导你 物 SEMICOWDUCTOR PHYSICSS 编写:刘诺 独立制作:刻诺 电子科技大学 微电子与固体电子学院 微电子科学与工程系
半导体 物理 SEMICONDUCTOR PHYSICSS ⚫ 编写:刘诺 ⚫ 独立制作: 刘 诺 ⚫ 电子科技大学 ⚫ 微电子与固体电子学院 ⚫ 微电子科学与工程系
第二篇半导体中的杂质和缺陷能级 52.7Si、Ge晶体中的杂质能级 1、杂质与杂质能级 杂质:半导体中存在的与本体元素不同的其它元素 杂质出现在半导体中 奶,产生的加势场使 格的期性势场遭到 破坏
1、杂质与杂质能级 ⚫杂质:半导体中存在的与本体元素不同的其它元素。 §2.1 Si、Ge晶体中的杂质能级 杂质出现在半导体中 时,产生的附加势场使 严格的周期性势场遭到 破坏。 第二篇 半导体中的杂质和缺陷能级
Ec 杂质能级 EV
Ec 杂质能级 Ev
2、施主能级:举例:S中掺磷P(S:P) 导带电子电离施主P+
2、施主能级:举例:Si中掺磷P(Si:P) 导带电子 电离施主 P+
E口 ED E 电离的结果:导带中的电子数增加了,这即是掺施主的意义所在
ED ED 电离的结果:导带中的电子数增加了,这即是掺施主的意义所在
施主电离能:△ED=Ec-ED Ec △ED=Ec-ED ED Ey
施 主 电 离 能:△ED=EC-ED ⚫ ⚫ △ED=EC-ED Eg EC ED EV
主杂质:束缚在杂质能级上的电子 被激发到导带Ec成为导带电子,该杂质电 离后成为正电中心(正离子)。这种杂质 称为施直杂质。 i、Ge中Ⅴ族杂质的电离能△Ep(eV) 晶体 质 As Sb 00440.049 0.039 Ge0.01260.01270.0096
施主杂质:束缚在杂质能级上的电子 被激发到导带Ec成为导带电子,该杂质电 离后成为正电中心(正离子)。这种杂质 称为施主杂质。 Si、Ge中Ⅴ族杂质的电离能△ED(eV) 晶体 杂 质 P As Sb Si 0.044 0.049 0.039 Ge 0.0126 0.0127 0.0096
3、受主能级:举例:S中惨硼(S:B) 价带空穴电离受主B
3、受主能级:举例:Si中掺硼B(Si:B) 价带空穴 电离受主 B-
受主能级E 电离的结果:价带中的空穴数增加了,这即是掺受主的意义所在
受主能级 EA 电离的结果:价带中的空穴数增加了,这即是掺受主的意义所在
Ec E EA △EA EV 受主电离能:△EA=EAEV
受主 电 离 能: △EA=EA-EV Eg EA △EA EV EC