emys5艺与检测 电火花成形机床微细加工相关探索 张天鹏云乃彰陈建宁 (南京航空航天大学机电学院,江苏南京210016) 摘要:首先简要介绍了电火花微细加工目前的发展状况,并概括地分析了商品电火花成形机用于微细加工 所具有的一些特殊优势,最后通过微轴的加工实例来证实其进行实用微细加工的可行性。 关键词:商品电火花成形机电火花微细加工微轴 Discussion on Micro-machining on EDM ZHANG Tianpeng, YUN Naizhang, Chen Jianning School of Mechatronics, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing 210016, CHN) Abstract: In this paper, the development of the micro-machining on EDM is introduced firstly, and analyzing the advantages of the micro -machining by the commercial EDM machine. At last, the feasibility of the mi- Keywords: Commodity EDM Machine; Micro- Machining on EDM; Micro Axis 微细加工技术在航空航天、医学、传感器、精密模较为成熟的电火花微细加工专用机床。如松下精机已 具、生物技术、微电子器件制造等方面有着广泛的应能稳定地加工出直径d5μm的微孔和直径d2.5μm 用,电火花微细加工技术( Micro-EDM)由于属于非接的微轴,粗糙度达Rn0.1μm。1996年,日本三菱电 触式加工,工件不受切削力影响,加工精度及表面质量机的真柄卓司等人利用电火花微细加工技术成功地制 可控,因而非常适合微小零件的加工。 作出了齿顶圆直径为d1.2mm的大齿轮、齿顶圆直径 由于电火花微细加工在微轴、微孔及微三维结构为d0.2mm的小齿轮和直径为d0.1mm的心轴构成 制造,尤其是对难加工材料、难加工部位成形方面具有的、最深部加工尺寸270μm的齿轮铸模。 相当大的优势,日益受到世界各国的重视,发展非常迅 国内也进行了不少探索,但是大多数研究还只停 速。 留在实验室阶段,没有真正转入实用。近年来,虽然国 目前,国外的电火花微细加工已进入实用化阶段,内一些科研单位在研制电火花微细加工专用机床方面 瑞士、日本等国的一些电火花加工机床厂商都推出了取得了突破,但与国外相比还有相当差距。 又如,Cr12MoⅤ钢制造的冷冲凸模,因凸模外侧万次,接近日本同类模具的寿命水平。 表面留有很粗的刀痕,在进行淬火时,由于应力集中而 很快产生微裂纹,在反复使用中进一步扩展而导致凸7结语 模折断。 Crl2钢制的冷挤压凸模和冷镦凸模易脆断或劈 预防措施:在零件粗加工的最后一道切削时应尽裂,但因Cr12钢比Crl2MⅤ钢价钱较低一点,所以在 量减小进量,避免留下粗刀痕,防止出现不正常的折断生产量不是很大的情况,使用较多。 失效。 Crl2和Crl2MoV钢热处理及表面强化工艺范围 (3)对于精密模具及性能要求高的模具,可以采宽,应按模具不同性能要求,注意其热处理效果。经优 用真空加热或保护气氛加热。特别是真空热处理,可化热处理工艺,可使模具有高硬度和高强韧性,显著提 确保无表面缺陷,能脱除部分有害杂质,提高硬度,显高模具使用寿命,因而充分发挥该钢材的潜力。 著提高模具的强韧性及使用寿命。如Cr12MoV钢制 (编辑孙德茂)(收稿日期:2006-01-16) 造的录音机机芯冷冲模,常规热处理平均使用寿命10文章编号:6121 万次,采用调质和真空热处理,使模具寿命提高到25如果您想发表对本文的看法请将文章编号填入读者意见调查表中的相应位置。 2006年第11
Techn0IogyandTesf工艺与检测 电火花成形机床微 细加工相关探索 张天鹏 云乃彰 陈建宁 (南京航空航天大学机电学院，江苏 南京 210016) 摘 要 ：首先简要介绍 了电火花微细加工 目前的发展状况 。并概括地分析了商品电火花成形机用于微细加工 所具有的一些特殊优势 。最后通过微轴的加工实例来证实其进行实用微细加工的可行性。 关键词 ：商品 电火花成形机 电火花微细加工 微轴 Discussionon Micro—machining on EDM ZHANG Tianpeng，YUN Naizhang。CHEN Jianning (SchoolofMechatronics，NanjingUniversityofAeronauticsandAstronautics，Nanjing210016，CHN) Abstract：Inthispaper，thedevelopmentofthemicro—machiningon EDM isintroducedfirstly，and analyzingthe advantagesofthemicro—machiningbythecommercialEDM machine．Atlast，thefeasibilityofthemi— cro—machiningisconfirmed by theexamplemachiningofamicro axis． Keywords：Commodity；EDM Machine；Micro—Machiningon EDM ；MicroAxis 微细加工技术在航空航天 、医学 、传感器 、精密模 具 、生物技术 、微 电子器件制造等方 面有着 广泛的应 用 ，电火 花微 细加工 技术 (Micro—EDM)由于属 于非 接 触式加工 ，工件不受切削力影响 ，加工精度及表面质量 可控 ，因而非 常适合 微小 零件 的加工 。 由于电火花微细加工在微轴 、微孑L及微 三维结构 制造，尤其是对难加工材料 、难加工部位成形方面具有 相当大的优势，Et益受到世界各国的重视 ，发展非常迅 速 。 目前，国外的电火花微细加工 已进入实用化阶段 ， 瑞士 、Et本等 国的一些 电火花加工机床厂商都推出了 较为成熟 的电火花微细加工专用机床。如松下精机已 能稳定地加工 出直径 5 m的微孑L和直径 2．5 m 的微轴 ，粗糙度达 R 0．1 m。1996年，Et本三菱电 机的真柄卓司等人利用电火花微细加工技术成功地制 作出了齿顶圆直径为 1．2mm的大齿轮 、齿顶圆直径 为 ,to．2mm的小齿轮和直径为 ,to．1mm 的心轴构成 的、最深部加工尺寸 270 m的齿轮铸模 。 国内也进行了不少探索 ，但是大多数研究还 只停 留在实验室阶段 ，没有真正转入实用。近年来 ，虽然 国 内一些科研单位在研制 电火花微细加工专用机床方面 取得了突破 ，但与国外相比还有相 当差距。 又如，Crl2MoV钢制造 的冷 冲凸模 ，因凸模外侧 表面留有很粗 的刀痕，在进行淬火时 ，由于应力集 中而 很快产生微裂纹 ，在反复使用 中进一步扩展而导致 凸 模折断。 预防措施 ：在零件粗加工的最后一道切削时应尽 量减小进量 ，避免 留下粗刀痕，防止出现不正常的折断 失 效 。 (3)对于精密模具及性 能要求高的模具 ，可 以采 用真空加热或保护气氛加热。特别是真空热处理 ，可 确保无表面缺陷 ，能脱 除部分有害杂质，提高硬度 ，显 著提高模具 的强韧性及使用 寿命。如 Crl2MoV钢制 造的录音机机芯冷冲模 ，常规热处理平均使用寿命 1O 万次 ，采用调质和真空热处理 ，使模具 寿命提高到 25 、电=；；一LUUO 茎平弗l等l删 万次 ，接近 Et本同类模具的寿命水平。 7 结语 Crl2钢制的冷挤压 凸模和冷镦凸模易脆断或劈 裂，但因 Crl2钢 比 Crl2MoV钢价钱较低一点，所以在 生产量不是很大的情况，使用较多。 Crl2和 Crl2MoV钢热处理及表面强化工艺范围 宽，应按模具不同性能要求 ，注意其热处理效果。经优 化热处理工艺 ，可使模具有高硬度和高强韧性 ，显著提 高模具使用寿命 ，因而充分发挥该钢材的潜力。 (编辑 孙 德茂 ) (收稿日期：2006—01—16) 文章编号：61121 如果您想发表对本文的看法。请将文章编号填入读者意见调查表中的相应位置。 维普资讯 http://www.cqvip.com
工艺与爸测rema 1电火花微细加工的特点 微细加工专机必定有其优势,主要表现在以下几方面: (1)机床机械传动机构精度高、运动过程稳定性 电火花微细加工在原理上与通常电火花加工没有好商品电火花加工机床选配的机械传动机构零部件 什么区别,但由于加工对象是一些尺寸小、精度高的工一般多为专业(名牌)厂商批量生产,特别是国外著名 件,使其在加工特征上会呈现出一些与通常电火花加厂商的电火花加工机床产品,其机械传动机构通常都 工不同之处 能保证很高的静、动态精度和优良的稳定性,若使用得 (1)单个脉冲放电能量微小,通常要求单个脉冲当,能够获得很长的精度保持期。 放电能量控制在10-~10-5J之间,甚至更小,放电持 (2)加工状态检测系统完善、伺服机构性能好 续时间一般在1μs左右; 商品电火花加工机床一般都具有非常完善的加工状态 (2)放电面积小,很容易造成放电在空间和时间检测系统和快速灵敏的伺服运动机构。在加工过程 上的集中,使得放电过程不稳定性增大,降低了火花放中,状态检测系统可以准确、及时地检测其加工状态 电的蚀除能力。同时也限制了脉冲频率的提高,造成有些机床甚至已经可以通过当前的加工状态来预先判 脉冲利用率低、加工速度相对更慢; 断下个脉冲到来时可能出现的加工状态,使得伺服机 (3)电极损耗加剧。放电加工过程中,电极和工构能够迅速准确地作出响应,以及时获得正常的加工 件都会产生损耗。在通常电火花加工中,电极损耗相状态,使加工更稳定面有效率 对来说很小,对工件精度的影响不大。但在电火花微 (3)数控系统功能强大目前,许多高档商品机 细加工中,由于电极本身尺寸微小,其损耗就变得相对床都具有三轴以上的联动功能和强大的数控编程系 很显著。轴向的损耗还可以设法补偿,但侧向损耗会统,为进行复杂微三维结构工件的电火花加工提供支 直接破坏电极形状,对工件最终的尺寸精度和表面质持。目前,实验室自制的电火花微细加工专机数控功 量都会产生“巨大”的影响; 能受技术限制,仅能制备一些形状简单的工件,应用范 (4)对机床伺服机构的性能要求极高。由于放电围受到很大约束。而商品机床则凭借其强大的数控功 间隙小,一般只在数微米范围,且放电过程不够稳定,能可以进行多种复杂工件的加工,大大扩展了加工范 因此要求电火花微细加工设备的伺服系统(包括间隙围。 状态监测)和执行机构要有迅疾的响应速度和控制灵 (4)拥有丰富的工艺数据库这是商品机床的 敏度。正常放电时能以微步距跟踪材料蚀除速度,发大特色,特别是国外生产的高档机床,通过无数次的工 生非正常放电时又能迅速回退,消除间隙的异常状态,艺试验,将电压、电流、脉宽、脉间等参数进行优化组 保护电极及工件; 合,整理成为工艺表,按照一定的技术策略保证表中每 (5)电极的制备、安装和定位找正难度增大 组工艺参数都是最优的,所获工艺指标也是理想的 (6)排屑困难,不容易获得稳定的火花放电状态。目前国内的电火花微细加工专机一般还不具备这样全 2利用商品电火花加工机床开展微细加工研面可靠的数据库。 (5)多样的控制策略为了使得加工更加稳定有 究的意义 效,许多商品机床都开发有自己独特的控制策略。譬 虽然国外许多知名厂商都已生产出放电微细加工如瑞士夏米尔公司机床电源具有的SPAC单元,即具 专用机床,但由于这类机床可以对特种材料进行微米有短路脉冲清扫功能,该单元能以特殊手段控制电源 级加工,因而发达国家一般将其列入对我国禁运的产输出,对加工间隙内出现的短路、电弧予以及时清理, 品。鉴于国内目前还没有相对成熟的产品,一定程度从而排除短路,获得稳定的正常加工状态。还有诸如 上制约了我国在精密微细制造方面的技术发展。因放电能量专家功能等。 此,如何有效地利用商品化的通用精密电火花加工机 (6)电源性能稳定虽然商品电火花成形加工机 床开展微细加工研究非常具有现实意义。 床电源所能获取的单个脉冲放电能量可能没有某些微 加工专机那么小,但是其电源性能稳定、放电输出能 3利用商品电火花加工机床进行微细加工研量均一、自适应调节能力强,且可根据实际需要进行多 究的优势 种波形的放电加工,这是专机通常所用的一般RC电 作为一种较为成熟的产品投放市场,商品机床比源不能比拟的。 起一些自制的、尚处于实验室研制试验阶段的电火花 (7)电极夹具精度高商品的机床可直接使用
工艺与检测 Techn0IogyandTest 1 电火花微细加工的特点 电火花微细加工在原理上与通常电火花加工没有 什么区别 ，但 由于加工对象是一些尺寸小 、精度高的工 件 ，使其在加工特征上会呈现出一些 与通常电火花加 工 不 同之处 ： (1)单个脉冲放 电能量微小 ，通常要求单个脉 冲 放电能量控制在 10。。～10 J之间 ，甚至更小 ，放电持 续时间一般在 1 s左右； (2)放电面积小 ，很容易造 成放电在空间和时间 上的集 中，使得放电过程不稳定性增大，降低了火花放 电的蚀除能力。同时也 限制 了脉冲频率 的提高，造成 脉冲利用率低 、加工速度相对更慢 ； (3)电极损 耗加剧。放 电加工过程 中，电极和工 件都会产生损耗。在通 常电火花加工中，电极损耗相 对来说很小 ，对工件精度 的影响不大。但在电火花微 细加工中，由于电极本身尺寸微小 ，其损耗就变得相对 很显著。轴 向的损耗还 可以设法补偿 ，但侧向损耗会 直接破坏 电极形状 ，对工件最终的尺寸精度和表面质 量都会产生“巨大”的影响； (4)对机床伺服机构的性能要求极高。由于放 电 间隙小 ，一般只在数微米 范围，且放 电过程不够稳定 ， 因此要求 电火花微细加工设备 的伺服系统(包括间隙 状态监测)和执行机构要有迅疾的响应速度和控制灵 敏度。正常放 电时能 以微步距跟踪材料蚀 除速度 ，发 生非正常放电时又能迅速回退 ，消除间隙的异常状态 ， 保护电极及工件 ； (5)电极的制备 、安装和定位找正难度增大。 (6)排 屑困难 ，不 容易 获得稳 定 的火花 放 电状 态 。 2 利用商 品电火花加工 机床开展微细 加工研 究的意义 虽然国外许多知名厂商都已生产出放 电微细加工 专用机床 ，但 由于这类机床可 以对特种材料进行微米 级加工，因而发达国家一般将其列入对我 国禁运的产 品。鉴于国内目前还没有相对成熟 的产品，一定程度 上制约了我 国在精密微细制造方 面的技术发展。因 此 ，如何有效地利用商品化的通用精密电火花加工机 床开展微细加工研究非 常具有现实意义。 3 利用 商品 电火花 加工机床进行 微细加工研 究的优势 作为一种较为成熟的产品投放市场 ，商品机床 比 起一些 自制的、尚处于实验室研制试验阶段 的电火花 · 66 · 微细加工专机必定有其优势 ，主要表现在 以下几方面： (1)机床机械传动机构精 度高 、运动过程稳定性 好 商品电火花加工机床选配的机械传动机构零部件 一 般多为专业 (名牌)厂商批量生产，特别是国外著名 厂商的电火花加工机床产品，其机械传动机构通常都 能保证很高的静 、动态精度和优 良的稳定性，若使用得 当，能够获得很长 的精度保持期。 (2)加工状态检测系统完善 、伺服机构性能好 商品电火花加工机床一般都具有非常完善的加工状态 检测系统和快速灵敏 的伺服运动机构 ：在加工过程 中，状态检测系统可 以准确 、及时地检测其加工状态， 有些机床甚至已经可以通过当前的加工状态来预先判 断下个脉冲到来时可能出现的加工状态，使得伺服机 构能够迅速准确地作出响应 ，以及时获得正常的加工 状态，使加工更稳定面有效率。 (3)数控系统功能强 大 目前 ，许 多高档商 品机 床都具有三轴 以上 的联动功能和强大 的数控编程 系 统 ，为进行复杂微三维结构工件 的电火花加工提供支 持 。目前 ，实验室 自制 的电火花微细加工专机数控功 能受技术 限制，仅能制备一些形状简单的工件 ，应用范 围受到很大约束。而商品机床则凭借其强大的数控功 能可以进行多种复杂工件的加工 ，大大扩展了加工范 围 。 (4)拥有丰富的工艺数据库 这是商品机床的一 大特色 ，特别是国外生产的高档机床，通过无数次的工 艺试验 ，将 电压 、电流 、脉宽 、脉 问等参 数进行 优化组 合，整理成为工艺表 ，按照一定的技术策略保证表中每 组工艺参数都是最优 的，所获工艺指标也是理想 的 目前国内的电火花微细加工专机一般还不具备这样全 面可靠的数据库。 (5)多样 的控制策略 为了使得加工更加稳定有 效 ，许多商品机床都开发有 自己独特的控制策略。譬 如瑞士夏米尔公司机床电源具有 的 SPAC单元 ，即具 有短路脉冲清扫功能，该单元能 以特殊手段控制 电源 输出，对加工间隙内出现的短路 、电弧予以及时清理 ， 从而排除短路 ，获得稳定的正常加工状态 。还有诸如 放电能量专家功能等。 (6)电源性能稳定 虽然商品电火花成形加工机 床电源所能获取的单个脉冲放电能量可能没有某些微 细加工专机那么小 ，但是其 电源性能稳定 、放电输出能 量均一 、自适应调节能力强 ，且可根据实际需要进行多 种波形的放电加工 ，这是专机通常所用的一般 RC电 源 不能 比拟 的 。 (7)电极夹 具精度 高 商 品的机床可直接使用 =；；； vU 。l 维普资讯 http://www.cqvip.com
echnology and Test艺与检测 表1加工參数 。/At/μst/us 加工间隙/um工件转速/(rmin) 加工时间 粗加工 精加 0.5 0.8 3R等高精度的电极夹具装夹,使得在装夹、定位等环mm,采用小规准加工,具体参数如表1所示。 节上极大地减小误差,同时也方便操作,减少辅助时 加工结果如图2所示:放大60倍,轴直径d4 m,长约1.5mm,长径比达34,无锥度。 以上特点,使得商品电火花加工机床在利用其进 行微细加工时的稳定性和可重复性都比专机具有更明 显的优势。 微轴加工试验 为了验证商品机床进行微细加工的可行性,进行 了微轴加工试验。 试验采用块状电极切向磨削法进行,如图1所 (b)微轴与中0.25mm的线切割 示。d为欲加工工件轴直径,d为毛坯直径,δ为放电 用丝对比 间隙。先将工件碰边找正,再轴向进给(ds-d)/2 图2微轴加工实例 δ,沿电极块切向边旋转边进给放电;随着加工进展,工 件尺寸逐渐接近最终要求。理论上只要切向进给距离5结语 足够长,加工结束阶段对应的电极表面损耗将非常小, 电火花微细加工作为一种实用的微细加工方法, 甚至可接近无损耗。这样,轴的最终尺寸精度几乎不越来越受到世界各国专家学者的重视。现阶段,将商 会受电极损耗的影响 品电火花加工机床用于微细加工研究,是借鉴国外先 进给方向 进技术乃至创新我国微细制造技术的一条捷径 加工前直径d 加工后直径d 在机床本身能够满足进行微细加工基本条件的前 提下,研究如何通过改进工艺方案、掌握工艺技巧来最 大限度地开发机床的微细加工功能,对于加快我国电 放电间隙8 火花微细加工的实用化进程非常有现实意义。 参考文献 图1块状电极切向磨削法示意 赵万生先进电火花加工技术,北京:国防工业出版社,2003 2王克锡.微细电火花加工的发展现状与展望.WMEM,20001) 由于该方式加工过程中不断有新的电极部位实现3宋小中,刘正坝高长水电火花微细加工技术及其发展,航空精密 补偿,因此加工出的轴尺寸、形状精度比较高,几乎没 有明显锥度。 4赵万生,李文卓,王振龙高精度微细电火花加工系统的研制,电加 不过,由于开始时放电主要集中在A点,如果此 工与模具,2004(1) 时轴向进给过快,而放电能量又偏小的话,会使得蚀除 振龙,赵万生,狄士春等微细电火花加工技术的研究进展.中国 量很少。在工件继续作切向进给的工况下,将不断发 机械工程,2002(10 6 H S Lim, Y.S. Wong, M. Rahman, M. K Edwin Lee. A study on the 生短路,使得加工状态不够稳定。为了消除这一现象 machining of high-aspect ratio micro-structures using micro-EDM 并提高加工效率,把加工分为粗精加工工序即可解决 Journal of Materials Processing Technology40(2003 第一作者:张天鹏,男,1981年生;在读硕士研究 试验工件为直径d0.5mm的不锈钢棒,接正极。 研究方向:特种加工,微细加工 电极为紫铜,接负极。所用机床为 CHARMILLES (编辑吕伯诚) ROBOFORM35。粗加工时,轴向进给为0.174mm,采 (收稿日期:2006-03-10) 用的电规准相对较大;精加工时,轴向进给为0.021文章编号:612 如果您想发表对本文的看法请将文章编号填入读者意见调查表中的相应位置 67
表 1 加工参数 Techn0IogyandTest"mr"艺与检测 U、 4,／A ti／LL td／LL 加工间隙／ 工件转速／(r／min) 【1]：时阳】 粗加工 120 2 100 8o0 26 50 l1min20S 精加 I 2o0 0．5 0．8 6．4 4 30 5rainl2S 3R等高精度的电极夹具装夹 ，使得在装夹 、定位等环 节上极大地减小误 差 ，同时也方便 操作 ，减少辅 助时 间 。 以上特点 ，使得商品电火花加工机床在利用其进 行微细加工时的稳定性和可重复性都比专机具有更明 显 的优 势 。 4 微轴加工试验 为了验证商品机床进行微细加工的可行性 ，进行 了微轴加工试验。 试验采用块状电极切 向磨削法¨j进行 ，如图 1所 示。d为欲加工工件轴直径 ，d为毛坯直径 ，6为放 电 间隙。先将工件碰边找正 ，再轴向进给 (d 一d )／2— 6，沿电极块切向边旋转边进给放 电；随着加工进展 ，工 件尺寸逐渐接近最终要求 。理论上只要切向进给距离 足够长 ，加工结束阶段对应的电极表面损耗将非常小 ， 甚至可接近无损耗。这样 ，轴 的最终尺寸精度几乎不 会受 电极 损耗 的影 响 。 进给方 向 塑 加 j ＼H ＼(＼ l A ／ Flttlt． f壳 后直径 d 电间隙 6 图 1 块状 电极切 向屠 削法示 意 由于该方式加工过程中不断有新的电极部位实现 补偿 ，因此加工出的轴尺寸 、形状精度 比较高，几乎没 有 明显 锥度 。 不过 ，由于开 始时放电主要集 中在 点，如果此 时轴向进给过快 ，而放电能量又偏小的话 ，会使得蚀除 量很少。在工件继续作切向进给 的工况下 ，将不断发 生短路 ，使得加工状态不够稳定 。为了消除这一现象 并提高加工效率 ，把加工分为粗 、精加工工序 即可解决 问题 。 试验工件 为直径 ．5mm 的不锈钢棒 ，接正极。 电极 为 紫 铜 ，接 负 极。所 用 机 床 为 CHARMILLES ROBOFORM35。粗加工时 ，轴向进给为 0．174mm，采 用的电规准 相对较 大；精 加工 时，轴 向进给 为 0．021 、=；ZUUO 耳弗I簪I删 mm，采用小规准加工 ，具体参数如表 1所示。 加工结 果如 图 2所示 ：放 大 60倍 ，轴直 径 m，长约 1．5mill，长径 比达 34，无锥度。 ．-．·■●-·-·I 一■ n (a)微轴 (b)微轴 与 0．25mm 的线 切害j 用丝对 比 图 2 微 轴加工实例 5 结语 电火花微细加工作为一种实用 的微细加工方法， 越来越受到世界各国专家学者的重视。现 阶段 ，将商 品电火花加工机床用于微细加工研究 ，是借鉴国外先 进技术乃至创新我国微细制造技术的一 条捷径。 在机床本身能够满足进行微细加工基本条件的前 提下 ，研究如何通过改进工艺方案 、掌握工艺技巧来最 大限度地开发机床的微细加工功能 ，对 于加快我 国电 火花微细加工的实用化进程非常有现实意义。 参 考 文 献 I 赵万生．先进电火花加工技术．北京 ：国防工业出版社，2003． 2 王克锡．微细电火花加工 的发展现状与展望．WMEM，2000(I) 3 宋小 中，刘正埙 ，高长水 ．电火 花微细加工 技术及其发展 ．航空精 密 制造技术 ，1996(2) 4 赵万生 ，李文卓 ，王振龙．高精度微细 电火花加工系统 的研制 ，电加 工与模具 ，2004(1) 5 王振龙 ，赵万生 ，狄士春等．微细 电火花加 工技术 的研 究进 展．中国 机械工程 ，2002(10) 6 H．S．Lim ，Y．S．Wong，M．Rahman，M．K．EdwinLee．A studyon the machiningofhigh—aspectratio micro— structuresusing micro—EDM JournalofMaterialsProcessingTechnology140(2003) 第一作 者：张天鹏，男，1981年生 ；在读硕 士研 究 生 ，研 究方向 ：特种加工 ，微细加工。 (编 辑 吕伯诚 ) (收稿 日期 ：2006—03一10) 文章编号：6l122 如果您想发表对本文的看法，请将文章编号填入读者意见调查表中的相应位置 · 67 · 维普资讯 http://www.cqvip.com