流密度迅速提高,K被称为水的离子积常数,并随温度的高低而变 并达到电解去除材料的要求 化.25℃时,K=1.009×1 根据强酸性阳离子交换膜的平衡理论3,即交 根据离子交换膜界面 Donnan平衡的原理1 换容量、离子交换选择性、交换动力学、一般的物在一定电场强度下,离子交换膜内外电流差△I的 化性能、机械性能及工艺要求,实验中选用强酸性存在及各种影响因素促使水解离增强,并在离子交 苯乙烯系阳离子交换膜,研究了其在超纯水电解加换膜界面离子浓度极化作用加剧而导致界面电位差 工过程中提高电流密度的作用 △E,即 离子通过膜的传递量正比于电流密度j,而电 △E=MU/♂=△IR/ 流密度取决于所施加的电场强度和膜电阻.提高电 △I=△U/Rb (6) 流密度可以提高传递离子的数目,但电流密度并不 从以上分析及离子交换膜的工作特性可知,离 是线性变化,其变化的一般规律如图1所示 子交换膜U-j曲线上的第一拐点A代表纯水中的 电流开始小于离子交换膜内的电流,在界面层两侧 开始小于膜内的电流,从而在界面层两侧开始形成 电流差,并进而形成附加电势,即第一拐点A是 电流差和附加电势的形成点.第二拐点B表示附 加电势大到足以使界面层中水发生大量水解离,以 弥补界面层纯水中离子的不足,因此膜界面层形成 附加电势是导致水解离的根本原因.并且在电解加 U/V 工过程中,超纯水中含杂质离子越少,离子交换膜 Fig. 1 Voltage-current density characteristic 促进水解离越强. 超纯水流量对水解离没有明显影响,增大流速 图1中曲线可分成3个区域,1区为欧姆区,有抑制水解离的作用.所以在超纯水电解加工中 电流密度与电位差关系满足欧姆定律;2区电流密要尽量选择合适的参数及一定纯度的超纯水以确保 度达到一个稳定值,表明电阻已经增大,这就是极离子交换膜工作区域在第二个拐点后的过极限电流 限电流密度jm极限电流密度为传递所存在的全区域,从而保证超纯水电解加工顺利进行 部离子产生的电流当电压继续增加,已没有离子2超纯水电解加工实验研究 可以用来传递电荷,这就是过极限电流区域,此时 水解离产生H和OH,离子交换膜的电流密2.1超纯水电解加工中水解离实验 度为 本实验中选用均相阳离子交换膜,该产品采用
第 3期 鲍怀谦 等 ：超纯水 电解加工机理及工艺基：_出 ·627 · 不产生 污染 ，加 工过程 的循 环 和加工后 废液 中 因不 含电解质而处理更加方便．这些优点可望开发绿 色 、微 细 电解加工 ． 1 超纯水 电解加工 中水解 离理论基础 1．1 水 解 离模型 的建立 超纯 水 是一种极 弱 的 电解 质 ，电离 度极 小 ，电 离 常数 约 为 a=1．8×lO ；但 水 中 H 和 OH 的 数量很大，它们不断产生 ，又不断复合 ，无规则的 运动和碰撞 ；在外加直流电场的情况下，水中 H 和 OH 就会有规律地分别向阴阳两极移动，并由 它 们来 充 当导 电任 务 ，从 而形 成微 弱 的 电流 ，可这 样 小 的电流 密度还不 足 以达 到 电解 加工 去除材 料 的 要求，因此应采用强酸性 阳离子交换膜催化水解 离，在一定电场强度条件下使电流密度迅速提 高， 并达到电解去除材料 的要求． 根 据强 酸性 阳离子 交换 膜的平 衡理 论[3]，即交 换容量、离子交换选择性 、交换动力学 、一般的物 化 性能 、机 械性能 及工 艺要求 ，实验 中选用 强酸性 苯乙烯系阳离子交换膜 ，研究 了其在超纯水电解加 工过程 中提 高 电流 密度 的作用 ． 离 子通 过膜 的传递 量 正 比于 电流 密度 J，而 电 流密度取决于所施加的电场强度和膜电阻．提高电 流密度可以提高传递离子的数 F1，但电流密度并不 是 线性 变化 ，其变 化 的一般 规律[4]如 图 1所示 ． U／V Fig．1 V0ltage_currentdensity characteristic curveofcationexchangemembranes 图 1中曲线可分成 3个 区域 ，1区为欧姆 区 ， 电流密度与电位差关系满足欧姆定律 ；2区电流密 度 达到一 个稳 定值 ，表 明 电阻已经增 大 ，这就 是极 限电流密度 J。．极 限电流密度为传递所存在 的全 部 离子 产生 的 电流． 当 电压继 续增 加 ，已没有 离子 可以用来 传递 电荷 ，这 就是过 极 限电流 区域 ，此时 水解 离 产 生 H 和 OH一． 离 子 交 换 膜 的 电 流 密 度为 一 t t ( ～ bt) ㈩“ 当膜表面离子浓度降到零时便可得到极限电流 密度 【im，即 Um．i O时 I… 则 ． D Fc … Jllm 一 1．2 水解 离的理 论分 析 水解离是超纯水解离生成 H 和 0H一的过程 ， 但是在水中并不存在单独的 H ，而是与水分子形 成水合质子 H 0 ，即 2HzO H3OT+ OH一 (3) 一 定 温 度 下 ，该 质 子 反 应 达 到 平 衡 时 ，CHx()+和 的乘积是定值．根据热力学中对溶剂和溶质标 准状态的规定，水 自身解离反应的标准平衡常数为 K — H3()+ × COH一 (4) K被称为水的离子积常数，并随温度 的高低 而变 化．25℃ 时 ，K一1．009×10 ． 根据离子交换膜界 面 Donnan平衡的原理 ， 在一定电场强度下，离子交换膜内外电流差 △J的 存在 及各 种影 响因素促 使水 解离增 强 ，并在 离子交 换膜界 面 离子 浓度 极化 作用 加剧 而导致 界面 电位差 AE，即 AE = AU璃 一 AIR8俺 t5 △I= AU／R (6) 从以上分析及离子交换膜的工作特性可知，离 子交换 膜 U-j曲线 上 的第 一 拐 点 A 代表 纯水 中 的 电流开始小于离子交换膜内的电流，在界面层两侧 开始 小于 膜 内的电流 ，从 而在界 面层 两侧开 始形成 电流差，并进而形成附加 电势，即第一拐点 A是 电流差和附加电势 的形成 点．第 二拐点 B表示 附 加 电势大 到足 以使界 面层 中水发 生大 量水解 离 ，以 弥 补界 面层纯水 中离 子 的不足 ，因此 膜界 面层形 成 附加电势是导致水解离的根本原因．并且在电解加 工 过程 中 ，超 纯水 中含杂 质离 子越少 ，离 子交换 膜 促进 水解 离越 强． 超纯 水流量 对 水解离 没有 明显影 响 ，增大 流速 有 抑制水 解离 的作 用． 所 以在 超 纯 水 电解 加 工 中 ， 要 尽量选 择合 适 的参数 及一 定纯度 的超纯 水 以确保 离 子交 换膜 ：[作 区域在 第二个 拐点 后 的过极 限 电流 区域 ，从 而保 证超 纯水 电解加 工顺 利进行 ． 2 超纯水 电解加 工实验研 究 2．1 超 纯 水 电解 加工 中水解 离 实验 本 实验 中选 用均 相 阳离子交 换膜 ，该 产品采 用 维普资讯 http://www.cqvip.com
·628 第57卷 Table 1 Technical criteria of cation exchange membrane Moisture Type Appearance capacity Water Transport content/% resistance number/% rength×105 thickness/mm /g·cm2 /Pa lack 0.11-0.13 芳香族烃类化合物和双烯类化合物,线型髙分子材 料经涂浆工艺制造而得,具有耐酸、耐碱、耐氧 化,膜面光滑,电化学性能优良等特点,其主要技 术指标见表1.在超纯水水解离实验中,以蒸馏水 代替超纯水为电解液,工具阴极为不锈钢丝,工件 阳极采用难溶解的铂金片,从而保证在水解离实验 过程中阴阳极之间间隙不变,其中工件阳极(实验 装置如图2中1所示)固定于压电陶瓷微进给装置 端,并在其驱动下完成加工过程中的连续进给 E×10/V.m Fig 3 Voltage-current density characteristic rve of ECM in ultra pure water 0.18mm的1Cr18Ni9Ti不锈钢片,加工电压28 6 V,一次蒸馏水为电解液,初始间隙10gm 在加工过程的初始阶段,随着电压调至28V 电流逐渐变大,最终电流稳定在5mA左右,并有 不连续气泡的逸出.经过一段时间后,电流大小发 生微小的波动,但并不影响加工的继续进行.在整 8 个实验过程中,电流密度达到2.3A·cm-2,加工 区伴随着气泡的冒出,并有絮状物产生,说明试件 Fig 2 Experimental set-up on ECM in ultra-pure water 正在被蚀除,最后加工出%.68mm的通孔,如图 anode: 2-electrolyte inlet; 3-cation exchange membranes: 4 ETN 4--clearance adjustment: 5-assistant electrode: 6-electrol outlet: 7-cathode: 8--piezoelectric ceramic micro-feeding 在室温、静液条件下进行阳离子交换膜水解离 实验,得出电场强度与电流密度关系(图3),通 过图3可以看出,阳离子交换膜在不同电场强度下 电流密度与理论分析的变化趋势相符,并且从图 中可以得到极限电流密度对应的电场强度E≈2 106V·m-,这为超纯水电解加工工艺实验参数 Fig 4 Micrograph of hole with ECM 的选择提供了依据 in ultra-pure water 2.2超纯水电解加工工艺实验 在水解离实验的基础上,选择低流速的电解3结论 液、满足阳离子交换膜在过极限电流密度工作区域 (1)超纯水在常温条件下离子浓度极低,不能 的电压等工艺实验参数,从而充分发挥离子交换膜用于电解加工去除材料,通过离子交换促进水解离 的催化作用,确保电解加工的顺利进行.加工实验来提高超纯水中离子浓度后,在实验中加工电流密 仍然采用图2所示的实验装置,工具阴极为40.50度达到23∧·cm-2,已达到实用微细电解加工电 mm的1Crl8Ni9Ti不锈钢丝,试件材料选择厚度流密度的范围,表明超纯水电解加工是可行的
· 628 · 化 工 学 报 第 57卷 芳香族烃类化合物和双烯类化合物 ，线型高分子材 料经涂浆工艺 制造而得 ，具有 耐酸 、耐碱、耐 氧 化 ，膜面光滑 ，电化学性能优 良等特点 ，其主要技 术指标见表 1．在超纯水水解离实验 中，以蒸馏水 代替超纯水为电解液，工具阴极为不锈钢丝 ，工件 阳极 采用 难溶解 的铂 金 片 ，从 而保证 在 水解离 实验 过程 中阴阳极之 间 间隙不 变 ，其 中工件 阳极 (实 验 装置如图 2中 1所示)固定于压电陶瓷微进给装置 一 端，并在其驱动下完成加工过程中的连续进给． Fig．2 Experimentalset—upon ECM inultra—purewater 1一 anode{ 2 electrolyteinlet； 3一 cati0n exchangem embranes； 4 clearanceadjustment；5一 a stantelectrode；6一electrolyte outlet；7- cathode； 8- piezoelectricceramicmicro-feeding 在室温 、静液条件下进行 阳离子交换膜水解离 实 验 ，得 出 电场 强度 与 电 流密 度 关 系 (图 3)，通 过 图 3可以看 出 ，阳离 子交换 膜在 不 同 电场 强度 下 电流密度 与理 论分 析 的变化 趋 势相 符 ，并 且 从 图 3 中可 以得 到极 限 电流 密 度 对应 的 电场 强度 E≈ 2× 1O V ·1TI_。，这 为超纯水 电解加工 工艺实 验参 数 的选 择提 供 了依据 ． 2．2 超 纯水 电解加 工 工艺实 验 在水解离实验 的基 础上，选择低 流速 的电解 液 、满足阳离子交换膜在过极限电流密度工作区域 的 电压等 工 艺实验 参数 ，从而 充分 发挥 离子 交换膜 的催 化作 用 ，确保 电解 加工 的顺 利进 行 ．加工 实验 仍然 采用 图 2所 示 的 实验 装置 ，工 具 阴极 为 乒O．50 mm 的 1Crl8Ni9Ti不 锈 钢 丝 ，试 件 材 料 选 择 厚 度 Fig．3 Voltage—currentdensitycharacteristic curveofECM in ultra—purewater 0．18mm 的 1Crl8Ni9Ti不 锈 钢 片 ，加 工 电压 28 V，一次 蒸馏 水 为 电解 液 ，初 始间 隙 10 m． 在加 工过 程 的初 始阶段 ，随着 电压 调至 28V， 电流逐渐变大 ，最终电流稳定在 5mA左右 ，并有 不连续气泡的逸出。经过一段时间后 ，电流大小发 生微小的波动 ，但并不影响加工的继续进行．在整 个 实验过 程 中 ，电流 密度达 到 2．3A ·cm ，加 工 区伴 随着气 泡 的 冒出 ，并有 絮状 物产 生 ，说 明试 件 正在 被蚀 除 ，最 后 加工 出 ≠O．68mlTl的通孔 ，如 图 4所示． Fig．4 M icrographofholewith ECM in ultrapurewater 3 结 论 (1)超 纯水 在 常温 条件下 离 子浓 度极低 ，不 能 用于电解加工去除材料 ，通过离子交换促进水解离 来提高超纯水中离子浓度后，在实验中加工电流密 度 达 到 2．3A ·cm ，已达 到实 用微 细 电解 加 工 电 流 密度 的范 围 ，表 明超纯 水 电解加 工 是可行 的． 维普资讯 http://www.cqvip.com
第3期 鲍怀谦等:超纯水电解加工机理及工艺基础 (2)超纯水电解加工同常规电解加工…样,电 i溶液中不同的阳离子 流密度受到电场强度、温度及气泡率等因素的影 References 响,特别是气泡率对于超纯水电解加工的影响 更大 [1] Wang Jianye(王建业), Xu jiawen(徐家文 and Application on Electrochemical Machining(电解加工 符号说明 理及应用). Beijing; National Defence Industry Press,2001 48-50,316-320 c—溶液中阳离子的物质的量浓度,mol 2 Yuzo Mor. Hidekazu Goto, Kikuzi Hirose, Itauki Kobata Cn膜表面阳离子的物质的量浓度, mol. cm-3 Yasushi Toma, Kenichi Morita. A study on electrochemical D,——扩散系数,m2·s machining method in ultra-pure water-increase of hydroxyl F— Faraday常数 n in ultra pure water by catalytic reaction. Journal of the Japan Society for Precision Engineering, 2001, 67 (6 R—界面层电阻,∩ 932-936 边界层中传递阳离子的数日 [3] Xu Tongwen(徐铜文), Textbook of Membrane Chemistry r"—离子交换膜传递阳离子的数目 And Technology(膜化学与技术教程). Hefei; University of △U—界面层两侧形成的附加电压,V Science and Technology of China Press, 2003: 184-190 Z,阳离子化合价 [41 Marcel Mulder. Basic Principles of Membrane Technology 边界层厚度,m (膜技术基本原理). Li Lin(李琳), trans. Beijing: 下角标 Tsinghua University Press, 1999: 249-250 b,m分别为溶液内、膜表面
第 3期 鲍怀谦等 ：超纯水电解加工机理及 工艺基础 (2)超纯 水 电解加 工 同常规 电解加 工 一样 ，电 流 密度受 到 电 场 强 度 、 温度 及 气 泡 率 等 因素 的影 响 ．特 别 是 气 泡 率 对 于 超 纯 水 电 解 加 工 的 影 响 更 大． 符 号 说 明 “．—— 溶液中阳离子 的物质的量浓度 ，tool·cm 膜表面阳离子的物质的量浓度 ，mol·crrl D—— 扩散系数 ，m ·s F—— Faraday常 数 R —— 界 面 层 电 阻 ，n t ——边界层 中传递 阳离子 的数 目 t… —— 离子交换膜传递 阳离子 的数 目 △U——界面层两侧形成 的附加 电压 。V ZJ—— 阳离 子化合价 占——边界层厚度 ，m 下角标 b，m—— 分别 为溶 液内、膜 表面 · 629 · — — 溶液 中不同的 阳离子 Refefences [1] [2] [3] [4] WangJiarye (王 建业 )，XuJiawen (徐 家 文 )． Principles andApplicationonElectrochemicalMachining (电 解 加 工 原 理 及 应 用 )． Beijing：NationalDefenceIndustryPress，2001： 48-50， 316320 YUZO M or。H idekazu Goto，KikuziH irose，ItaukiKobata， YasushiToma， KenichiM orita． A studyon electrochemical machiningm ethod in ultra—purewater increaseofhydroxyl ioninultrapurewaterbycatalyticreaction． JournalofLhe JapanSociety rPrecision Engineering，2001，67 (6)： 932-936 XuTong,aren (徐铜 文)．TextbookofMembraneChemistry andTechnology (膜 化 学 与 技 术 教 程 )． Hefei：Universityof ScienceandTechnologyofChinaPress，2003： 184—190 M arcelM ulder． Basic Principles of M embrane Technology (膜 技 术 基 本 原 理 )． IiIin (李 琳 )， trans． Beijing： TsinghuaUniversityPress，1999：249250 维普资讯 http://www.cqvip.com