残余应力的危害与应用 2A2 3 2 Channel crack Low-k dielectrio Copper (OSG) interconnect line KFAB1.0kV4.4mm×15.0kSEU5/19/2000 3.00um 3
3 残余应力的危害与应用
应力-应变间关联 ·应力o(stress)→应变&(strain)→晶面间 Ad (change of lattice spacing) △d △d △λ△0cos0 d d λ sinθ ·线弹性假设下,Hook'slaW:o=eEor=G 。 通过测定物体中的应变从而确定其应力大 小。 5
应力-应变间关联 • 应力 (stress) 应变 (strain) 晶面间 距d (change of lattice spacing) • 线弹性假设下,Hook’s law: =E or =G • 通过测定物体中的应变从而确定其应力大 小。 sin cos d d d d ~ 5
内应力的分类 第类应力,应力 的平衡范围为宏观 尺寸 第川类内应力,应 力的平衡范围为晶 粒尺寸 ·第川类应力,应力 的平衡范围为单位 晶胞 晶界 内应力分类的示总网 6
内应力的分类 • 第I类应力,应力 的平衡范围为宏观 尺寸 • 第II类内应力,应 力的平衡范围为晶 粒尺寸 • 第III类应力,应力 的平衡范围为单位 晶胞 6
宏观残余应力(第类应力) =0° =45° 180°-26 入射 衍射 同族 拉应力 K 晶面 晶面间距d大 晶面间距d小 二 拉应力 衍射角2B小 衍射角2B大 压应力? 7
宏观残余应力(第I类应力) 压应力? 7