华中科技大学：《互换性与公差测量》课程教学资源（PPT课件）第四章 表面粗糙度

一、 虚拟制造技术的内涵 二、虚拟制造技术的体系结构 三、虚拟制造技术的分类 四、虚拟制造技术中的使能技术 五、虚拟制造技术中的关键技术 六、虚拟制造技术的应用

• 计划的重要性 • 企业内外部环境的分析 • 企业目标的提出 • 决策 • 政策的制定 • 计划的种类 • 几种计划方法

• 人的行为动机 • X.Y理论 • 需求层次理论 • 双因素理论

一、薄膜图形化的光刻技术 二、光刻使用的等离子体刻蚀技术 三、等离子体刻蚀机制 四、未来的纳米光刻技术

一、MEMs发展简介 二、MEMs的制备技术基础 三、典型应用的MEMs

一、薄膜图形化的光刻技术 二、光刻使用的等离子体刻蚀技术 三、 等离子体刻蚀机制 四、未来的纳米光刻技术

一、气体的放电现象与等离子体 二、物质的溅射效应和溅射产额 三、各种各样的溅射技术

一、 MEMs发展简介 二、MEMs的制备技术基础 三、典型应用的MEMs

一、薄膜材料 二、薄膜材料的应用 三、薄膜技术所研究的内容 四、薄膜材料与纳米技术