LTCC材料在T/R组件中的 应用与发展趋势 电子科技大学 徐自强 2010.5.17
LTCC材料在T/R组件中的 应用与发展趋势 LTCC材料在T/R组件中的 应用与发展趋势 电子科技大学 徐自强 2010.5.17
、传统材料技术 武器装备小型化和智能化方向发展 一机载通信导航设备、电子战系统、制导武器导 引头等 一相控阵雷达、卫星载荷等 T/R组件都是其中的关键部件 小型化、高密度、高可靠性方向发展
一、传统材料技术 一、传统材料技术 • 武器装备小型化和智能化方向发展 – 机载通信导航设备、电子战系统、制导武器导 引头等 – 相控阵雷达、卫星载荷等 T/R组件都是其中的关键部件 小型化、高密度、高可靠性方向发展
。印刷电路板工艺 一印刷或刻板形成电路 - Roges5880 - 成本低、工艺稳定、一致性好 精度、密度
• 印刷电路板工艺 – 印刷或刻板形成电路 – Roges5880 – 成本低、工艺稳定、一致性好 – 精度、密度
薄膜工艺 -真空下蒸发沉积(PVD、CVD、MBE) 溅射(靶材、反应气体,如TaN、AlN) 导体材料:Ag、Au、Cu、AI、Pd/Ag等 电阻材料:镍铬、钽、TaN、碳膜等 - 电容材料:SiO、SiO2、Si3N4、ZrO2等 一电感材料:真空蒸发沉积螺旋电感 基板材料:氧化铝、单晶基片 精度高、热导性好、化学稳定性 - 成本高
• 薄膜工艺 – 真空下蒸发沉积(PVD、CVD、MBE) 溅射(靶材、反应气体,如TaN、AlN) – 导体材料:Ag、Au、Cu、Al、Pd/Ag等 – 电阻材料:镍铬、钽、TaN、碳膜等 – 电容材料:SiO、SiO2、Si3N4、ZrO2等 – 电感材料:真空蒸发沉积螺旋电感 – 基板材料:氧化铝、单晶基片 – 精度高、热导性好、化学稳定性 – 成本高
厚膜工艺 一膜厚、丝网印刷(聚酯、尼龙、不锈钢) 干燥、烧成 导体材料:Ag、Au、Cu、PdAg、PdAu等 电阻材料:有机溶剂调和金属和玻璃粉体而成 一介质材料:低介、高介材料 电感材料: 空芯、铁氧体芯 基板材料: 氧化铝、氧化铍、氮化铝等 工艺成熟、 成本较低、成品率高
• 厚膜工艺 – 膜厚、丝网印刷(聚酯、尼龙、不锈钢) – 干燥、烧成 – 导体材料:Ag、Au、Cu、Pd/Ag 、Pd/Au等 – 电阻材料:有机溶剂调和金属和玻璃粉体而成 – 介质材料:低介、高介材料 – 电感材料:空芯、铁氧体芯 – 基板材料:氧化铝、氧化铍、氮化铝等 – 工艺成熟、成本较低、成品率高