《光机电一体化丛书》编辑委员会 主任林宋 副主任王生泽王石刚程愿应 委员(排名不分先后) 胥信平絷放林宋王生泽王石刚程愿应 胡于进张卫国莫锦秋何勇董方祥刘继英 罗学科朱宏军崔桂芝般际英方建军田建君 马全明王延璋赵坤周洪江刘杰生徐胜林 韩少军程铭
衣 光机电一体化是燕光技术、徵电子技术、计算视技术、信息技术与机械技米的相互交叉 与融合,是诸多商新技术产业和商新技术装备的基础。它包括产品和技术两方面:光机电 体化产品是集光学、机械、微电子、自动控制和通讯技术于一体的高科技产品,具有很高的 功能和附加值;光机电一体化技术是指其技术原理和使光机电一体化产品得以实现、使用花 发展的技术。 目前,国际上产业结构的调整使得各个行业不断融合和协调发展。作为光学、机械与电 子相结合的复合产业,光机电一体化以其特有的技术带动性、照合性和苦适性,受到了国为 外科技养、企业界和政府部门的特利类注,它将在横升传统产业的过程中,带来高度的创新 性、渗透性和增值性,威为未来制造业的支柱,被举为21世纪最具魅力的朝阳产业。我国 已经将发展光机电一体化技术列为重点高新科技发展项目,北京市政府也于2001年7月23 日批准正式成立了北京市光机电一体化产业基地,预计到2010年,京市光机电一体化产 业总产值将达到336亿元, 随着光机电一体化技术的不断发展,各个行业的技术人员对其兴趣和求也与日俱增 但到目前为止,国内还鲜有将光机电一体化技术作为一个整体技术门类米介绍和论述的书 箱,这与共方兴未艾的发展势头形成了巨大反差。有鉴于此,由方工业大学、东华大学 华中科拉大学和上海交通大学联合编写光机电一体化丛书,白在适时推出一套光机电一体化 技术基本知识和应用实例的科技丛书,满足科研设计单位、企业及高等院校的科研和教学的 簧求,为有关技术人员在开发光机电一体化产品时,提供从产品造型、功能、结构、材料 传感测登到控制等诸方面有价值的参考素材。 本丛书共十本,包括《光机电一体化实用技术)、《玩代数控机床》、《光机电一体化系统 设计》、《智能机器人》、《光机电一体化技术产品实例》、《楼字设备自动化技术》、《关节型机 器人》、《微机电系统设计与制造》、《漱光在加工和检测中的应用》、《光电传感器及其应用》 自2003年8月起陆续出版发行。 丛书的基本特点,一是内容新颖,力求及时地反映光机电一体化技术在国内外的最新进 晨和作者的有关研究成果;二是系统全面,丛书分门别英地归纳总结了光机电一体化技术的 基本理论和在同民经济各个领城的应用实例,重点介绍了光机电一体化技术的工理应用方法 和实现方法,许多内容,知楼宇自动门的专门论述,尚属国内首次三是深入浅出,每本书 重点突出,注重理论联系实际。既有一定的理论深度,又偏重实月性,力求满足不同层次读 者的需求,适合工程技术人员阿读和高校机械类专业教学的需要。 由于本丛书涉及内容广泛,相关技术发展迅速,加之作者水平有限,时间紧促,书中错 误和不妥在所难免,恳请专家、学者和读者不吝指教为盼! 《光机电一体化丛书》编辑委员会 2003年5月于北京
必 言 光机电一体化是集精密机械、光学、电子,直动控制和计算机技术于一体的现代机横系 统,是知洪经济时代机械工业的发展方向。光机电一体化技术正在全世界范围内引起一场新 的技术革奇。如果说20世纪是微电子的世纪,21世纪则是光电子的世纪。美国商务部也指 出,滩在光电子行业取得主动权,谁就将在21世纪的尖墙科技中李魅。光机电一体化正是 在机电一怀化技术的基础上引入光电子而形成的商新技术。目前,光机电一体化技术正方兴 未艾,各国都十分重视光机电一体化技术及其产品的研发,我图也十分重视光机电一体化技 术约发展,不少地方成立了光机电一体化高科技园区。高等院校也相继设立了机电一体化或 光机电一体化专业,焙养社会急需的光、机、电结合的复合型技术人才。原有的机械行业从 业人员也追切希望学习光机电一体化知识,跟上时代的步伐。 为了清足大家学习光机电一体化技术的署要,化学工业出版社约请我们出版一套《光机 电一体化丛书》。本书是这套丛节中的一本。作者根据多年的教学和科研实践,在原来讲义 基础上经过改编和增加新的内容,编写这本光机电一体化系统设计。本书在系统方法论的指 导下,围绕光、机、电有机融合的主线,全面地、系统地国球了光机电一体化奚统各组成部 件的选型和设计。在此基础上,通过阁服系统设计实例来讨论光松电一体化系统的设计原理 和方法。 本书的第1章、第3章、第6章由方建军编写,第2章和第4章由郑有春编写,第5章 和第?章由田建君编写。全书由方建军统精。罗学科教授在百忙中审阅全部文獭,并提出修 改意见。在本书的骗写过程中,景作军、李凯老师,刘仕良、李览博、石杨、郑勇、徐海 汪正煜、阴丽、张韬等同学给子了大力支持和协助,在此表示深深的谢意, 由于作者水平有限,且时问仓促,书中难免有错误和不妥之处,敬请读者批评指正。 编者著 2003年6月
内容提要 纪密无机电一体化影集光、机电一休的现代机格系统。它由代客、恶流、投畅和热行四 电有机结 角废出发 、系统地还了先机电 方 光 本化系 件的原理和透科 、执行元件的原理和动 花制的适 光机电 术、系抗设计以及光机电一体化实例 全书的最大特点在介绍具体作的原理性知 的同时,通过讲解同间服系统的完整设计过程。帮助读者了解如何设计光机电一体化统或 产品, 本书箭构清新、文笔流畅,图文并淡、内容深人视出、注重实用.它不仅证合十用作高 等院校光机电一体化等相关专业本科生的教材,对于从事光机电一体化设计、制銮、舒究和 管理的工翌技术人员也有很好的参考价值
目 录 第1章光机电一体化系统的组成与应用.1 1.1光机电一化的概念. 1.2光抗电一任化系统的组成与实例 1.2.1光机电一体化的组成 1.2.2光机电一体化的实例 .2 1.3光机电一体化的特点.5 14 光机电一体化的相关技术 .5光机电一体化的发展趋势. 6 第2章 传感器与信号处理. 8 2.1传感器与校测系统的构成.+. 8 2.2位移传感暴 2.2.1电位器. 9 2.2.2感应同步器.小44.4.,.,.+ 2.2.3 光栅 11 么.么.光电编码器. .1 2.2.5 超声波传感器 13 2.2.6电流传感器. 14 2.2.7光纤传感器. 16 2.3速度传感器. 2.3.1测速发由机. 2.32 光纤多普勒速度计, .20 2.3.3霍尔式转遂传感器 2.3.4 电容式转速传感器 .2 2.3.5光电式转速传器.+. 22 2.3.6 电涡流式转速传感器 2.3.7空间滤波器. 2.4加速度传感器. .23 2.4.1压电式加速度传感器 2.4.2倾斜镜式光纤加速计 25力和力矩传感器 24 2.5.】硅压阻式压力传感器 2.52力矩传感容. . 24 .6视觉传感器. 2.6.1CCD工作原理. .25 2.6.2人工视觉系统
2.7色彩传感器. 27 2.7.1色彩传感器的工作原理 2.7.2双结型色彩传感春的测色电塔 28 2.8光电传感器. 29 2.8.1 光敏电阻 2.8.2光电二减管和光电三极管.+. 30 2.8.3红外传感器 31 2.9其他传感器. .32 2.9.1温疮传观器++.4+ 32 2.9.2气敏传感程. 2.10信号处理. 2.10.】开关量接口电路 2.10.2模拟信哥的输入 第3章执行装置及其驱动 3.】步进电动机及其驱动.4】 3.1.1步进电动机工作原理与分类 4 31.2步进电动机的性能指标. A3 3.1.3步进电动机驱动电源. 44 3.1.4步进电动机选型 48 3.1.5直线式步进电动机. 49 3.2直流服电动机及其驱动 50 3.2.】直流恫服电动视的分类. 50 3.22直流偏服电动机的机械特性和调节特性· 51 3.2.3堂流伺版电动机PWM控制原理. 52 3.2.4直流间服电动机豌动用集成电路. 53 3.2.5直流间廒电动观选型 55 3.3交流筒服电动机. 58 3.3.1交流间康电动机的发展 3.3.2交清间服中动机调谏方法,.,.,.58 3.3.3SPWM变调速 .60 3.31交流何服电动机的失量控制.64 3.3.5交流每服电动机的洗型. 66 3.4液压执行装置. 3.4.1液压执行机构. 67 3.4.2液压执行机构的驱动 10 70 3.5.1气动执行机构 3.5.2气动执行机构的驱动.*.*.+*71 3.6】压电执行装置
3.6.2物变形执行装置+.++.44.4.+.44.44*.+:73 3.6.3形状记亿合金扶行装置.73 3.7机械传动机构. 3.7.1谐波齿轮传动. 3.72同步传动 37.3演珠纯杯传动, 第4章工业控制计算机 78 4.1工业控制打算机的总线结构 .78 4.11泛线持术,+ 78 4.12工业标准总线 79 4,2工2PC机., 83 4.2.1 工业PC机的特点. 83 4.2.2工业控制机及外图接口产品. 83 4.2.3战入式工业PC一PC/104 81 4,3单片机. 87 4.3.1MCS51单片机组成控制系统 88 4.3.2单片花,控制系统信息输入通道设计. 89 4.3.3单片机控制系统功率驱动接口设计. 92 4.34单片机控制系统人机面设计. 4.3.5单片机应用系统设计. 4.3.6单片机应用系统实例. . 97 4.4可编程语辑控制器. 4.4.1P1.C的结构 . 102 4.4.2P1C的工作原理. 104 4.4.3P1C控制系统的设计方法和步. 105 4.5PLC应用实例. 107 4.6工业控制计管机的选型 .110 第5章光机电一体化系统的软件技术· 5.】光机电一体化系统的软件工程方法.。 .112 5.1.1软件工程方法 . 5.1.2 工控软件设计., 115 5.1.3组态软件. . 117 5.1.4铁入式操作系统. 118 52软件抗于扰技术. 21 5.2.1软件抗千扰 12 5.2.2数字滤波. 121 5.2.3编程举例 122 5.3数字PID算法. 125 5.3.1常规数字P1D算法 126 5.3.2数字PD的改进算法 129
5.3.3数字PD参数整定 135 5.1模糊控制技术. 138 5.4.1 引言 138 5,4.2模糊控制系统的组成及基本系理. 138 5.4.3模期化 139 5.4.1非模糊化. 141 5.4.行模糊控制规则. 142 5.5人工神经网络 142 5.5.1生物神经元的著本结格 .142 5.5.2 人工神经元的来本结村 143 5.5.3人工神经网络摸别., .144 5.5.4人工神经网络的学习 144 5.5.5误姜反向传播络及其学习.*.4. 145 5.5.6人工神经网络的特点和局限性 47 5.5.7 人工神经网络应用举例 147 第6章伺服系统设计. 151 61 伺原系统及其构成 51 6,2伺服系统的设计步骤和技术要求 151 6.2.1 何服系统的设计步 151 6.2.2间极系统的主要技术要求 152 6.3开环侗服系统设计 15 6.3.1开环伺服系统的稳态设计 183 6.3,2开环伺服系统的控制系统设计. .157 6.4闭环何服系统设计. 6.4.1闭环何服系统的构成.。 .158 6.4,2闭环服系统的稳态设计 158 6.4,3连娃间服系统的动水设 162 6.4.4连续伺服系统的动态设计实例 168 6.5数字侗服系统的设计.4 176 6.5.1数字伺服系统的结构形式 176 6.5,2数字何服系统的设计方法 177 6.6数字饲限系统设计实例. .187 第7章光机电一体化系统产品应用举例 19 7.1CT扫描机. 190 7.1.】简众 190 7.1.2Ct成像原理 190 7.1.3CT扫描机的构成 191 7.2 可视对讲门铃. 194 7.2.1可视对讲门铃功能 194 72.2可祝对讲门铃的组成
7.2.3可视对讲门铃的工作原理,.÷.+.+.+4.*.+:195 7.2.4控制电路的实现.197 7.2.5应用. 7.3全自动洗衣机 7.3.1 一般的全自动洗衣机简介 7.3.2模糊控制的全吉动洗衣机 199 7.4活塞外轮廓测量仪 202 7.4.1系统组成.44 203 71.2系结厦理 204 7.4.3系统软件设计 205 7.5智能比色温计. 207 7.5.1智能比色测温的织成 207 7.5.2智能比色测温计的原理 207 7.5.3 智能比色测温计的测温探头 208 75.招能比色测温计程序设计. 209 7.5.5其他产品衡介. 210 附录 213 张录】无源液正网络 213 昨录2有源校正网络. 215 附录3XF和XB系列被转变压器技术数据 444,218 CY系列直流永磁式测速发电机 218 班录5ZC℉系列直流测速发审机技术数焊 218 附录6反应式步进电动机技术性能数据 219 附录7BC系列磁阻式步进电动机效掘 219 附录886BYG步进电动机数据 20 附录9]10BYG步进电动机数指. 220 附录10571BY步讲中动机数. 220 附录11 稀土永磁材料的直流力矩电动视 221 附录12SZ系列直流电动机技木数据. 221 附录13LY系列直流力矩电动机技术数据. 223 雅录14交流间步间蛋电动机 224 附录15交流同步电动机 224 参考文献. 225
第1章光机电一体化系统的组成与应用 1.1光机电一体化的概念 20世纪?0年代,微电子技术引起了新技术领域的深刻变革,机电一体化技术应运而 生。20世纪90年代,光机电一体化技术正引起一场新的革命。美、日等发达国家积极抢滩 光机电一体化技术,企图在这个新的高技术领 域独占整头。有人指出,20世纪是微电子的世 纪,21世纪则是光电子的世纪。美国商务部也 机饭技不 指出,谁在光电子行业取得主动权,谁就将在 21世纪的尖端科技中夺躯。 光学机械 什么是光机电一休化?到目前为止,没有 人能够给出它的精确定义。光机电-一体化概念 的萌芽,可以追湖到德国提出的精密工程技术 光学枝术 早在1981年,在德国工程师协会、德国电气工 电与电子技术 程技术人员协会及其共同组成的精密工程技术 专家组提出的《关于大学精密工程技术专业的 建议书》中,提出将梢密工程技术定义为光 机、电一体化的综合技术,并用图1-1来说明 图-1精密工程技术的定义 其定义。它包括机械(含液压、气动及微机械)、电工与电子、光学及其不同技术的组合 《电工与电子机械、光电子技术与光学机械),其核心为精密工程技术。 精密工程技术的定义从某种程度上说明了光机电一体化的涵义。一般认为,光机电一体 化是由光学、机械学、微电子学、信息处理与控制和软件等各种相关技术交叉融合而构成的 群体技术。各种新技术的相互渗透和有机融合是光机电一体化技术的灵魂。 光机电一体化是在机电一体化的基础上引入光学技术而形成的一门新技术。光学技术不 是简单地加盟机电一体化技术,而是渗透在机电一体化的各个组成部分。在传感器方面,光 学传感器得到广泛的应用。利用滋光的单色性强而制作的激光测距仪,提高了测量的精度和 量程。例如,航空中心利用原有的测距传感器测量卫星的高度误差为7~10m,而用激光测 距仪测量的误差仅为1~2cm。光学蚀刻技术是大规模集戒电路的制造手段。随着光子技术 的发展,人们正在研究光子计算机。科用光子技术制作超大规模的集成电路,提高芯片的运 行速度和抗干扰能力。在做光机电系统中,利用LGA技术可以在硅片上进行3维体加工, 制造微驱动器,如微型电动机。利用微光机电技术,可以制作微型传感器,如微压力传感 器、微光学开关等. 1.2光机电一体化系统的组成与实例 1.2.1光机电一体化的组成 图12为光机电一体化的组成。它大体包括4个部分,本体结构、计算机控制器、驱动