材料组织结构的表征 —光学显微镜 Lamg Numerical Aperture NA=n.sin() (a)a=7°NA=0.12 (b)C=20°NA=0.34 (c)a=60°NA=0.87 Light Cone (a) (c)
材料组织结构的表征 —光学显微镜
Rayleigh Limit 景深 0.612 (0.15~0.30)n 理论 ·分辨率 横向△ro= 纵向D ,二 nsina nsinaM 。 衬度 I(s)-1(b) Contrast ≥0.02 I(b 明场 Microscope 暗场 OM 仪器 相位衬度 偏振光 "2eg 200m 微分干涉 激光共聚焦 制备 金相试样 好样品是成功的一半
• 理论 • 分辨率 • 衬 度 • 仪器 • 制备 • 明场 • 暗场 • 相位衬度 • 偏振光 • 微分干涉 • 激光共聚焦 • 金相试样 好样品是成功的一半 0.02 ( ) ( ) ( ) I b I s I b Contrast 横向Δ𝑟0 = 0.612𝜆 𝑛𝑠𝑖𝑛𝛼 纵向𝐷𝑓 = ሺ0.15~0.30)𝑛 𝑛𝑠𝑖𝑛𝛼𝑀 Rayleigh Limit 景深 OM
透镜成像理论 透镜清晰成像的关键 ·分辨率 ·衬度 透镜成像 透镜的分辨率极限 (区分两个相邻点的能力) 人裸眼的能力 0.612 ~0.2mm@ 25 槽 Ro △ro- cm M nsina Eyepiece 强度、频率/波长/ nsinat.数值孔径 颜色 (numerical aperture,NA) X 相位、偏振性 昝 2、 (0.15~0.30)n (N.A.)M (um) 光学显微镜:拓展人 眼可视范围 景深(Depth of field) Resolution of naked eye 可分辨的衬度极限 Effective magnification= I(s)-I(b) √增大△I Resolution of microscope Contrast= ≥0.02 ≈1333× I(b √降低背景
透镜成像理论 • 分辨率 • 衬 度 透镜成像 透镜清晰成像的关键 25 cm 人裸眼的能力 ~0.2 mm @ 25 cm 强度、频率/波长/ 颜色 X 相位、偏振性 光学显微镜:拓展人 眼可视范围 透镜的分辨率极限 nsin: 数值孔径 (numerical aperture, NA) (区分两个相邻点的能力) 横 向 纵 向 景深(Depth of field) 0.02 ( ) ( ) ( ) I b I s I b Contrast 可分辨的衬度极限 增大ΔI 降低 I背景
透镜成像理论 → ·分辨率 透镜清晰成像的关键 ·衬度 透镜成像系统 光路中的共轭面 Image formation in a reflected light microscope 临界照明 科勒照明 Similar to transmission source optical microscope. ④Retina ④Retina ④Iris diaphragm ot eye Different arrangement of components Condense Eyepiece Eyepiece aperture an ③Intermedi ③Intermediate Field atop of image Half-silvered =③Back focal Oojective len8 plane of B ②Object pia Stage ②Object plane Stage oblective Q Condenser lens Object Final ②Front focal plane of F月st condenser Image Objective aperture and lens ①Field stop diaphragm 物镜 Lamp ①Lamp filament 物镜是核心部件 两套共轭像平面合二为一 分离了两套共轭像平面 光源的像平面 光源的像平面 样品的像平面 样品的像平面
透镜成像理论 • 分辨率 • 衬 度 透镜成像系统 透镜清晰成像的关键 物镜 物镜是核心部件 分离了两套共轭像平面 光源的像平面 样品的像平面 临界照明 科勒照明 光路中的共轭面 两套共轭像平面合二为一 光源的像平面 样品的像平面
透镜成像理论→ ·分辨率 透镜清晰成像的关键 ·衬度 >透镜成像系统 光路中的光阑 博弈 光学缺陷:像差(aberration) 孔径光阑 孔径光阑 (有效NA) 分辨率 Axial Chromatic Aberration 艾利斑尺寸 影响分辨率 衬度 在轴像差 色差 球差 和衬度 孔径光阑 “专业性调节” 离轴像差 慧差 象散 视域光阑 畸变 场曲 畸变 视域光阑 分辨率 影响衬度 视域大小 不影响分辨率 衬度
透镜成像理论 • 分辨率 • 衬 度 透镜成像系统 透镜清晰成像的关键 光学缺陷:像差(aberration) 在轴像差 离轴像差 畸变 色差 球差 慧差 象散 场曲 畸变 光路中的光阑 孔径光阑 (有效NA) 视域光阑 艾利斑尺寸 影响分辨率 和衬度 影响衬度, 不影响分辨率 孔径光阑 分辨率 衬度 博弈 孔径光阑 “专业性调节” 视域光阑 分辨率 视域大小 衬度
光学显微附件 → 衬度模式 明场(BF)成像光路特点 暗场(DF)成像光路特点 图像对比 试样 BF 试样 曲面反射镜 物镜 物镜 Tube Lens. Microscope y 暗场环形 平面玻璃 pol 反射镜 Assemb surfac 环形光阑 concave grain b 空心光束,通过曲面反射镜,形成大入射角 入射光以接近垂直于样品表面方向入射 倾斜式照射样品表面
光学显微附件 明场(BF)成像光路特点 衬度模式 暗场(DF)成像光路特点 图像对比 入射光以接近垂直于样品表面方向入射 空心光束,通过曲面反射镜,形成大入射角 倾斜式照射样品表面
光学显微附件 → 衬度模式 D波 S波 >相位衬度显微术 关键: 1.S波与D波分离 Incident beam,入 2.使$波移相(超前或滞后π2) D 3.降低S波振幅 Apertures. Condenser Objective Diffracted Light(Redy amp P 4dk< Collecto 拉大S波与 Lens Condenser Specimen Phase Surround Annulus Light Image P波的振幅 (Yellow) Plane 相对差距 Figure 4 如何将相位差转变为亮度差? S Wave S+D=P wave PWave 共轭面 (b) D Wave 两相的表面高度差在10-150nm Vectors S Wave 情况下“相衬法"辨别两相组织较 P Wave D Wave 适宜
光学显微附件 相位衬度显微术 衬度模式 B A d S P S P D Incident beam, d<< D波 S波 共轭面 关键: 1. S波与D波分离 2. 使S波移相(超前或滞后/2) 3. 降低S波振幅 拉大S波与 P波的振幅 相对差距 S Wave P Wave D Wave S+D=P 两相的表面高度差在10-150 nm 情况下“相衬法”辨别两相组织较 适宜
光学显微附件 → 衬度模式 偏振光显微镜 微分干涉(DIC)显微镜 Differential Interference Contrast Schematic Light to Evepieces Polarized Light Analyzer Microscopy 98icoe Liane Ray 位向差 偏光 相位梯度 衬度差 干涉 衬度差 Light from Sourc √各向异性材料表面: Specimen Optical Path Difference and DIC Amplitude Profile Shear Axis 位向不同,反射率不同,形成衬度 mplitude doPD OPD(nm) √各向同性材料表面 高低不同,入射角不同,形成衬度 -Shear Axis- -Shear Axis. Figure7周 Phas Flgure
光学显微附件 衬度模式 偏振光显微镜 位向差 衬度差 各向异性材料表面: 位向不同,反射率不同,形成衬度 各向同性材料表面: 高低不同,入射角不同,形成衬度 微分干涉(DIC)显微镜 偏光 + 干涉 相位梯度 衬度差
光学显微附件 共聚焦扫描成像 共聚焦成像原理 深度方向上成像 核心原理:利用空间针孔 (spatial pinhole),过滤掉非焦平 面光线,逐点扫描,合成图像 光切片 optical slicing 非焦平 面杂 △rlateral 光 (0.37~0.51)1 横向分辨率 = NA PH~3.0 AU PH-1 AU PH~0,25 AU 像扩散斑 △raxial (1.28~1.77)nλ 纵向分辨率= (NA)2 光源扩散斑 PSF>>PSF PSF>PSF PSFa>=PSF
光学显微附件 共聚焦扫描成像 共聚焦成像原理 非焦平 面杂散 光 光源扩散斑 像扩散斑 深度方向上成像 光切片 optical slicing ∆𝑟𝑙𝑎𝑡𝑒𝑟𝑎𝑙 = ሺ0.37~0.51)𝜆 𝑁𝐴 ∆𝑟𝑎𝑥𝑖𝑎𝑙 = ሺ1.28~1.77)𝑛𝜆 ሺ𝑁𝐴) 2 横向分辨率 纵向分辨率 核 心 原 理 : 利 用 空 间 针 孔 (spatial pinhole),过滤掉非焦平 面光线,逐点扫描,合成图像