第38卷第6期 山东大学学报(工学版) 2008年12月 Vol 38 No 6 JOURNAL OF SHANDONG UNTVERSITY(ENGINEERING SCIENCE) Dec,2008 文章编号:16723961(2008)06-003003 超声辅助纯水微细电解加工 鲍怀谦2,徐家文2,王昌田 (1.山东科技大学机电学院,山东青岛26610;2.南京航空航天大学机电学院,江苏南京20016) 摘要:基于离子状态去除材料的加工机理及其加工后工件表面的优异特性,电解加工在微细、精密,甚至是纳米加 工中都存在很大的发展潜力针对绿色制造和微细加工的需求,提出以纯水为电解液的微细电解加工工艺方法 采用阳离子交换膜促进纯水解离,提高电解加工过程中电流密度;并利用超声輔助电解液产生振动冲击及“负压 空化”效应来消除附着在工件表面的钝化膜,解决加工过程中电解产物排出问题,不仅提高了材料去除率,更保证 了加工过程的稳定性 关键词:电解加工;纯水;阳离子交换膜;水解离 中图分类号:TG662 文献标志码:A Ultrasonic assisted ECM in pure water BAO Huai-gian"2, XU Jia-wen,WANG Chang-tian (1. College of Mechanical and Electronic Engineering, Shandong University of Science and Technology, Qingdao 266510, China 2. College of Mechanical and Electrical Engineering, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing 210016, China Abstract: Electrochemical machining(ECM)can be used to achieve a desired workpiece surface. This machining method can be applied in principle to micromachining, precision finishing, and even to nano-fabrication. In order to develop green manufactur- ing and micro-fabrication, an innovative micro-electrochemical machining method-the electrochemical machining in pure water (PW-ECM)was studied. Water dissociation accelerated with the function of a cation exchange membrane and nt density. The ultrasonic vibration assistant was applied to PW-ECM. Process stability was ensured for reaction products from the zone of machining. In addition, anodic films were removed by electrolyte vibrating impact and cavitating for minus press Key words: electrochemical machining(ECM); pure water; cation exchange membrane; water dissociation 解去除作用很难持续稳定进行.若在加工区施加超 0引言 声振动,利用电解液的振动冲击及“负压空化”效应 来消除附着在工件表面的钝化膜,将可以使加工 纯水微细电解加工是在常规电解加工原理的基过程连续进行下去,同时改善加工区的状态,解决微 础上,用纯水作电解液,并采用阳离子交换膜促进水细电解加工过程电解产物的排出问题,结果大大提 解离来提高纯水中OH的浓度,使电流密度达到足高了去除效率.以下将对其加工机理及工艺规律进 够去除材料的一种新型电解加工方法121:但是,与行的分析,并进行试验 常规的微细电解加工相比,纯水微细电解加工的 电流密度很低,因此在低电流密度下进行电解加工, 1超声辅助纯水微细电解加工试验 工件表面将产生低电流密度难以破坏的钝化膜,电1.1试验装置 收稿日期:200807-22 基金项目:航空科学基金资助项目(02H52049) 者简介:鲍怀谦(1977-),男,山东新泰人,副教授,博士,主要从事微细电解加工新技术 Emailbhqian@163.com
第 38卷 第 6期 V01．38 No．6 山 东 大 学 学 报 (工 学 版 ) JOURNALOFSHANDONGUNIVERSITY(ENGINEERINGSCIENCE) 2008年 l2月 Dec．2oo8 文章编号 ：1672．3961(2008)06—0030—03 超声辅助纯水微细 电解加工 鲍 怀谦 ，徐 家文 ，王 昌田 (1．山东科技大学机电学院，山东 青岛 266510；2．南京航空航天大学机电学院，江苏 南京 210016) 摘要：基于离子状态去除材料的加工机理及其加工后工件表面的优异特性，电解加工在微细、精密，甚至是纳米加 工中都存在很 大的发展 潜力 ．针对绿 色制造 和微 细加 工 的需求 ，提 出以纯水 为电解液 的微细 电解加 工工 艺方法 ， 采用阳离子交换膜促进 纯水解 离，提 高电解加 工过程 中电流 密度 ；并利 用超 声辅 助 电解液产 生振 动冲 击及 “负压 空化 ”效应 来消除附着在 X-件表 面的钝化膜 ，解决加工过程 中电解产 物排 出问题 ，不仅提 高了材料 去除率 ，更保证 了加 工过 程 的 稳 定 性 ． 关键 词 ：电解加 工；纯水 ；阳离子 交换膜 ；水解 离 中图分类号 ：TG662 文献标志码 ：A Ultrasonic assisted ECM in purewater BAO Huai—qian ，XUJia—wen ，WANG Chang—tian (1．CoHegeofMechanicalandElectronicEngineering，ShandongUniversityofScienceandTechnology，Qingdao266510，China； 2．CoUegeofMechanicalandElectricalEngineering，NanjingUniversity ofAeronauticsandAstronautics，Nanjing210016，Claim) Abstract：Electrochemicalmachining(ECM)Can beusedtoachieveadesiredworkpiecesurface．Thismachining methodcallbe apphedinprincipletomicromachining，precisionfinishing，and eventonano-fabrication．In ordertodevelopgr{~nmanufacturingan d micro-fabrication，an innovative mi cro-elec trochemi cal machining method-theelectrochemi cal machining in purewater (PW-ECM)wasstudied．Waterdissociationacceleratedwiththefunctionofacationexcth~tgemembraneandan increaseincurrentdensity．Theultrasonic~bradonassistantWas appliedtoPW-ECM．~"ocessstability wasensuredforreactionproductsfrom thezoneofmachining．Inaddition，anodicfilmswerer~movod byelectrolytevibratingimpactand cavitating formi nuspressafter using theultrasonicvibration． Keywords：electrochemicalmachining (ECM)；purewater；cationexchangemembrane；waterdissociation 0 引言 纯水微细电解加工是在常规电解加工原理的基 础上 ，用纯水作 电解液 ，并采用 阳离子交换膜促进水 解离来提高纯水 中 OH一的浓度 ，使 电流密度达到足 够去除材料的一种新型 电解加工方法【】_2】但是 ，与 常规的微细电解加工【别相比，纯水微细电解加工的 电流密度很低 ，因此在低 电流密度下进行电解加工 ， 工件表面将产生低 电流密度难 以破坏 的钝化膜 ，电 解去除作用很难持续稳定进行 ．若在加工 区施加超 声振动 ，利用 电解液的振动冲击及 “负压空化”效应 来消除附着在工件表面 的钝化膜【6】，将 可以使加工 过程连续进行下去 ，同时改善加工区的状态，解决微 细电解加工过程电解产物 的排出问题 ，结果大大提 高了去除效率 ．以下将对其加工机理及工艺规律进 行的分析，并进行试验 ． 1 超声辅助纯水微细电解加工试验 1．1 试 验 装置 收稿 日期 ：2008-07—22 基金项 目：航空科学基金资助项 目(02H52049) 作者简介 ：鲍怀谦 (1977．)，男 ，山东新泰人 ，副教授 ，博士 ，主要从事微 细电解加工新技术 E·mail：bhqian@ 163．com
第6期 鲍怀谦,等:超声辅助纯水微细电解加工 在原有电解加工机床的基础上,通过分析超声(图2中曲线N),其相应去除材料的速度可以满足 辅助纯水微细电解加工的工艺特征,研制了见图1微细加工的要求 所示的试验装置.直流电源的正、负极通过导线分别 试验中选用均相阳离子交换膜作为促进水解离 与工件阳极、工具阴极连接.工件通过安装座与超声的催化材料,该产品采用芳香族烃类化合物和双烯 辅助装置连接,并完成加工过程中X、Y方向的进给类化合物,线性高分子材料经涂浆工艺制造而得,具 作用;阳离子交换膜和工具阴极连接的微位移调整有耐酸、耐碱、耐氧化、膜面光滑电化学性能优良等 杆以保证工件与阴极之间合适的初始间隙,并在机特点,其主要技术指标见表1 床Z轴的驱动下完成进给运动 表1阳离子交换膜技术指标 Table 1 Cation exchange membrane technical criteria 交换容量含水量面电阻湿膜厚度迁移数 /(·cm2)/mm 50.11-0.13≥95 离子交换膜了 变幅杆 超声辅助系统由变幅杆、换能器和超声波发生 器等组成.工件安装在变幅杆顶端较大的振幅处,在 声渡发生器 换能 加工中获得较大振幅 机床工作台 其中超声波发生器的作用是将50Hz的工频交 图1超声辅助纯水微细电解加工试验装置示意图 1 Schematic diagram of set-up on PW-ECM/USV 流电转变为有一定功率输出的超声频电振荡,以提 在加工过程中,采用传统的高速冲液进行电解供工件振动其基本要求是输出功率和频率在一定 产物的排出和电解液的更新在微细电解加工中是不范围内连续可调超声换能器的作用是将超声波发 可行的,高速冲液会使微电极发生变形,从而影响加生器产生的超声频电振荡转换为机械振动,即电能 的精度和稳定性因此微细电解加工中常采用近转化为机械能变幅杆是一种将振幅扩大的截面不 等的棒杆,由于超声换能器的振幅很小,因此需要采 似于静液的流速条件下加工.在纯水微细电解加工 用变幅杆来扩大.本试验中的超声辅助系统主要参 装置中,其电解产物的排出是利用超声振动使微小 加工间隙内电解液的振动冲击下实现的通过附加数如下:功率为500-1500w,频率为20kHz,通过调 在工件的超声振动,不仅能大大改善电解产物的排节超声波发生器上频率调节磁芯使系统处于或接近 于共振状态;超声换能器为压电换能器,产生的振幅 更新,提高纯水微细电解加工的稳定性,减少短路等过变幅杆扩大后达到10-15/m 异常现象的发生 采用电导率在255~20ps/cm之间的纯水为电 12试验条件 解液;利用经过电化学反拷加工而成的三角/方形工 常温、常压下纯水在电场强度为32×10Vm具阴极(见图3所示)进行加工试验;加工电压24V; 的条件下,电流密度只能达到02Am2(图2中曲初始加工间隙35{m;工件材料为1Crl8N不锈 线M),难以直接应用于微细电解加工 钢;进给速度为3~6m/min M无离子膜 3N在离子膜作用下 E/V·m1(×10°) 图3三角形/方形电解加工阴极 图2纯水电解加工中离子交换膜工作特性 Fig. 3 A trilateral/ square tool cathode Fig. 2 lon exchange membrane characteristics of ECM in 2试验结果与分析 但是通过阳离子交换膜促进水解离后,在同 样电场强度下,可以提高电流密度达到3.7Acm2 电解加工时,工件阳极表面因钝化作用产生的
第 6期 鲍 怀谦 ，等 ：超声 辅助纯水微细电解加工 3l 在原有 电解加工 机床 的基础上 ，通过分析超声 辅助纯水微细 电解加工 的工艺特征 ，研制 了见 图 1 所示的试验装置 ．直流电源的正 、负极通过导线分别 与工件阳极 、工具阴极连接 ．工件通过安装座与超声 辅助装置连接 ，并完成加工过程中 、y方向的进给 作用 ；阳离子交换膜和工具阴极连 接的微位移调整 杆以保证工件与阴极之间合适 的初始间隙 ，并在机 床 z轴 的驱动下完成进给运动 ． 图 1 超声辅助纯水微细 电解加工试验装置示意 图 Fig．1 Schematicdiagram ofset-uponPW -ECM／USV 在加工过程 中，采用传统的高 速冲液进行电解 产物的排出和电解液的更新在微细电解加工中是不 可行 的，高速冲液会使微 电极发生变形 ，从而影响加 工的精度和稳定性 ，因此 ，微细电解加工 中常采用近 似于静液的流速条件下加工 ．在纯水微 细电解加工 装置 中，其电解产物 的排 出是利用 超声振动使微小 加工间隙内电解液 的振动冲击下实现 的．通过附加 在工件的超声振动 ，不仅能大大改善电解产物的排 出条件 ，还 可 以保 证 微 小 加 工 间 隙 内 电解 液 的 循 环 更新 ，提高纯水微细电解加工的稳定性 ，减少短路等 异常现象的发生 ． 1．2 试验条件 常温 、常压下 ，纯水在 电场强度为 3．2×106V／m 的条件下，电流密度只能达到 0．2A／cm2(图 2中曲 线 )，难以直接应用于微细电解加工 ． E／(V·nl (x106)) 图 2 纯水电解加工中离子交换膜工作特性 Fig．2 Ionexchangemembl'd／lecharacteristicsofECM in purewater 但是通过 阳离子交换膜促进水解离后【8】，在 同 样电场强度下 ，可 以提高 电流 密度达 到 3．7A／cm2 (图 2中曲线 Ⅳ)，其相应去除材料的速度可以满足 微细加工的要求 ． 试验 中选用均相阳离子交换膜作为促进水解离 的催化材料 ，该产品采用芳香族烃类化合物和双烯 类化合物 ，线性高分子材料经涂浆工艺制造而得 ，具 有耐酸 、耐碱 、耐氧化、膜面光滑 、电化学性能优 良等 特点 ，其主要技术指标见表 1： 表 1 阳离子交 换膜技术指标 Table1 Cationexchangemembranetechnicalcriteria 超声辅助系统 由变幅杆、换能器和超声波发生 器等组成 ．工件安装在变幅杆顶端较大 的振幅处 ，在 加工中获得较大振幅 ． 其中超声波发生器的作用是将 5OHz的工频交 流电转变为有一定功率输出的超声频 电振荡，以提 供工件振动 ．其基本要求是 ：输出功率和频率在一定 范围内连续可调 ．超声换 能器 的作用是将超声波发 生器产生的超声频 电振荡转换为机械振动 ，即电能 转化为机械能 ．变幅杆是一种将振幅扩大的截面不 等的棒杆 ，由于超声换能器的振幅很小 ，因此需要采 用变幅杆来扩大 ．本试验 中的超声辅助系统主要参 数如下 ：功率为 500—1500W，频率为 20kHz，通过调 节超声波发生器上频率调节磁芯使系统处于或接近 于共振状态 ；超声换能器为压 电换能器 ，产生的振幅 经过变幅杆扩大后达到 10～15tnn． 采用 电导率在 2．55～20tts／cm之间的纯水为 电 解液；利用经过电化学反拷加工而成 的三角／方形工 具阴极(见 图 3所示)进行加工试验 ；加工 电压 24V； 初始加工 间隙 35tnn；工件材料为 1Crl8Ni9Ti不锈 钢 ；进给速度为 3—6tma／min． 图 3 三角形／方形 电解加工 阴极 Fig．3 A trilateral／squaretoolcathode 2 试验结果与分析 电解加工时，工件 阳极表面 因钝化作用产生 的
山东大学学报(工学版) 第38卷 钝化膜会阻止低电流密度下的电解反应,常规电解的情况下有自我恢复的能力 加工用较高的电流密度及高速流动的电解液来消除2.2不同电解液对孔加工的影响 钝化、清除电解产物,保持电解过程的连续高速进 传统的电解液在进行“拷贝”式微细电解加工中 行而纯水微细加工在低电流密度下进行,工件表面会暴露出复制精度不高,而且采用具有腐蚀性电解 产生的钝化膜难以破坏,电解作用很难持续稳定进质水溶液(如酸碱)作电解液,对加工零件及环境产 行,而且电解液的流速不能像常规电解加工一样高生二次腐蚀和污染,而盐类电解液在零件表面产生 达6~30ms冲涮加工间隙,因此电解产物如果不能的结晶更是难以清洗,这些问题在精密微细元件的 及时排除,就会导致加工短路,造成工件与阴极的烧加工中更要特别注意防止.利用纯水作电解液不仅 伤和损坏,见图4所示 可以解决以上问题,也适应了“绿色制造”的发展趋 势.在以上试验的基础上,进行不同电解液情况下 角形通孔的加工,试验参数如下:采用见图4三角形 阴极及相同的加工工艺参数在1Cr18Ni9T不锈钢材 料上加工出通孔 图6可以看出,以NaNO3溶液作电解液加工的 三角形通孔已经失去三角形阴极的原始形状,而近 图4三角/方形阴极进行纯水电解加工孔的短路点 似于圆形,说明NaNO3溶液作电解液在加工中的 4 Trilateral and square shaped cavity processed by PW-ECM 次腐蚀比较严重 从图4可以看出,由于局部电解液流速非常低, 几乎不可能依靠电解液冲刷加工间隙来带走电解产 物和热量,而电解产物聚集达到一定程度后就会发 生短路.因此,必须采取其它有利于电解产物排出的 措施,以确保纯水微细电解加工能在近似于静液的 情况下顺利进行 2.1超声辅助对改善加工状态的影响 图6NaNO3溶液为电解液加工的三角形孔 为了提高纯水电解加工的稳定性,保证电解产 Fig. 6 A trilateral shaped hole processed by ECM in NaNO, 物及时排出、工件表面钝化膜的消除及加工间隙内 而以纯水为电解液,利用同样的阴极加工的 电解液的循环更新,在加工区附加超声振动,利用电角孔见图7所示,图7中三角形通孔侧壁比较垂直 解液的振动冲击及”负压空化”效应来消除附着在工形状与工具阴极相似,符合”复制性”电解加工的特 件表面的钝化膜,其加工样件见图5所示 性而且在加工过程中,进给速度可达到6ym/min, 比普通纯水微细电解加工的进给速度提高了一倍, 说明加工效率大幅度提高,从而证明超声辅助对纯 水微细电解加工有非常明显的改进效果 图5超声辅助纯水微细电解加工三角/方形盲孔照片 Fig. 5 A trilateral and square shaped hole processed by PW-ECM/USV 与图4相比,图5加工底面更加平整,侧壁更趋 近于垂直,表明在附加超声辅助后,纯水微细电解加 图7超声辅助纯水微细电解加工三角形通孔照片 Fig. 7 A trilateral shaped hole processed by PW-ECM/USV 工过程中加工间隙内流场的更加均匀,定域性去除 能力也得到提高在加工过程中,也会出现瞬时的小3 结论 短路火花,但在超声辅助振动的情况下,加工很快恢 复正常,说明超声辅助的纯水微细电解加工在短路 针对纯水微细电解加工试验中(下转第36页)
32 山 东 大 学 学 报 (工 学 版) 第 38卷 钝化膜会阻止低电流密度下 的电解反应 ，常规 电解 加工用较高的电流密度及高速流动的电解液来消除 钝化 、清除电解产物 ，保持 电解过程 的连续 高速进 行 ．而纯水微细加工在低电流密度下进行 ，工件表面 产生的钝化膜难以破坏 ，电解作用很难持续稳定进 行 ，而且 电解液的流速不能像 常规 电解加工一样高 达 6～30m／s冲涮加工间隙，因此电解产物如果不能 及时排除 ，就会导致加工短路 ，造成工件与阴极 的烧 伤和损坏 ，见图 4所示 ． 一 图 4 三角／方形 阴极进行纯水囝电解)JI~ L的短路点 Fig．4 Trilateraland squareshapedcavityprocessed byPW-ECM 从 图 4可以看出 ，由于局部电解液流速非常低 ， 几乎不可能依靠 电解液冲刷加工问隙来带走 电解产 物和热量 ，而电解产物聚集达到一定程度后就会发 生短路 ．因此 ，必须采取其它有利于电解产物排出的 措施 ，以确保纯水微细 电解加工能在 近似于静液的 情况下顺利进行 ． 2．1 超声辅助对改善~jn-r状态的影响 为了提高纯水电解加工 的稳定性 ，保证电解产 物及时排出、工件表面钝化膜 的消 除及加工间隙 内 电解液 的循环更新 ，在加工区附加超声振动 ，利用 电 解液的振动冲击及”负压空化”效应来消除附着在工 件表面的钝化膜 ，其加工样件见 图 5所示 ． 图 5 超声辅助纯水微细 电解加工三 角／方形 盲孔 照片 Fig．5 Atrilateralandsquareshapedholeprocessedby PW—ECM／USV 与图 4相 比，图 5加工底面更加平整 ，侧壁更趋 近于垂直 ，表明在附加超声辅助后 ，纯水微细电解加 工过程中加工间隙内流场 的更加均匀 ，定域性去 除 能力也得到提高 ．在加工过程中，也会 出现瞬时的小 短路火花 ，但在超声辅助振动的情况下，加工很快恢 复正常 ，说 明超声辅助的纯水微细 电解加工在短路 的情况下有 自我恢复的能力 ． 2．2 不 同 电解 液 对孔 加工 的影 响 传统的电解液在进行“拷贝”式微细 电解加工中 会暴露出复制精度不高 ，而且采用具有腐蚀性电解 质水溶液(如酸 、碱)作电解液 ，对加工零件及环境产 生二次腐蚀和污染 ，而盐类 电解 液在零件表面产生 的结 晶更是难以清洗 ，这些问题在精密 、微细元件的 加工 中更要特别注意防止 ．利用 纯水作 电解液不仅 可以解决以上问题 ，也适应了“绿色制造”的发展趋 势 ．在以上试验 的基础上 ，进行不同电解液情况下三 角形通孔的加工 ，试验参数如下 ：采用见 图 4三角形 阴极及相同的加工工艺参数在 1Cr18Ni9Ti不锈钢材 料上加工出通孔 。 图 6可以看出 ，以 NaNO 溶 液作 电解液加工的 三角形通孔已经失去三角形 阴极 的原始形状 ，而近 似于圆形 ，说明 NaNO3溶液作 电解液在加工 中的二 次腐蚀 比较严重 ． 图 6 NaNO~溶液为电解液加工 的三角形孔 Fig．6 Amlmeralshapedholeprocessedby ECMinNaNOs 而以纯水为电解液 ，利用 同样的阴极加工 的三 角孔见图 7所示 ，图 7中三角形通孔侧壁 比较垂直， 形状与工具阴极相似 ，符合”复制性”电解加工的特 性 ．而且在加工过程 中，进给速度可达 到 6~m／min， 比普通纯水微细电解加工的进给速度提高了一倍 ， 说明加工效率大幅度提高 ，从而证 明超声辅助对纯 水微细电解加工有非常明显的改进效果 ． 图 7 超声 辅助纯水微细电解加工三角形通孔照片 Fig．7 Atrilateralshapedholeprocessedby PW-ECM／USV 3 结论 针对纯水微细电解加工试验中 (下转第 36页)
第38卷 Pure and Applied Mathematics, 2002, 18(2): 130-134 onal interactive genetic algorithm[ J ]. Computer Integrated [3]王小铭分形图案的构图艺术及其计算机实现[J].计算 Manufacturing Systems, 2007, 13(8): 1470-1475 机辅助设计与图形学学报,2001,13(1):83 [7]KA TO Syuko. An image retrieval method based on a genetic orithm controlled by user's mind[ J]. Joumal of the Com- implementation in computer [J]. Joumal of Computer-Aided unications Research L-aboratory, 2001, 48(2): 71-86 Design Computer Graphics, 2001, 13(1): 83-86 [8] HS Kim and SB Cho. Application of interactive genetic algo- 4]魏宝刚,庞向斌,朱文浩,等基于纹理渲染的分形图案 thm to fashion design]. engineering Applications of Artifi 设计[J].中国图象图形学报,2006,11(5):689694 cial Intelligence, 2000, 13(6) WEI Baogang, PANG Xiang-bin, ZHU Wen-hao,etl.Us-[9余有明,刘玉树,阎光伟.遗传算法的编码理论与应用 ing texture render in fractal pattem design[J]. Journal of Image [J].计算机工程与应用,2006,15(11):8689 and Graphics,2006,11(5):68964 YU You-ming, LIU Yu-shu, YAN Guang-wei. Encoding theory 5]王小平,曹立明遗传算法一理论、应用与软件实现[M and application of genetic algorithm[ J]. Computer Engineering 西安:西安交通大学出版社,2002 d applications,2006,15(11):86-89 WANG Xiao-ping, CAO Li-ming. Genetic algorithm-theory, [10] Liu Hong, Tang Mingxi, John Hamilton Frazer, A kind of ev- pplication and software implementation[M]. Xi'an: Xi'an olutionary design approach in distributed environment [C] Proceedings of the 6th World Multicorference on Systemics [6]徐江,孙守迁,基于正交一交互式遗传算法的产品造型 Cybernetics and Informatics( SCI02 ) Orlando: [s.n.] 设计[J.计算机集成制造系统,200,13(8):1470-1475 2002:322-327 XU Jiang, SU Shou-gian. Product form design based on orthog (编辑:胡春霞) (上接第32页)电解产物难以排出的问题,进行了 超声辅助纯水微细电解加工的试验试验结果表明:[3] SCHUSTER R, KIRCHNER V, ALLONGUE P,eta. Electro- 在加工区附加超声振动,保证了加工过程的稳 chemical micromachining[J]. Science, 2000,(289):98-101 定性;同时也解决了电解产物排出问题 [5] BHATTACHARYYA B, MALAPATT M, MUNDA J. Experi 而相同试验条件下,NaNO3溶液与纯水作电解 液的加工试验,验证了纯水作为电解液有更好的加 [6]KIRCHNER V, CAGNON L, SCHUSTER R, et al. Electro- 工定域性 chemical machining of stainless steel microelements with ultra 上述研究表明,超声辅助纯水微细电解加工技 short voltage pulses[J]. Applied Physics Letters,2001,79 术为传统的电解加工方法提供了新的思路,有望为 (11):1721-1723 微细加工开拓出新的途径 [7]朱永伟,吴冰洁,云乃彰.制作微器件的超声电解复合微 细加工基础研究[J].电加工与模具,2006,2:5659 参考文献 ZHU Yong-wei, WU Bing-jie, YUN Nai-zhang, The basic 1]鲍怀谦,徐家文,超纯水电解加工机理及工艺基础[J] ady on the combined technology of ultrasonic and electro- 化工学报,2006,57(3):626629 BAO Huai-qian, XU Jia-wen, Mechanism and technological Electromachining Mould, 2006, 2: 56-59 foundation of ECM in ultra-pure waterl,1 ournal of Chemical[81 MARCEL Mulder,膜技术基本原理M].李琳,译北京 Industry and Engineering, 2006; 57(3): 626-629 清华大学出版社,1999:247-252 [2]鲍怀谦,徐家文,基于超纯水微细电解加工过程中水解 MARCEL Mulder. Basic principles of membrane technology 离机理研究[门.宇航材料工艺,2006,5:58-60 IM]. LI Lin, Translation. Beijing: TsingHua University BAO Huai- qian, XU Jia-wen. Water dissociation study Press,1999.7. electrochemical machining in ultrapure Water[J ].Aerospace (编辑:陈燕)
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