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活化剂对Al-Cr扩散层中孔穴形成的影响

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Ni衬底用粉末包装法先扩散Al再扩散Cr时,在Al-Cr扩散层内产生了孔穴。它形成的原因是:活化剂NH4Cl加热分解时生成HCl气体,与已形成扩散层中的Al作用,使其从扩散层中逃逸,而在原来Al的位置上产生了孔穴。含有孔穴的Al-Cr扩散层的抗氧化能力明显降低。
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D0I:10.13374/j.issn1001-053x.1996.s2.009 第18卷增刊 北京科技大学学报 Vol.18 1996年10月 Journal of University of Science and Technology Beijing 0ct.1996 活化剂对Al一Cr扩散层中孔穴形成的影响 曹铁梁 耿伟民倪政瑜 周庆初 潘辉英 中国科学院上海冶金研究所,上海 摘要Ni村底用粉末包装法先扩散Al再扩散Cr时,在Al一Cr扩散层内产生了孔穴.它形成的 原因是:活化剂NH,CI加热分解时生成HC1气体,与已形成扩散层中的A!作用,使其从扩散层 中逃逸,而在原来AI的位置上产生了孔穴.含有孔穴的A!-Cr扩散层的抗氧化能力明显降低. 关键词卤化物活化剂,A1-Cr扩散层,孔穴 过去由于对扩散层内的缺陷结构和形成机制研究较少,往往提出一些相互矛盾的看法 和假设.例如,Gupta和Seiglet用Nal作活化剂在Ni上扩散AI时,认为孔的产生是尚未知 道的独特反应所致.Pichoir2在Ni及其合金上用低活度法扩散Al时,发现NiAl化合物界 面的孔上由柯肯达尔效应所致.Geib Rappl)用低活度法在合金钢上扩散Al-Cr时,认为 在样品附近Al和Cr消耗殆尽,致使扩散层内A!和Cr的反向扩散而形成孔穴.Kung和 Rapp在研究铁上扩散Al时,认为Al扩散层往外生长,由于衬底材料内空位的偏聚,而 导致孔穴的生成.作者在研究Ni上扩散Al-C时,观察到扩散层内的孔穴,并使扩散层 的氧化性能降低 研究扩散层内缺陷结构的形成机制,调整扩散源中活化剂的类型和含量以及变更扩散 元素的比例,将有助于获得高质量的保护层. 1实验方法 用Ni板加工成15mm×10mm×3mm的试样,表面粗糙度为V8.实验前用有机溶 剂脱脂.扩散源内的物质是:60%59%Al-Fe粉或Cr粉]+40%惰性粉末.按要求加人 NH4CI或NH,I及Na,AlF。,加人量为上述物质的2%.试样包埋在扩散源内,然后将其置 于低压环境中,在高温炉内进行扩散.高温氧化实验在热重天平上进行, 2实验结果 2.1孔穴形貌 图1(a)是Ni试样用二步法以NH,Cl作活化剂时,Al-Cr扩散层内孔穴的二次电子像 形貌.可见在扩散层内存在着不同几何形状和尺寸的孔穴,扩散层外侧的孔穴数量较多, 1996-01-22收稿第一作者男60岁研究员 ◆治金部衡蚀一磨蚀与表面技术开放研究实验室资助

第18 卷 增 刊 1 9 9 6 年1 0 月 北 京 科 技 大 学 学 报 J o u r n a l o f U n i v e r s i ty o f S e i e n e e a n d T e e h n o l o gy B e i j in g V o l . 1 8 o e t . 1 9 9 6 活化剂 对 A I 一 c : 扩散层 中孔 穴形成 的影 响 ’ 曹铁梁 耿伟 民 倪政瑜 潘辉英 中国 科学 院 上海 冶金 研究 所 , 周 庆初 上海 摘要 iN 衬底用 粉末包装法先扩散 lA 再扩散 C r 时 , 在 lA 一 rC 扩散层 内产 生 了 孔穴 . 它形 成的 原因 是: 活 化剂 N H 4 CI 加热分解 时生成 H CI 气体 , 与 已 形成扩散层 中的 lA 作用 , 使其从扩散层 中逃逸 , 而在原来 A l 的位 置上 产生了 孔穴 . 含有孔 穴的 lA 一 C r 扩散层的 抗氧化能力明显降低 . 关健词 卤化物活 化剂 , A I 一 C r 扩散层 , 孔穴 过 去 由于 对扩 散层 内的缺 陷结构 和形 成机 制 研究 较少 , 往 往提 出一 些相 互矛盾 的看 法 和假 设 . 例 如 , G u p at 和 eS igl e 〔’ 〕用N al 作 活化 剂 在 N i 上扩 散 A l 时 , 认 为孔 的产生是 尚未 知 道 的 独 特 反应 所 致 . iP ch io lrz ]在N i 及 其合 金上 用低 活 度 法扩 散 A I 时 , 发现 N IA I 化合 物界 面 的孔上 由柯肯达 尔效 应所 致 . G ie b R ap 尹]用 低 活度法 在合 金 钢 上扩 散lA 一 cr 时 , 认为 在 样 品附 近 A I 和 c r 消耗 殆 尽 , 致使 扩 散层 内 A I 和 C r 的反 向扩 散 而 形成 孔穴 . uK ng 和 R ap p .l] 在研 究 铁上 扩散 lA 时 , 认为 lA 扩 散层 往外 生 长 , 由于 衬底 材料 内空位 的偏 聚 , 而 导致 孔穴 的生 成 . 作 者 5[] 在 研 究 iN 上 扩散 lA 一 C r 时 , 观 察到 扩散层 内的孔穴 , 并使 扩散层 的氧 化性 能降 低 . 研 究 扩散 层 内 缺陷 结构 的 形成 机 制 , 调 整 扩 散源 中活化剂 的类 型和 含 量 以 及变 更扩 散 元 素的 比例 , 将有 助 于获得 高 质量 的保 护层 . 1 实 验方法 用 N i 板加 工 成 巧 m m x 10 m m x 3 m m 的 试样 , 表 面 粗糙 度 为 甲 8 . 实验 前 用有 机溶 剂 脱 脂 . 扩散 源 内 的物 质是 : 60 % 〔59 % lA 一 eF 粉 或 Cr 粉 ] + 40 % 惰性 粉 末 . 按 要求 加人 N H ,lC 或 N H砰及 N a 3 A IF 。 , 加 人量 为 上述 物质 的 2 % · 试样包 埋在 扩散 源 内 , 然后将 其置 于 低压 环境 中 , 在 高温 炉 内进行 扩散 . 高温 氧 化 实验在 热重 天平 上进行 . 2 实验 结果 .2 1 孔穴 形貌 图 1 (a) 是N i 试样 用 二 步法 以 N H 4 CI 作 活 化剂 时 , A I 一 C r 扩 散层 内孔穴 的二 次电子像 形 貌 . 可 见 在 扩 散 层 内存 在 着 不 同几 何 形 状 和 尺 寸 的孔 穴 , 扩 散层 外 侧 的孔 穴数 量 较多 , 19 9 6 一 01 一 22 收稿 第一 作者 男 6 0 岁 研 究 员 * 冶金部腐蚀一磨蚀与 表面 技术开放研究实验室 资助 DOI: 10. 13374 /j . issn1001 -053x. 1996. s2. 009

清性基到塞金置害情作 黄麓 变化3【箭散肉青晨的 (1】活化剂 C撞多度酒I 前痕腻加情美面包能覆莓

第 18 卷 增 刊 1 9 9 6年 1 0月 北 京 科 技 大 学 学 报 J o u r n a l o f U n i v e r s iyt o f S e i e n e e a n d T e e h n o l o yg B e i jni g V o l . 1 8 o e t . 19 9 6 活化剂 对 A I 一 c : 扩散层 中孔 穴形成 的影 响 ’ 曹铁梁 耿伟 民 倪政瑜 潘辉英 中国 科学 院 上海 冶金 研究 所 , 周 庆初 上海 摘要 iN 衬底用 粉末包装法先扩散 lA 再扩散 C r 时 , 在 lA 一 rC 扩散层 内产 生 了 孔穴 . 它形 成的 原因 是: 活 化剂 N H 4 CI 加热分解 时生成 H CI 气体 , 与 已 形成扩散层 中的 lA 作用 , 使其从扩散层 中逃逸 , 而在原来 A l 的位 置上 产生了 孔穴 . 含有孔 穴的 lA 一 C r 扩散层的 抗氧化能力明显降低 . 关健词 卤化物活 化剂 , A I 一 C r 扩散层 , 孔穴 过 去 由于 对扩 散层 内的缺 陷结构 和形 成机 制 研究 较少 , 往 往提 出一 些相 互矛盾 的看 法 和假 设 . 例 如 , G u p at 和 eS igl e 〔’ 〕用N al 作 活化 剂 在 N i 上扩 散 A l 时 , 认 为孔 的产生是 尚未 知 道 的 独 特 反应 所 致 . iP ch io lrz ]在N i 及 其合 金上 用低 活 度 法扩 散 A I 时 , 发现 N IA I 化合 物界 面 的孔上 由柯肯达 尔效 应所 致 . G ie b R ap 尹]用 低 活度法 在合 金 钢 上扩 散lA 一 cr 时 , 认为 在 样 品附 近 A I 和 c r 消耗 殆 尽 , 致使 扩 散层 内 A I 和 C r 的反 向扩 散 而 形成 孔穴 . uK ng 和 R ap p .l] 在研 究 铁上 扩散 lA 时 , 认为 lA 扩 散层 往外 生 长 , 由于 衬底 材料 内空位 的偏 聚 , 而 导致 孔穴 的生 成 . 作 者 5[] 在 研 究 iN 上 扩散 lA 一 C r 时 , 观 察到 扩散层 内的孔穴 , 并使 扩散层 的氧 化性 能降 低 . 研 究 扩散 层 内 缺陷 结构 的 形成 机 制 , 调 整 扩 散源 中活化剂 的类 型和 含 量 以 及变 更扩 散 元 素的 比例 , 将有 助 于获得 高 质量 的保 护层 . 1 实 验方法 用 N i 板加 工 成 巧 m m x 10 m m x 3 m m 的 试样 , 表 面 粗糙 度 为 甲 8 . 实验 前 用有 机溶 剂 脱 脂 . 扩散 源 内 的物 质是 : 60 % 〔59 % lA 一 eF 粉 或 Cr 粉 ] + 40 % 惰性 粉 末 . 按 要求 加人 N H ,lC 或 N H砰及 N a 3 A IF 。 , 加 人量 为 上述 物质 的 2 % · 试样包 埋在 扩散 源 内 , 然后将 其置 于 低压 环境 中 , 在 高温 炉 内进行 扩散 . 高温 氧 化 实验在 热重 天平 上进行 . 2 实验 结果 .2 1 孔穴 形貌 图 1 (a) 是N i 试样 用 二 步法 以 N H 4 CI 作 活 化剂 时 , A I 一 C r 扩 散层 内孔穴 的二 次电子像 形 貌 . 可 见 在 扩 散 层 内存 在 着 不 同几 何 形 状 和 尺 寸 的孔 穴 , 扩 散层 外 侧 的孔 穴数 量 较多 , 19 9 6 一 01 一 22 收稿 第一 作者 男 6 0 岁 研 究 员 * 冶金部腐蚀一磨蚀与 表面 技术开放研究实验室 资助

·44· 北京科技大学学报 1996年 NH,CI(s)=NH,(g)+HCI(g) (1) NHl分解形成的H和Na,AIF,分解形成的NaF和AlF,与HCl有类似的作用. (2)A13+和Cr2+ 在1273K扩散AI时,HC1与A1-Fe粉按(2)式反应,产生AP+: 2HCl(g)+2/3AI(s)=2/3AIC1,(g)+H,(g) (2) 应该指出的是,扩散源内有亚铝离子(A12+)存在,但仍以A13+为主 在1323K扩散Cr时,HC1气体与Cr按(3)式反应: 2HCI(g)+Cr(s)=CrCL(g)+H,(g) (3) 含有AI3+和C+的载体在衬底表面催化作用下,提供了活性的A1和Cr原子,它们优先 吸附在衬底材料表面缺陷浓度较大的微区内, 与衬底反应,而后形成扩散层 3.2孔穴的形成 T:1273K (1)现象 A1-Cr扩散层 6 X-射线衍射分析表明,Ni表面上的AI 扩散层由外侧的NiAl和内侧的Ni,AI构成.在 1323K,A1扩散层与活化剂分解生成的HC1作 Cr扩散层 用时,A1扩散层试样表现为失重,外侧相对 于内侧的孔穴数量较多.同时也观察到C块 上有A1的覆盖.对扩散层截面进行探针扫描 A1扩散层 分析,结果示于图1(b)和(c)中,可见在扩散 Cr-A1扩散层 Cr时,扩散层内的A1的浓度降低,与扫描电 0 020 406080100 镜分析的结果相同. t/h Cr扩散时由于扩散源内无AI粉,而它与 图2不同扩散层的氧化动力学曲线 HCI的化学亲和力比Cr大,所以只能消耗扩 散层内的Al,即发生Al从扩散层内逃逸现象 或者说Al从NiA1和Ni,Al相中脱溶,而使扩散层内产生了孔穴. (2)热力学依据 在扩散源内A1和Cr共同存在时,它们与HCI就可能存在哪一过程优先反应的问题.由 于实验是在恒温和低压体系中进行的,可用平衡常数(K)代替逸度).利用化学反应中已有 的H和S数据,算出吉布斯自由能和平衡常数,用于判断反应式(2)和(3)的先后次序 1323K扩散Cr时,反应式(2)的吉布斯自由能和平衡常数为:GAc,=-159.20kJ1mo KAc=1.83×10.而反应式(3)的吉布斯自由能和平衡常数为:GC,= -75.98kJ/mo:KcC,=9.73×102.可见GA,<Gc,形成AICI,的优势比CrCl,大,这 与Bianco R的结果是一致的. 当AI扩散层再扩散Cr时,由于扩散源内无Al粉,所以只能消耗扩散层内的AI,最可能 以AICl,形式从扩散层内逃逸.KpAC,~Kx'表示反应(2)比(3)进行的程度大,HCI易与 AI作用,生成更多的AICL,由于这个原因,扩散层内的A1外逸较彻底,使扩散层内A1的 贫化相当严重.另外,衬底材料在微观成分和结构上的不均匀性,在表面缺陷较大的部位

· 科 · 北 京 科 技 大 学 学 报 1 9 9 6年 N H ; C I ( s ) = N H 3 (g ) + H C I( g ) ( l ) N H 4 I分 解形 成 的H l 和 N a 3A IF 6分解 形 成 的N Fa 和 A FI 3 , 与 H CI 有类 似 的作 用 . ( 2 ) A 1 3 + 和 C 尸 + 在 12 7 3 K 扩 散 A I 时 , H CI 与A l 一 F e 粉 按 (2) 式 反应 , 产生 A 1 3 + : ZH C I( g ) + 2 / 3 A I( s ) = 2 / 3 A IC 1 3 ( g ) + H Z ( g ) (2 ) 应该指 出的是 , 扩散 源 内有 亚铝 离子 (A 1 2 + )存在 , 但仍以 lA ’ + 为主 . 在 13 2 3 K 扩散 C r 时 , H C I 气 体与 C r 按 ( 3 ) 式 反应 : Z H C I ( g ) + C r ( s ) = C ` 1 2 ( g ) + H Z ( g ) ( 3 ) 含有 A 13 + 和 C 尸 + 的载 体在 衬 底表 面催 化作 用下 , 提 供 了活性 的 A I 和 C r 原子 , 它 们优先 吸 附在 衬底 材 料 表 面 缺 陷浓 度 较 大 的微 区 内 , 与衬底反 应 , 而 后形 成扩 散 层 . 8 r 3 . 2 于L穴 的 游顾 { T : 12 7 3 K 飞侧聊/ 。如日 ( l ) 现象 X 一 射 线衍 射 分 析 表 明 , iN 表 面上 的 lA 扩散 层 由外 侧 的 NI AI 和 内侧 的iN 3 AI 构 成 . 在 l犯3 K , A l 扩 散层 与活化 剂 分解 生成 的 H CI 作 用 时 , A I 扩 散层 试样 表 现 为 失 重 , 外 侧相 对 于 内侧 的 孔 穴 数 量 较 多 . 同时 也 观 察 到 C r 块 上 有 A l 的覆 盖 . 对 扩 散 层 截 面 进 行 探 针 扫 描 分 析 , 结 果 示 于 图 l( b) 和 (c) 中 . 可 见 在 扩 散 C r 时 , 扩散 层 内的 A I 的浓 度 降 低 , 与 扫描 电 镜分 析 的结果 相 同 . C r 扩散 时 由于 扩散 源 内无 A I 粉 , 而它 与 H CI 的化 学 亲 和 力 比 C r 大 , 所 以 只 能 消 耗 扩 散层 内的A l , 即 发生 A l 从 扩 散层 内逃 逸现 象 . A I 一 C r扩散层 C r扩散 层 A I 扩散层 2 0 4 0 C r 一 - - - - 益 A - - I扩- - 一散层- 二 6 0 8 0 t / h 图2 不同扩散层的氧化动 力学曲线 或 者说 lA 从 NI A I 和 iN 3A I 相 中脱 溶 , 而使 扩 散层 内产 生 了 孔穴 . (2 ) 热力 学依 据 在 扩散 源 内A l 和 C r 共 同 存在 时 , 它 们 与 H CI 就 可 能存 在 哪一 过程 优先 反 应 的 问题 . 由 于实验 是在 恒 温和低 压体 系 中进 行 的 , 可用 平衡 常数 (凡)代替 逸度 帅 . 利 用化 学反 应 中 已有 的尸和夕数 据 , 算 出吉布 斯 自由能和 平衡 常数 , 用于判 断反 应式 ( 2) 和 ( 3) 的先后 次序 . 13 2 3 K 扩 散 C r 时 , 反应 式 ( 2 ) 的吉 布斯 自由能和 平衡 常数为 : G ^ ,e , 3 一 1 5 9 2 0 k J / m o l: 凡lA cl 3 一 .18 3 ` 10 ` · 而 反 应 式 (3) 的 吉 布 斯 自 由能 和 平 衡 常 数 为 : G c cr l , - 一 7 5 · 9 8 k J / m o l: 权 cr . , 一 9 · 7 3 x 10 , · 可见 G A le . 飞 < G C汇 1 2 , 形 成 A IC I , 的优 势 比 C汇 1 2大 , 这 与 B ian c 0 R e[] 的结果 是 一致 的 . 当A I扩散 层 再扩 散 C r 时 , 由 于 扩 散源 内无 A l 粉 , 所 以 只 能 消 耗扩 散层 内的A I , 最 可 能 以 lA cal 形式 从扩 散层 内逃 逸 · ha cl l 飞 》 权 cr 1 2 , 表示 反应 (2 ) 比 (3 ) 进行 的程 度大 , H CI 易 与 lA 作 用 , 生成 更多 的AI 1C 3 . 由于这 个 原 因 , 扩 散层 内的 lA 外逸 较 彻底 , 使 扩散层 内 lA 的 贫 化相 当严 重 . 另 外 , 衬底 材 料在 微 观 成 分 和结 构 上 的不 均 匀性 , 在 表 面缺 陷较 大 的部 位

Vol.18 曹铁梁等:活化剂对A-Cr扩散层中孔穴形成的影响 ·45· 优先与HC1气体作用.尤其是扩散层内的柱状晶品界粗大,其隧道效应更为显著,HC1气 体易在晶界渗透到内部而产生沿晶的长条状穴洞, 3.3氧化 二步法形成的A】-Cr扩散层比Cr-Al层、单独的Cr和AI的扩散层的抗氧化性能都差. 除由于扩散层内的严重贫化,无法生成保护性良好的A1氧化膜外,孔穴的存在是A1-C 扩散层的抗氧化性能下降的重要原因.分析结果表明、扩散层内氧的峰值比其他3种扩散 层内的都要高,这也标志着在扩散层外部和内部都发生了氧化过程,孔六助长了氧的迁移, 从而使AI-Cr保护层氧化失效. 4结论 (1)二步法产生的A1-Cr扩散层,其内部形成孔穴的机制是:HCI气体与扩散层内的 AI优先反应,使Al从扩散层内逃逸.或者说A!原子重新从NiAI和Ni,A1相中脱溶是孔穴 形成的重要原因 (2)A1-Cr扩散层的抗氧化能力降低的重要原因是孔穴的存在和A1的严重贫化. 参考文献 1 Gupta B K,Seigle LL.Thin Solid Films,1980,73:365 2 Pichoir R.Materials and Coatings to Resist High-Temperature Corrosion,1978,217 3 Geib F D,Rapp R A.Oxid Met,1993,40(3/4):273 4 Kung S C,Rapp R A.J Electrochem Soc,1988,135(3):731 5褚虎儿,曹铁梁,石声泰.中国腐蚀与防护学报,1987,7(2):77 6 Bianco R,Rapp R A,Jacobson N S.Oxidation of Metals,1992,38(1/2):33 Influence of Activators on Formation of Voids in Aluminum-Chromium Diffusion Coatings Cao Tieliang Geng Weimin Ni Zhengyu Zhou Qingchu Pan Huiying Shanghai Institute of Metallurgy,Chinese Academy of Science,Shanghai ABSTRACT Aluminum-chromium diffusion coatings on pure nickel substrate were formed by two-step pack cementation process.It was found that existed many voids in the coatings which were formed by first aluminizing and then chromizing.It could be understood that aluminum in the coatings reacted with HCI gas decomposed from activa- tor NH4Cl and formed ACl3,which evaporated and resulted in formation of the voids. Oxidation resistance of Al-Cr coating with these voids was reduced signigicantly. KEY WORDS halide activator,Al-Cr diffusion coatings,voids

V o l . 1 8 曹铁梁等: 活 化剂对A I 一 C r 扩散层中孔穴形成 的影 响 优 先 与 H C I 气 体 作 用 . 尤 其是 扩 散层 内的 柱 状 晶晶 界粗 大 , 其隧 道效 应 更 为显 著 , H CI 气 体易 在 晶界 渗透 到 内部 而产 生沿 晶的 长条 状穴 洞 . 3 . 3 氧 化 二 步法 形 成 的A l 一 C r 扩散层 比 C r 一 A l 层 、 单独的 C r 和 A l 的扩散层 的抗 氧化 性能 都差 . 除 由于 扩散 层 内的 严重 贫 化 , 无法 生 成保护 性 良好 的 lA 氧化 膜外 , 孔 穴 的存在是 lA 一 C r 扩 散层 的抗 氧 化性 能下 降 的重 要 原 因 . 分 析 结果 表 明 , 扩 散层 内氧 的峰 值 比其他 3 种扩 散 层 内的都要 高 , 这 也标 志 着在 扩散层 外 部 和 内部 都 发生 了 氧化 过程 , 孔穴 助长 了 氧 的迁 移 , 从 而使 A l 一 C : 保 护 层氧化 失效 . 4 结论 ( l) 二 步 法产 生 的 A l 一 C : 扩 散层 , 其 内部 形成 孔穴 的机 制是 : H CI 气 体 与扩散层 内的 lA 优先反 应 , 使 lA 从 扩散 层 内逃逸 . 或者 说 lA 原子 重新从 NI AI 和 iN 3 AI 相 中脱溶 是孔穴 形 成的 重要 原 因 . (2 ) A l 一 C r 扩 散 层 的抗 氧化 能 力降低 的重 要 原 因是 孔 穴 的存在 和A l 的 严重贫 化 . 参 考 文 献 1 G uP at B K , S e ig l e L L . T h i n S o lid F i ln s , 1 9 8 0 , 7 3 : 3 6 5 2 P i e h o ir R . M a t e ir a l s a n d C o a ti n g s t o R e s i s t H ig h 一 T e m P e ar trU e C o mr s i o n , 1 9 7 8 , 2 1 7 3 G e ib F D , R a p p R A . O x id M e t , 1 9 9 3 , 4 0 ( 3 / 4 ) : 2 7 3 4 K u n g S C , R a P P R A . J E l e e otr e h e m S o e , 19 8 8 , 13 5 ( 3 ) : 7 3 1 5 褚 虎儿 , 曹 铁梁 , 石 声 泰 . 中国 腐蚀 与防护学报 , 1 9 8 7 , 7 ( 2) : 7 6 B i a n e o R , R ap P R A , J a e o b s o n N 5 . O x id a ti o n o f M e t a l s , 19 9 2 , 3 8 ( l / 2 ) : 3 3 I n fl u e n c e o f A e t i v a t o r s o n F o r l n a t i o n o f V o i d s i n A l u m i n u m 一 C hr o m i u m D i of s i o n C o a t i n g s aC o iT e l i a n g S h a n g h a i G e n g 肠i m i n iN hZ e n 岁 u hZ o u Q i n gc h u aP n H 血沙i n g I n s t i t u t e o f M e t a l l u r g y , C h i n e s e A e a d e m y o f S c i e n e e , S h a n g h a i A B S T R A C T A l u m i n u m 一 e h r o m i u m d i fu s i o n c o a t i n g s o n P u r e n i e k e l s u b s tr a t e w e r e fo rm e d b y tw o 一 s t e P P a e k e e m e n t a t i o n P r o e e s s . It w a s fo u n d th a t e x i s t e d m a n y v o i d s i n ht e e o a t i n g s w h i e h w e r e fo rm e d b y if r s t a l u m i n i z i n g a n d t h e n e h r o m i z i n g . It e o u l d b e u n d e r s t o o d th a t a l u m i n u m i n ht e c o a t i n g s r e a e t e d w i t h H C I g a s d e e o m P o s e d fr o m a c t i v a - t o r N H ; C I a n d fo rm e d A C 1 3 , w h i c h e v a P o r a t e d a n d r e s u l t e d i n fo mr a ti o n o f ht e v o i d s . O x i d a t i o n r e s i s t a n e e o f A I 一 C r e o a t i n g w i t h t h e s e v o id s w a s r e d u e e d s ig n ig i e a n t ly . K E Y W O R D S h a l ld e a e t l v a to r , A I 一 C r d i fu s i o n c o a t i n g s , v o i d s

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