中华人民共和国国家标准 无损检测术语泄漏检测 GB/T12604.7-1995 Terminolog for nodestructive tting -Leak testing 1主豚内客与适用范用 使用 2沧调检测的一般鞭之 2.1淮漏检测eak tetin 22奖圆对定位成定量份方法成三青装名的方生。 在特定地点和时间的大气的压力 23大气压大压 0C时，在标准重力加速度下，790mm离汞柱所产生的压力，相当于101325. 同义词：表压 26压九的压为与孔出口的压力之 同文词，压强差 27生压气体生藏是有气体行在时产生压力。当不存在第二稀气体时分压力与压 为相同（见表1D 司义词：分压 国家技术盘督局1995-12-20批准 1996-08-07实麓 397
中华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 无损检测术语 泄漏检测 Terminology for nondestructive testing -Leak testing GB/T 12604.7一 1995 1 主面内容与适用范围 本标准规定了在泄漏检测的一般概念，泄漏检测设备、器件和材料，泄漏检测方法中使用的术语。 本标准适用于泄漏检测。供制定标准和指导性技术文件及编写和翻译教材、图书、刊物等出版物时 使用。 2 泄派检测的一般概念 2.5 2.6 2.7 泄漏检测 leak testing 检测泄漏或对泄漏定位或定量的方法，或三者兼备的方法。 大气压力 atmospheric pressure 在特定地点和时间的大气的压力。 同义词:大气压强 大气压(标准) atmosphere (standard) 0℃时，在标准重力加速度下，760mm高汞柱所产生的压力，相当于 101 325Pa, 绝对压力 absolute pressure 与真空空间相对应的绝对零值以上的压力，即地区大气压力加上表压力。 同义词:绝对压强 表压力 gage pressure 绝对压力与大气压力之差。 同义词:表压 压力差 pressure difference 漏孔入口侧的压力与漏孔出口侧的压力之差. 同义词:压强差 分压力 partial pressure 由一种气体本身产生或是有其他气体存在时产生的压力。当不存在第二种气体时，分压力与总压 力相同(见表1), 同义词:分压 2.1 2. 2.3 2.4 国家技术监怪局 1995一12一20批准 1996一08一01实施
GB/T12604.7-1995 表1大气成分与分压力 装分 体积，% 分压力，却： 在海平（大气玉力为]01kP B计火代压”0 在海拔3700m(大气丘力为6kP】 1 乙二终内的国设子或尚气代有时志压为核有收大并者标鸡有十有 1a的等于1×10atm,攻更确切地说1P3-0.98692X10-atm, 213 正力单位，等于lm高泵花产生的压小， 力处位，等于标准藏力速度下1mm高汞柱产生的压力：有时称为托(Tm) 冲击气体的压力 问义问：背压bck presue:抽气E力ehausprure:挂气压力isrr:出口压力 215数汽压力 当周体或减体与其蒸光平衡时，该然汽新产生的压力。 216 217理 种遵衍被义耳定律(Boe'3aw)并斗有自由影张无热：应〔或者也避衍查理定律(Charle。 2.18非冷气体n 29分樱工约气体这种气体华家不能化
GB/T 12604. 7一 1995 表 1 大气成分与分压力 成分 体积，% 分压力 ，kPa (0.21只101=)21 (0.78X 101=)79 (0.OIX 101= )1 总计大气压力， 101 21 78 1 在海平面(大气压力为101kPa) 氧气 氮气 其他气体 在海拔 3 700-(大气压力为64kPa); 氧气 氮气 其他气体 (0.21X64= )13 (0.78X 64= ) 50 (0.01X64= )1 总计大气压力， 64 舒 78 1 2.8 等效氮压力 equivalent nitrogen pressure 如果装置内的气体用相同分子密度的氮气代替时，由压力计或其他仪表所指示出的计算压力。 同义词:等效氮压 2.9 牛仁顿〕 newton(N) 国际单位制中力的单位(kg' m/s ') o 2.10 帕[斯卡」[帕〕 Pascal (Pa) 1Pa约等于 1 X 10-' atm，或更确切地说，1Pa=0.986 92X10-atm, 2.11 微米(pm) micrometre;micron 长度单位，等于 lm的百万分之一。 2.12微米汞柱 micron of mercury 压力单位，等于 lym高汞柱产生的压力。 2.13毫米汞柱 millimetre of mercury 压力单位，等于标准重力加速度下 1 mm高汞柱产生的压力，有时称为托(Tort). 2.14 前级压力 fore pressure 在靠近泵出口处测出的泵出口侧的总压力。在讨论喷汽的作用时，术语前级压力可用来表示喷汽 冲击气体的总压力。 同义词:背压 back pressure;抽气压力exhaust pressure;排气压力 discharge pressure;出口压力 outlet pressure, 2.15 蒸汽压力 vapor pressure 当固体或液体与其蒸汽平衡时，该蒸汽所产生的压力。 2.16 气体 gas 物质的一种形态，在此形态下，分子实际上不受分子间力的约束，因而分子能自由地占据密闭体 内的整个空间。在真空技术中，气体这个词在不严格的情况下，也已应用于真空系统中的不凝结 气体和蒸汽。 2.17 理想气体 ideal gas 一种遵循波义耳定律(Boyle ' s law)并具有自由膨胀无热效应〔或者也遵循查理定律(Charle' s law)〕的气体。 同义词:完美气体perfect gas 2.18 非冷凝气体 noncondensable gas 一种温度高于其临界温度的气体，这种气体单靠增压不能液化。 2.19 分子流 molecular flow
GB/T12604.7-1995 在气体分子平均自由程大于罪道横藏面最大尺寸的条作下，酒过通道的气流 2,20粘带流1c0usaw 在气体分子平均自由程运小于通道横截面最小尺寸的条件下，通过通道的气流，这种填可能是层 流，也可健是韵道。 2.21治萧流Poiseuille flow 层状粘布流通过固彩截面长管时的特株情况， 2.22过覆流transitio61ow 介于层状粘滑灌与分子流之间的气瓶。 同义词：克努森礼Knudsen flo= 2.23流速1 ow rate 。.气体通过系统给定截面的速率，用单位时何内通连的气体体积与该截面上它的《分)压力的 乘积米晓定： k.在通气管两端成孔的两侧，气体分压力整与减适气轩戏孔的导气事的乘积，以单位时间内压 力-体积表示，如P·m'/s, 同义试：直量flow ithroghput 2.24帕[斯卡]立方米每粒scal cubic metres persecond(P·m'/)。 国际单位割中推存的气体流量单位，1a·■/s约等于10um·cm/s,或更确切地说， 1Pa*m'/s-9.8692atm·cm'/s. 2.25流西克wee 藏速的单位，等于0,133mP·m'/a 2.26克流西克cu 一种已不用的瓶速单位，等于10流丙克。 2.27需孔k 密用体壁上的孔闲，在壁两侧压力碧或浓度整的作用下，液体或气体能从壁的一离穿到另一侧。 面与流件的流量无关， 2.28漏隙perture leak 几何形状为确道的长废远小于其最小直径的一种孔，因此，可认为这种确孔等效为无限薄壁上 的一个通孔， 2.29分子w孔molecular leak 几何形状为气流通过时遵循分子流定律(Kdn'。a■)的一种洲孔。篷量与两端压力蒙成王 比，与该气体分子量的平方根成反比 2.30粘精湘孔viscous leak 几同形状为气液通过时呈粘清性，即气流遵循泊萧定律（心eul',血w)的一种漏孔。流速与 两湖压力平方差或正比，与气休粘潜桂成反比， 2.31虚漏rtal leak 在真空系统中因精获气体的缓慢释牧而漆成有漏孔的假象：或由于系统在拍空前，曾暴置在大气 压下，在升压率检测时，系统中所有材料的表面上和细孔内都在缓慢跑释放所吸附戏吸留的气 体，从面造成真空系接中有源孔的假象。 2.32稀率leakage rate 在给定祖度和测几两侧规定压力差的条件下，液体或气体通过确孔的流速。对气体来说，标座条 件是25C和10CkPa,稀本可用不可的单位表示，如P·回/a成P·L/(见表2)， 35
cs/T 12604.7一 1995 在气体分子平均自由程大于通道横截面最大尺寸的条件下，通过通道的气流。 2.20 粘滞流 viscous flow 在气体分子平均自由程远小于通道横截面最小尺寸的条件下，通过通道的气流。这种流可能是层 流，也可能是湍流。 2.21 泊萧流 Poiseuille flow 层状粘滞流通过圆形截面长管时的特殊情况。 2.22 过渡流 transition flow 介于层状粘滞流与分子流之间的气流。 同义词:克努森流 Knudsen flow 2.23 流速 flow rate :. 气体通过系统给定截面的速率，用单位时间内通过的气体体积与该截面上它的(分)压力的 乘积来确定; b. 在通气管两端或孔的两侧，气体分压力差与该通气管或孔的导气率的乘积，以单位时间内压 力一体积表示，如Pa·m '/se 同义词:流量flow ;throughput 2.24 帕〔斯卡〕立方米每秒 pascal cubic metres persecond (Pa·m '/s), 国际单位制中推荐的气体流量单位。1 Pa " m '/s约等于 loatm " cm '/s，或更确切地说， lPa·m '/s=9. 869 2atm·cm,/s. 2.25 流西克 lusec 流速的单位，等于。.133mPa·m丫“ 。 2.26 克流西克 clusec 一种已不用的流速单位，等于 10-1流西克。 2.27 漏孔 leak 密闭体壁上的孔洞，在壁两侧压力差或浓度差的作用下，液体或气体能从壁的一侧穿到另一侧， 而与流体的流量无关。 2.28 漏隙 aperture leak 几何形状为漏道的长度远小于其最小直径的一种漏孔，因此，可认为这种漏孔等效为无限薄壁上 的一个通孔。 2.29 分子漏孔 molecular leak 几何形状为气流通过时遵循分子流定律(Knudsen ' s law)的一种漏孔。流量与两端压力差成正 比，与该气体分子量的平方根成反比。 2.30 粘滞漏孔 viscous leak 几何形状为气流通过时呈“粘滞”性，即气流遵循泊萧定律(Poiseuille ' s law)的一种漏孔。流速与 两端压力平方差成正比，与气体粘滞性成反比。 2.31 虚漏 virtual leak 在真空系统中因捕获气体的缓慢释放而造成有漏孔的假象;或由于系统在抽空前，曾暴露在大气 压下，在升压率检测时，系统中所有材料的表面上和细孔内都在缓慢地释放所吸附或吸留的气 体，从而造成真空系统中有漏孔的假象。 2.32 漏率 leakage rate 在给定温度和漏孔两侧规定压力差的条件下，液体或气体通过漏孔的流速。对气体来说，标准条 件是 25℃和 100kPa,漏率可用不同的单位表示，如 Pa " m丫s或 Pa " L/s(见表 2)
GB/T12604.7-1995 表2世潮检测用的单位换算系数 被换算单位 表养后单位 牌养采数 号率 封mt='/e Ph·m 1.01×101 mkoe·nes/e Pa.m/s 1.33×104 micron +it/h P·m 1.0×10 pancal.Ftren/s P"m'/ 1.00×10 STD.em'/s A·me 1,01X10 Tarr litrea/s Pa m'/ 1.33×10 压力 时raphere(nd) Pu 1.1×10 har Py 1.g0X10 micrometre of He F 1.33×10 miccon P 1.33X10- mir线re of H叔 Pa 1.33×10 pouds.foree/in Pa 6.89×10 Torr P 1.33x10 粘度： centipoise P·8 1,00×10-1 e Pa+ 1.00×10-1 体积： cm m 1.00×104 很 m 283×10+ Ftre m 1.00×10-1 2.33标准得率解and由rd ieakage rate 在人口压力为0,1MP±5%，出口压力小于1kP,程度为25℃士5℃及薄点低于一25℃的条件 下大气的流动速率。 2.3A数小可探测精率minimum detectable leakage rate 在检活期间，当有测孔存在时，某一给定检稀收能够明璃检出的最小罐率值。 235枪入米in-kkte 在特定抽空的容精中所有确孔产生的覆率之和，以单位时间内的压力体积单位表示。 同义闻：游入率 2.36渗透系数permeability coeffieient 在给定温度和每单位压差下，气体通过单位面积和单位圆体屏摩厚度的稳志流功速率。 问义词，遭气系数 2.37导气率conductance 气体流经导管成通气孔的流速（在稳态序恒条件下）与导管两端或通气孔两侧气体的分压楚之 比，以单位时间内体积单位表示，如m/。 2.38流阻resistance(to flow） 导气率的同数。 2.39灵壁度网iivity 对于检湖仪米说，系指检蜀仪对示踪气体世测的响应（即单位漏率显示的表盘刻度值）， 2,40欲满检测灵敏度sensitivity of leak tet 在规定条件下，仅指，方法戒系统能够检出的量小漏率。 241栓湖仪的动态灵敏度ynamic梯sitivity of leak detector 400
Gs/T 12604. 7一 1995 表 2 泄漏检测用的单位换算系数 被换算单位 换算后单位 换算系数 漏率 arm .cm'/s micron·litres/s micron·ft'/h pascal·litres/s STD·cm'/s Torr·litres/s pa·m'/s Pa·m'/s Pa·in,/. Pa·m "4 Pa.m'/i Pa.m'/i 1. 01 X 10-' 1.33X10-' 1. 05X 10-0 1. 00 X 10-' 1.01X10-' 1. 33 X 10- 压 力 Pa Pa Pa Pa Pa Pa Pa atmosphere(std) bar micrometre of Hg m icron Pa Pa m m m millimetre of Hg pounds-force/in ' Torr 粘度 : centtpoise pose 体积 : cm' ft' litre 1. 01 X 10' 1. 0O X 10' 1.33X10-' 1. 33X10-' 1.33火10' 6. 89 X 10' 1. 33 X 10' 1. 0O X 10-' 1. 0O X 10-' 1. 0O X 10-" 2. 83 X 10' 1. 00 X 10-' 2.33 2.34 2.35 2.36 2.37 2.38 2.39 2.40 2.41 400 标准漏率 standard leakage rate 在入口压力为 0. 1MPa士5%、出口压力小于 AN,温度为 25℃士5℃及露点低于一25℃的条件 下大气的流动速率。 最小可探测漏率 minimum detectable leakage rate 在检测期间，当有漏孔存在时，某一给定检漏仪能够明确检出的最小漏率值。 泄人率 in-leakage rate 在特定抽空的容器中所有漏孔产生的漏率之和，以单位时间内的压力一体积单位表示。 同义词:渗入率 渗透系数 permeability coefficient 在给定温度和每单位压差下，气体通过单位面积和单位固体屏康厚度的稳态流动速率。 同义词:透气系数 导气率 conductance 气体流经导管或通气孔的流速(在稳态守恒条件下)与导管两端或通气孔两侧气体的分压差之 比，以单位时间内体积单位表示，如m '/s, 流阻 resistance (to flow) 导气率的倒数。 灵敏度 sensitivity 对于检漏仪来说，系指检诵仪对示踪气体泄漏的响应(即单位漏率显示的表盘刻度值)。 泄漏检测灵敏度 sensitivity of leak test 在规定条件下，仪器、方法或系统能够检出的最小漏率。 检漏仪的动态灵敏度 dynamic sensitivitv of leak detector
GB/T12604.7-1995 在规定条件下，对被检密闭体连族进行有效地抽空时，检烟？能够检出的最小南率。 242本底信号background signal 因存在瘦留的示踪气体或其他会引起检测元件响应的物质，面使检稀仪产尘稳定的或被动的输 出信号， 2,43漂移di 由于电子学上的原因，面不是示踪气体量的变化引起的检仪本底输出电平出现相对缓慢的变 化。 2.44氢源移helium drift 用探头进行花稀检测时，距探头端部一定距离处的测孔或可渗透垫圈引起的源移，这种深移被探 头险出，可能使操作者误认为餐头射近区城有款漏：或由于探测管中氯浓度的缓慢变化（因径漏 或释气)而引起检测？输出仪表指针的逐新源移，以单位时间内的移动刻度数表示。 2.45扩散diffusion 气体穿过一种物质的灌动，实酶上气体是通进该物质的品格的迁移，面不是通过几何漏孔（孔径 可与分子直径相比)的撒湖。 2.46戴射scattering 由于分子或离子间的磁擦面引是的向各个方向的弥敏或扩藏。适用于质潜管中观留气体或通过 该臂的离子束的效应， 2.47吸牧bsorption 气体渗入或结合到圆体（成被体）内跟。 2.48段图occlasion 固化时，置体内捕获的不溶解的气体。 2.49质看sorption 通过吸收，聚附、化学吸著或这些过程的任一相合采樂气体。 2.50密封eh 根据规定的校术条件进行检测而无橙漏， 2.51严格气密的毫封hermetically tight seal 当将对压力侧气体敏感的商用检漏仪置于相财一侧进行动态检测，戏使可任何形式的液体检测， 均表显示登滑的密封， 2.52真空acuum 在真空技术中，指气体压力低于大气压力的给定空间。真空度按压力范围可区分为低真空，中真 空、高真空，甚高真空和起高真空（见表3》， 表3真空度 黑空度 近氟的压力惠墨 任真空 100kPu~3kPa 中真空 3kla~-0.IPu 高真空 0.1Pa-0.1=Ps 养高真空 C.ImPa~-0.1Pa 园高真空 0.laPa 2.53除气outgassing 使材刺在真空中通出气体， 2.54州烤bake-out 在袖气过握中，用加传方法使真空系统胶气， 4
GB/T 12604.7一 1995 2.42 2.43 2.44 2.45 2.46 2.47 2.48 2.49 2.50 2.51 2.52 在规定条件下，对被检密闭体连续进行有效地抽空时，检漏仪能够检出的最小漏率。 本底信号 background signal 因存在残留的示踪气体或其他会引起检测元件响应的物质，而使检漏仪产生稳定的或波动的输 出信号。 漂移 drift 由于电子学上的原因，而不是示踪气体量的变化引起的检漏仪本底输出电平出现相对缓慢的变 化。 氮漂移 helium drift 用探头进行泄漏检测时，距探头端部一定距离处的漏孔或可渗透垫圈引起的漂移。这种漂移被探 头检出，可能使操作者误认为探头附近区域有泄漏;或由于探测管中氦浓度的缓慢变化(因泄漏 或释气)而引起检漏仪输出仪表指针的逐渐漂移，以单位时间内的移动刻度数表示。 扩散 diffusion 气体穿过一种物质的流动，实际上气体是通过该物质的晶格的迁移，而不是通过几何漏孔(孔径 可与分子直径相比)的泄漏。 散射 scattering 由于分子或离子间的碰撞而引起的向各个方向的弥散或扩散。适用于质谱管中残留气体或通过 该管的离子束的效应。 吸收 absorption 气体渗入或结合到固体(或液体)内部。 吸留 occlusion 固化时，固体内捕获的不溶解的气体。 吸着 sorption 通过吸收、吸附、化学吸着或这些过程的任一组合采集气体。 密封 tight 根据规定的技术条件进行检测而无泄漏。 严格气密的密封 hermetically tight seal 当将对压力侧气体敏感的商用检漏仪置于相对一侧进行动态检测，或使用任何形式的液体检测， 均未显示泄漏的密封. 真空 vacuum 在真空技术中，指气体压力低于大气压力的给定空间。真空度按压力范围可区分为低真空、中真 空、高真空、甚高真空和超高真空(见表 3), 表 3 真空度 真空度 低真空 中X空 高真空 甚高X空 超 高X空 近似的压力范围 100kPa-3kPa U P- 0. IN 0. 1P.- 0. 1.P 0. 1mPa-0. 1pPa G0. 1.P. 2.53 除气 outgassing 使材料在真空中逸出气体。 2.54 烘烤 bake-out 在抽气过程中，用加热方法使真空系统脱气
GB/T12604.7-1995 2.55l抽roughing 真空系统的初始抽空。 2.55抽气时间pump-down time 执空的时间。 257节流throttlng 通过局邵关闭阀门威安装一段低导气奉管道来降低抽气系统的净抽气速度。 2.58清除cean-up 微漏检测系统的信号输出减少到示踪气体停止进入膜满系统时所指示信号的37%所活的时间， 间义闻：请除时间ccan-up time Z.59响废时间response time 检需仅成世漏检测系统产生的输出情号达到连续对被检系统施知示踪气体所获得最大信号的 63%时所需的时间。 同义词，响座respanse 2.60响皮系数wp0 se facter 素检福收对Q3MP/体或更小黄量的12号致冷剂二氯二氟甲烧(CC,F,)的响应除以对等量 的其它喜素检测气体的啊应，国此：截检出确孔的实际漏率将是检福仪指示值乘以响应系数，示 家气体与非卤常气体混合物的利应是示膝气体的响应系数除以示踪气体在检测气体中所古的分 数。 2.61升压率mead 用，门将直空系统与聚爽然隔离后，在始定时阿内真空系统的压力上升的时间速率，在测量升压 卡时，系饶的体积和圈度应保锌不变 2.62浓度比oecentration mtio 一种（气体）混合物中某种成分的原子（分子）数与该摇合物中的原子（分千）总数之比。对于理想 气体来说，浓度比与该成分的体积分数或分层力相同 2.63前级空间backing网定 前倾泵（预真空泵）与连带的扩散系（或要求预真空系的其性类型的泵）之同的空间， 2.6科前级ballast 当预直空系哲停时，健维持低的前级压力的足够大的前缓空间， 网义可：气铺罐 2.65频子质量单位tomic mass unit(amu) 粒子（原子，分子，离子等）质量的量度单位，定义为碳原子2质量的1/12，以原子质量单位表示 的粮子质量的数值与过去果用的照子量相问， 2.56质址数mass number 量接近原子质赫的整数，可用子版量单位或（化学的）原子量表示， 267平均白由程mran free path 一个分子与其触分子连线碰撞中所经过的平均距离。 2.6B电离电位ionization potenti向l 从一个原子或分子中移去一个电子以形成一个正离子所需要的量小能量：以（电子）伏特表示： 2.69质谐miss spectrum 在质请收内处理某一命定物质时，产生各种爱慧的离子，质谱是表示离子相对数量的记录，曲线 图纹表格等。 2.70透数masking 将被检作的一需分厘盖，以防止示麻气从厦壁部分可能存在的稀孔中进入。 4过
Gs/' r 12604.7一 1995 2. 55 2.56 2. 57 2.58 2.59 2.60 2.61 2.62 2.63 2.64 2.65 2.66 2.67 2.68 2.69 2. 70 402 粗抽 roughing 真空系统的初始抽空。 抽气时间 pump-down time 抽空的时间。 节流throttling 通过局部关闭阀门或安装一段低导气率管道来降低抽气系统的净抽气速度。 清除 clean-up 泄漏检测系统的信号输出减少到示踪气体停止进人泄漏系统时所指示信号的 37%所需的时间。 同义词:清除时间clean-up time 响应时间 response time 检漏仪或泄漏检测系统产生的输出信号达到连续对被检系统施加示踪气体所获得最大信号的 63%时所需的时间。 同义词:响应response 响应系数 response factor 卤素检漏仪对0. 3MPa/s或更小流量的12号致冷剂〔二氯二氟甲烷(CCI,F})〕的响应除以对等量 的其它卤素检测气体的响应。因此，被检出漏孔的实际漏率将是检漏仪指示值乘以响应系数。示 踪气体与非卤素气体混合物的响应是示踪气体的响应系数除以示踪气体在检测气体中所占的分 数。 升压率 rate of rise 用阀门将真空系统与泵突然隔离后，在给定时间内真空系统的压力上升的时间速率。在测量升压 率时，系统的体积和温度应保持不变。 浓度比 concentration ratio 一种(气体)混合物中某种成分的原子(分子)数与该混合物中的原子(分子)总数之比。对于理想 气体来说，浓度比与该成分的体积分数或分压力相同 前级空间 backing space 前级泵(预真空泵)与连带的扩散泵(或要求预真空泵的其他类型的泵)之间的空间。 前级罐 ballast 当预真空泵暂停时，能维持低的前级压力的足够大的前级空间。 同义词:气镇罐 原子质量单位 atomic mass unit (amu) 粒子(原子、分子、离子等)质量的量度单位，定义为碳原子 12质量的1/12。以原子质量单位表示 的粒子质量的数值与过去采用的原子量相同。 质量数 mass number 最接近原子质量的整数，可用原子质量单位或(化学的)原子量表示。 平均自由程 mean free path 一个分子与其他分子连续碰撞中所经过的平均距离。 电离电位 ionization potential 从一个原子或分子中移去一个电子以形成一个正离子所需要的最小能量，以(电子)伏特表示。 质谱 mass spectrum 在质谱仪内处理某一给定物质时，产生各种质量的离子，质谱是表示离子相对数量的记录、曲线 图或表格等。 遮蔽 masking 将被检件的一部分覆盖，以防止示踪气从覆盖部分可能存在的漏孔中进入
GB/T12604.7-1995 同义罚：遮挡 2.71离解d0ch1o0 一种物质分解成两种成更多种成分， 同义司：裂解：分解erneking 2.72毫授系统looded system 做测时，已为示卷气体所充清，以致不能进一步实流微漏检润的系统. 3港漏检测设备，器件和材料 3.1检仅eak deteetor 检调，定位，海量成兼面有之的检常装置， 32质清校潮仅mass spectrometer leak detecto 一种测节到仅对示暴气体有确应的质透仅。 33氢w仪helum leak detector 用氯气作为示擦气体的检漏仪。 3.4想声波校漏仅ultrasonic lak detector 能探测出由分子清流产生的短声被能量并能将此胞量转换发有用信号的？器。分子端流是在气体 酒过小孔时从层流转变为龍而发生的。 3.5火花线图检漏仅ark coil lak detector 条所拉(T》型高霸故电线圈，通过线履铁心与针孔之间的触发火花酱示骏确真空系统中的针 孔. 3.6记屏粒稀仪aadium barrier leak detector 用氢气作为示器气体并以氢气通过热纪译扩胶透入抽空真空计为真理的一种检膏仅。 3.7差动检葡仪d lifferential击leak detecto 在营有相集器的桥式电席中聚用两根相似的测流速管，有这择地辅集减系统与任一测流速管之问 的示辉气体， 3.8凭语管pectrometer tube 质谐检稀仅的敏感元件。 3.9凶素检稀仪halogen leak detector 一种对卤素示器气体有车应的校稀仅，本称为皮震敏感检橘仅或卤化物控漏仅。 ,凶化物啼灯，由一个能将火培喷财在期板或屏上的本生灯和一根带有数样探头的可将示踪气 体输远到本生灯进气口的软管组成。 同义词，制火培检测仅copper-flame detectoe b.碱离子二极管卤素橙稀仪，它依霏卤素分子进入敏陈元件时加帕阳极正离子发射的变化进 行检测。 3.10就离子二极管a山ion diode 一种山素气体传感著。 311敢射性同位素准神检测系饶radioisotope leak test syatem 便用放射性示馨气体和一个测量示踪气体发射用的探测荐的一种巷漏检测系统 3.12故电管很M指示器discharge tube leak indicstoe 一裂与被检系统相连的技璃管，拉璃仟花有电极，与高颜高压电原连接，如秦斯拉线图或城应线国。 当有合适的示除气体（甲皖，二氧化碳、乙醇）流过端孔时，便能瑶察到故电原色的变化。 3.13音有泄丽指示蓉ube同k indicato可 检霸仪的形件，能将输出信号转变为音响指示，音响的顿水是漏术的函数。 43
GB/T 12604.7一 1995 2.71 2.72 同义词 :遮挡 离解 dissociation 一种物质分解成两种或更多种成分。 同义词:裂解;分解cracking 淹没系统 flooded system 检测时，已为示踪气体所充满，以致不能进一步实施泄漏检测的系统。 3 泄漏检测设备、器件和材料 3.1 检漏仪 leak detector 检测、定位、测量或兼而有之的检漏装置。 3.2 质谱检漏仪 mass spectrometer leak detector 一种调节到仅对示踪气体有响应的质谱仪。 3.3 氦检漏仪 helium leak detector 用氦气作为示踪气体的检漏仪。 3.4 超声波检漏仪 ultrasonic leak detector 能探测出由分子湍流产生的超声波能量并能将此能量转换成有用信号的仪器。分子湍流是在气体 通过小孔时从层流转变为湍流而发生的。 3. 5 火花线圈检漏仪 spark coil leak detector 泰斯拉(Tesla )型高频放电线圈，通过线圈铁心与针孔之间的触发火花揭示玻璃真空系统中的针 孔 3.6 把屏检漏仪 palladium barrier leak detector 用氢气作为示踪气体并以氢气通过热把屏扩散进入抽空真空计为原理的一种检漏仪 3.7 差动检漏仪 differential leak detector 在带有捕集器的桥式电路中采用两根相似的测流速管，有选择地捕集该系统与任一测流速管之间 的示踪气体。 3.8质谱管 spectrometer tube 质谱检漏仪的敏感元件。 3.9 卤素检漏仪 halogen leak detector 一种对卤素示踪气体有响应的检漏仪，亦称为卤素敏感检漏仪或卤化物检漏仪。 a. 卤化物喷灯，由一个能将火焰喷射在铜板或屏上的本生灯和一根带有取祥探头的可将示踪气 体输送到本生灯进气口的软管组成。 同义词:铜一火焰检测仪copper-flame detector b 碱离子二极管卤素检漏仪，它依靠卤素分子进入敏感元件时加热铂阳极正离子发射的变化进 行检测。 3.10 碱离子二极管 alkali ion diode 一种卤素气体传感器。 3.11 放射性同位素泄漏检测系统 radioisotope leak test system 使用放射性示踪气体和一个测量示踪气体发射用的探测器的一种泄漏检测系统。 3.12 放电管泄漏指示器 discharge tube leak indicator 一根与被检系统相连的玻璃管，玻璃管带有电极，与高频高压电源连接，如泰斯拉线圈或感应线圈， 当有合适的示踪气体(甲烷、二氧化碳、乙醇)流过漏孔时，便能观察到放电颜色的变化。 3.13 f响泄漏指示器 audible leak indicator 检漏仪的附件，能将输出信号转变为音响指示，音响的频率是漏率的函教
GB/T12604.7-1995 可义词，声响器qucaler 3.14探头pobe 一种用于引导攻收集示踪气崔的一端有孔韵昏子， 问义词，压力探头pressure probe 3.15比割探头propartioning prob 能使样品与纯空气的比例在100%样品和100%纯空气之间改变，而从聚头荒出的总流量无明显改 变的一种探头。 315取样探头mpling probe 用来采集被检件上某一区域速出的示踪气体和在规提的减压条件下将示鉴气体喷送给检霜仅的一 种器件。 同义词：采样探头：吸气探头miffing probe 317喷射探头ray probe 将一小束示踪气体喷向进行真空检测的工作用的蓉作， 318质萧仪msss spectrometer(M.5.） 一种能够分离不可质有比的电离分千并能分别测定离于流的仪器，质谢仪可用作真空计，其输出与 特是气体的分压或正比，也可作为对特定示摩气体敏然的检衡仪，或者作为确定气体混合物成分百分率 的分斯仅器。 319迪希背斯特质诺仅Dempster(M.S】 离子首先由电场加速通过一条统缝，然后由蓝场使其偏转18和，通过第二条我缝。 320B-J型质萧仪Bainbridge-Jordan(M.5) 离子由径向静电场和使离子偏转的面场分离。这样变排能使在给是速度差时，电畅中离子的发 散正好为避场中离子的发散所补使， 3.21被利克尼质谁仅Bleakne可(M.S.) 离子由交又的电畅和避场分离， 同义间：交又扬质谱仅cross fields(M.S.) 322尼尔质清仅NeF(M.S) 油烯普所特质诽仅的一种改速型，用磁场偏转离子， 3.23瘦炫时间质谁仪time of压ehtM.8.) 气体由脉冲调制的电子来电离，每群离子被加速射向南子收集器，但不同质横比的离子以不同的时 同通过其行程。 3.24射领质带仅radio-4 requency(M,5.) 离子经如速进入射领分析仪，在分析仅中，质荷此选定的离千加速通过交整连接到财颗振药器的一 系列隔板上的孔进入静电场，而静电场只允许在分析仪内被如速的离子抵达收集器。 3.25可旋质潜仅ce6 gatron(M.S) 用目旋都速罐的原弹使离子如速， 325电离真空计iooi2 ation vacum gage 一种由气体分子电离装置，用于收集所形成的正离子的电极和指示所收集到的离子流量的装置组 成的真空计， 327格朗极电离真空计ho-cathode ionization gage 由格灯然（玖阴极）发材并经电场如速的电子撞击产坐离子的电离真空计， 同义词，族灯丝电离真空计bot-filament ioniatio age,离子计ice gage 328B-A型电离真空计Bayard-Alpert ioelsation gage 使用一根曹电假结构的管子，该结构可使未自离子收集器上由X射线感生的电子发射减至最小， 404
Gff/T 12604. 7一 1995 同义词:声响器squealer 3.14 探头 probe 一种用于引导或收集示踪气流的一端有孔的管子。 同义词:压力探头pressure probe 3.15 比例探头 proportioning probe 能使样品与纯空气的比例在 100%样品和 100%纯空气之间改变，而从探头流出的总流量无明显改 变的一种探头。 3.16 取样探头 sampling probe 用来采集被检件上某一区域逸出的示踪气体和在规定的减压条件下将示踪气体馈送给检漏仪的一 种器件。 同义词:采样探头;吸气探头sniffing probe 3.17 喷射探头 spray probe 将一小束示踪气体喷向进行真空检测的工件用的器件。 3.18 质谱仪 mass spectrometer (M. S.) 一种能够分离不同质荷比的电离分子并能分别测定离子流的仪器。质谱仪可用作真空计，其输出与 特定气体的分压成正比，也可作为对特定示踪气体敏感的检漏仪，或者作为确定气体混合物成分百分率 的分析仪器。 3.19 迪姆普斯特质谱仪 Dempster (M. S.) 离子首先由电场加速通过一条狭缝，然后由磁场使其偏转 1800，通过第二条狭缝。 3.20 B-J M质谱仪 Bainbridge-Jordan(M. S.) 离子由径向静电场和使离子偏转60’的磁场分离。这样安排能使在给定速度差时，电场中离子的发 散正好为磁场中离子的发散所补偿。 3.21 波利克尼质谱仪 Bleakney (M. S) 离子由交叉的电场和磁场分离。 同义词:交叉场质谱仪 cross fields (M. S. ) 3.22 尼尔质谱仪 Nier (M. S.) 迪姆普斯特质谱仪的一种改进型，用磁场偏转离子。 3.23 渡越时间质谱仪 time of flight (M. S.) 气体由脉冲调制的电子束电离，每群离子被加速射向离子收集器，但不同质荷比的离子以不同的时 间通过其行程。 3.24 射频质谱仪 radio-frequency (M. S.) 离子经加速进入射频分析仪，在分析仪中，质荷比选定的离子加速通过交替连接到射频振荡器的一 系列隔板上的孔进入静电场，而静电场只允许在分析仪内被加速的离子抵达收集器。 3.25 回旋质谱仪 omegatron (M. S.) 用回旋加速器的原理使离子加速。 3.26 电离真空计 ionization vacuum gage 一种由气体分子电离装置、用于收集所形成的正离子的电极和指示所收集到的离子流量的装置组 成的真空计。 3.27 热阴极电离真空计 hot-cathode ionization gage 由热灯丝(或阴极)发射并经电场加速的电子撞击产生离子的电离真空计。 同义词:热灯丝电离真空计hot-filament ionization gage，离子计ion gage 3.28 B-A型电离真空计 Bayard-Alpert ionization gage 使用一根带电极结构的管子，该结构可使来自离子收集器上由X射线感生的电子发射减至最小
GB/T12604.7-1995 3.29检阴板电离真空计cod-cathode ionisation gage 由冷阴极放电产生离子，通常，在有磁场存在时，台延长明版和阳极之间的电子路径，放电管是透明 的，管中冷历极成电（在无磁场#在时）的国色和形式可指示出气体的压力和性质。 3.30非利普电离真空计Php40 niaatio通e 一种冷阴极电离真空计，其蓝场与环形电极（通常是阳极）的轴线平行，环形电极位于两块垂直于该 轴线的板极之可。影宁直空计(Penning gage)的各种改进型是以其发明者命名的，而其中的某些型号用 被称为蓝2管真空计(magnetron vacuum gages), 3.31款射性电离真空计radiosctive ionisation gag 由成射解发出的辐射（速常是✉粒子）产生离子。 3,32热导真空计thermal conductivity vacuum gage 一种具有两个不同温度表面的真空计，在两表面之间，热可通过气体分子来传递，因此其中任一表 面的温度变化（或为保持恒墨所荷如格功率的变化）均与气体压力相美。 3.33皮拉尼真空计rani gage 压力从零点上升时，引起具有电阻超度系数大的材料制成的指灯然的湿度下降，从而使惠斯登桥 式电降失去平衡（或调节电路，以保持灯丝湿度属定） 3.34族电偶真空计thermocouple gage 压力上升时，加热灯丝的温度下降，通过与如然灯丝中心有格钱触接点的热电偶电路中电动势降低 指示出案。 3.35热敏电阻真空计thermistor gage 一种以热最电凰作为加烧元件的皮拉尼真空计。 3.35双金属片真空计bimetallie解rip gage 双金属片虽度变化而偏转，从面指示出压力的变化 3.37差动皮拉尼计differential pirani gage 采用两限相似的皮拉尼管作为意新登电桥臂的准稀检测装量， 338预真空系fare pump 对在大气压力下不能持气的梨产生必需的预真空用的票， 同义同：前级暴，初级暴backing pump 339相构系roughing pump 用于真空系能初命抽空的真空系。 同义词，低真空 340唯持系holding pump 当粗抽泵将系统压力师低到能使蒸汽系与系镜之阿的阁门打开而不中撕燕汽从喷嘴流出的某一点 时，用米保持燕汽系处于工作状态的预真空泵。 同义同：保转泵 3.41南子系ion pump 一种拍气用的电气装置，它由气体电离装置和一个具有适当电位的电版系统阻成，有时还带有磁 场使形成的离子向吸收成通没离子的表面运动。 3.42离子银o0urct 控漏仅探测管的一部分，示踪气体被探测之前预先在其中电离。 3.43绝对压力计bsolute mapometer 一种可根据仪券可测的物理常数计算出校正值的压力计，其校正值适用于所有的理想气体。 344标准漏孔s时andard leak 能使示踪气体按已知速率进入检漏仪或准神检测系烧，用以校准粒稀仪的等件。 40個
GB/T 12604.7一 1995 3.29 冷阴极电离真空计 cold-cathode ionization gage 由冷阴极放电产生离子，通常，在有磁场存在时，会延长阴极和阳极之间的电子路径。放电管是透明 的，管中冷阴极放电(在无磁场存在时)的颜色和形式可指示出气体的压力和性质。 3.30 菲利普电离真空计 Phillips ionization gage 一种冷阴极电离真空计，其磁场与环形电极(通常是阳极)的轴线平行，环形电极位于两块垂直于该 轴线的板极之间。彭宁真空计(Penning gage)的各种改进型是以其发明者命名的，而其中的某些型号则 被称为磁控管真空计(magnetron vacuum gages), 3.31 放射性电离真空计 radioactive ionization gage 由放射源发出的辐射(通常是 a粒子)产生离子。 3.32 热导真空计 thermal conductivity vacuum gage 一种具有两个不同温度表面的真空计，在两表面之间，热可通过气体分子来传递，因此其中任一表 面的温度变化(或为保持恒温所需加热功率的变化)均与气体压力相关。 3.33 皮拉尼真空计 Pirani gage 压力从零点上升时，引起具有电阻温度系数大的材料制成的加热灯丝的温度下降，从而使惠斯登桥 式电路失去平衡(或调节电路，以保持灯丝温度恒定)。 3.34 热电偶真空计 thermocouple gage 压力上升时，加热灯丝的温度下降，通过与加热灯丝中心有热接触接点的热电偶电路中电动势降低 指示出来。 3.35 热敏电阻真空计 thermistor gage 一种以热敏电阻作为加热元件的皮拉尼真空计。 3.36 双金属片真空计 bimetallic strip gage 双金属片随温度变化而偏转，从而指示出压力的变化。 3.37差动皮拉尼计 differential pirani gage 采用两根相似的皮拉尼管作为惠斯登电桥臂的泄漏检测装置。 3.38 预真空泵 fore pump 对在大气压力下不能排气的泵产生必需的预真空用的泵。 同义词:前级泵，初级泵 backing pump 3.39 粗抽泵 roughing pump 用于真空系统初始抽空的真空泵。 同义词:低真空泵 3.40 维持泵 holding pump 当粗抽泵将系统压力降低到能使燕汽泵与系统之间的阀门打开而不中断蒸汽从喷嘴流出的某一点 时，用来保持燕汽泵处于工作状态的预真空泵。 同义词:保持泵 3.41 离子泵 ion pump 一种抽气用的电气装置，它由气体电离装置和一个具有适当电位的电极系统组成，有时还带有磁 场，使形成的离子向吸收或湮没离子的表面运动。 3.42 3.43 3.44 离子源 ion source 检漏仪探测管的一部分，示踪气体被探测之前预先在其中电离。 绝对压力计 absolute manometer 一种可根据仪器可测的物理常数计算出校正值的压力计，其校正值适用于所有的理想气体。 标准漏孔 standard leak 能使示踪气体按已知速率进入检漏仪或泄漏检测系统，用以校准检漏仪的器件
GB/T12604.7-1995 345人工漏孔eak artifnct 一种用来将气体以控制速术[通常为10摩尔每秒(m0l/s)或更小们引入系统的器件， 346钟里bell jar 一端（通常是底部）散开的容器，用作真空室或粒测容器。 3.7相抽管道roughing line 从机械系接到真空室的管道，通过该管便真空室预拍到低真丝范围。 3.48抽空管道pump-out tu中ulatice 从抽空装置巾引伸出来的管道，气体通这它被袖出，在装置抽空后，通分就将该管水久密封。 同义词：抽气骨道xhsust tubulation 3.49前级管道fce-linc 预真空泵与其后接系之间的管道， 3.50前级管道网门fore-me valve 位于前级管道中的直空街门，用以使扩散系与其前缓系隔离 3.51人口inet 检漏仅戏横滑检测系统上的开口，法兰，接头或联接器，由于被检件上的稀孔，示亲气体可通过它 进入被漏检测系统。 问义词：入口孔inlet port:入口法兰et flange 3.52示紫气体tra6rg 通过稀孔后能被专用的检测假检出，从丽据示稀孔存在的一种气体。 问文河，指示气体：探测气体eahg 353银85 krypton85 当采用放射性同位素检稀方法时，用来检测准稀的一种示路气体， 354探头气体probe gas 从探头孔喷出的示踪气体，它可耐到某一限定的检测区城 3.55卤素halogen 氯，氯，浪和碘元素族中的任何一件元素，在内素的严格定义中，化合物不属于肉素，但在本标准中， 为了便于撞述，卤常这个词也用于喜素化合物。在岗素检稀中，卤素化合物的重要意义在于它们有足够 的蒸汽压力可用作示容气体， 4港漏检测方法 4.1浸波起泡粒测bubble immersion test 对含气密闭体进行世漏检衡的一种方式，由测孔处生成的气泡来指示密闭体上的潮孔， 42静水国检衡hydroatatic test 一种医力粒测，检德时，将被校件充裤水或其德该体，如有需要，则在规定的时间内对液体如压并 视趋查核检件外那有无形。 同义词，水压检新hydraulic pressure tes 43钟罩检测be加tng 将被校件全都或部分地充以示凉气体并置于真空室政钟罩内检测其微稀的一种方法， 问义词，外港检测inside-out testing 4.4护厚检测hood test 一种整体检测，将进行真空检测的工件用护罩”罩住，翠内充以示踪气体，使工作的所有配分同时 受检，这是动态检漏的一种方式，粒测时，整个整闭体戏其外表而的大部分都暴露在示琼气体中，丽帝闭 体内深则与检精仪相连接，以测定有无使滑存在。 406
cB/T 12604.7一 1995 3.45 人z漏孔 leak artifact 一种用来将气体以控制速率〔通常为 10-'摩尔每秒(mol/s)或更小〕引入系统的器件。 3.46 钟罩 bell jar 一端(通常是底部)敞开的容器，用作真空室或检测容器。 3.47 粗抽管道 roughing line 从机械泵接到真空室的管道，通过该管使真空室预抽到低真空范围。 3.48 抽空管道 pump-out tubulation 从抽空装置中引伸出来的管道，气体通过它被抽出，在装置抽空后，通常就将该管永久密封。 同义词:抽气管道exhaust tubulation 3.49 前级管道 fore-line 预真空泵与其后接泵之间的管道。 3.50 前级管道阀门 fore-line valve 位于前级管道中的真空阀门，用以使扩散泵与其前级泵隔离。 3.51 入口 inlet 检漏仪或泄漏检测系统上的开口、法兰、接头或联接器，由于被检件上的漏孔，示踪气体可通过它们 进入泄漏检测系统。 同义词:入口孔inlet port;人口法兰inlet flange 3.52 示踪气体 tracer gas 通过漏孔后能被专用的检漏仪检出，从而揭示漏孔存在的一种气体。 同义词:指示气体;探测气体，arch gas 3.53 氢85 krypton 85 当采用放射性同位素检漏方法时，用来检测泄漏的一种示踪气体。 3.54 探头气体 probe gas 从探头孔喷出的示踪气体，它可射到某一限定的检测区域。 3.55 卤素 halogen 氟、氯、澳和碘元素族中的任何一种元素。在卤素的严格定义中，化合物不属于卤素，但在本标准中， 为了便于描述，卤素这个词也用于卤素化合物。在卤素检漏中，卤素化合物的重要意义在于它们有足够 的蒸汽压力可用作示踪气体。 4 泄漏检测方法 4.1 浸溃起泡检测 bubble immersion test 对含气密闭体进行泄漏检测的一种方式，由漏孔处生成的气泡来指示密闭体上的漏孔。 4.2 静水压检测 hydrostatic test 一种压力检测，检测时，将被检件充满水或其他液体，如有需要，则在规定的时间内对液体加压并目 视检查被检件外部有无泄漏。 同义词:水压检测hydraulic pressure test 4.3 钟罩检测 bell jar testing 将被检件全部或部分地充以示踪气体并置于真空室或钟罩内检测其泄漏的一种方法。 同义词:外泄检测inside-out testing 4.4 护罩检测 hood test 一种整体检测，将进行真空检测的工件用“护罩”罩住，罩内充以示踪气体，使工件的所有部分同时 受检。这是动态检漏的一种方式，检测时，整个密闭体或其外表面的大部分都暴露在示踪气体中，而密闭 体内部则与检漏仪相连接，以测定有无泄漏存在