Vol.15 No.5 陈俊等：离子束轰击法金刚石薄膜抛花 ·507· 3结论 (1)表面晶体学形貌以(100)为主的金刚石膜较(111)为主的和球形的膜有较好的 原始表面平整度，并可获得较好的抛光效果。表面形貌以球形为主时，抛光效果很差。 (2)对不同表面晶体学形貌的金刚石膜，离子束轰击入射角应合理选择。 (3)提高离子束的加速电压有利于提高抛光效率。 参考文献 1 Yonhua Tzeng.Diamond Films and Tehnology.1991,1(1):31 2 Hirata A,Tokura H,Yoshikawa M.Thin Solid Films,1992.212(1-2):43 3田民波，刘德令.薄膜科学手册.北京：机械工业出版社，1991.253~255 4蒋高松.硕士学位论文，北京科技大学材料系、1991. 5郑周等.金刚石薄膜研究进展.北京：化学工业出版社，1991.112 微观特征对成形性能影响的机理研究 本课题是国家“七五科技攻关项目“薄板成形性能研究”中的子课题之一，其目的在于 研究冷轧薄板生产过程和冲压过程中微观特征及其变化过程，找出影响成形性能的主要因 素，为改进冷轧薄板的生产工艺，提高冷轧薄板的成形性能提供理论依据。 课题完成了成分、晶粒度、夹杂对成形性能的影响研究。对O8Al、WP22、SPCEa 的成分、晶粒度和夹杂物的尺寸、数量和分布对形成性的影响进行了系统的分析和研究， 提出了对深冲钢O8A】治炼的成分最佳控制范围。完成了冷轧压下率、退火工艺对？值和 织构影响的研究。通过对08Al、WP22热轧板进行50%~84%压下率的冷轧实验和多种 不同退火制度进行再结晶退火，得到了最佳冷轧和退火工艺制度。完成了复杂应变路径下 极限应变的变化和机理研究，通过对夹杂物、成形极限曲线、织构的分析，提出了复杂路 线成形极限变化的理论模型。完成了冷轧板生产中冲压过程的微结构分析研究，分析结果 为制定合理的生产和冲压工艺提供了理论依据。 研究工作的结果，揭示了影响国产深冲板成形性能的微观机理和规律，定量地找出了 影响深冲钢成形性的主要治炼、轧制工艺参数的控制范围，为冶金工厂改进、提高深冲板 的质量指明了方向 鉴定委员会认为，课题的理论工作密切联系生产实际，全面系统地考虑了多种冶金影 响因素，提出了提高冷轧板成形性的改进意见，对改进工艺、提高质量、合理用材有指导 意义，理论上达到了国际前沿水平
陈 俊等 离 子束轰击法金 刚石薄膜抛花 结 论 表 面晶体学形貌 以 为主 的金 刚石膜较 为 主 的 和球形 的膜有较好的 原始表面平整 度 ， 并可获得较好的抛 光效果 。 表 面形貌 以球形 为 主 时 ， 抛光效果很 差 。 对不 同表 面晶体学形貌的金 刚石膜 ， 离子束轰击人射角应合理 选 择 。 提高离子束的加 速 电压有利于 提高抛 光效率 。 参 考 文 献 · ， ， ， ， ， ， 一 田 民波 ， 刘德令 薄膜科学手册 北京 机械工业 出版社 ， 一 蒋高松 硕士 学位论文 ， 北 京科技大学材料 系 ， 郑 周等 金刚石 薄膜研究进 展 北 京 化学 工业 出版 社 ， 微观特征对成形性能影响的机理研究 本课题是 国家 “ 七 五 ” 科技攻关项 目 “ 薄板成形性能研究 ” 中的子课题之一 ， 其 目的在 于 研究冷轧 薄板生 产过程和 冲压过程 中微观 特征及其变化过程 ， 找 出影 响成形性 能的主要 因 素 ， 为改进冷轧薄板 的生 产工艺 ， 提高冷轧薄板的成形性能提 供理论依据 。 课题完成 了成分 、 晶粒度 、 夹 杂 对成形 性能 的影 响研 究 。 对 、 、 的成分 、 晶粒度和 夹 杂物 的 尺 寸 、 数量 和分布对形 成性 的 影响进 行 了系统 的分析和 研究 ， 提 出 了对深 冲钢 冶炼 的成分最佳控制 范围 。 完成 了冷 轧压下 率 、 退火 工艺 对 值和 织构影 响 的研 究 。 通 过对 、 热轧板 进行 一 压 下 率的冷轧实验和 多种 不 同退 火 制度进行再结晶退 火 ， 得到 了最佳冷轧和退火 工艺 制 度 。 完成 了复 杂应 变路 径下 极 限应 变 的变化和 机理研究 ， 通过 对夹 杂物 、 成形 极 限 曲线 、 织构 的分析 ， 提 出了复杂路 线成形极限变化的理论模型 。 完成 了冷 轧板生 产 中冲压过程的 微结构分析研究 ， 分析结果 为制定合理 的生产和 冲压工 艺提供 了理 论依据 。 研究工 作的结果 ， 揭 示 了影 响 国 产深 冲板 成形性能 的微观机理和规律 ， 定量地找 出 了 影 响深 冲钢 成形性的主要 冶炼 、 轧制 工艺参数 的控制范 围 ， 为冶金工厂 改进 、 提高深冲板 的质量指 明 了方 向 。 鉴定委 员会认为 ， 课题的理论工作密切 联 系生产实 际 ， 全面 系统地考虑 了多种冶金影 响 因 素 ， 提 出 了提高冷轧板成形性的改进意 见 ， 对 改进工 艺 、 提 高质量 、 合理用材有指 导 意 义 ， 理论上 达到 了 国际前沿水平
