《半导体光电子学》教学大纲 说明:“开课时间”一栏选填:春季、秋季、春季/狱季,“授课对象”一栏选填:硕士、博 士、硕士博士,红色标记的为需重点阑述内容。 课程编号:0508036003 课程名称:半导体光电子学 学时数:40学分:2 开课时间:秋季 开课学院:光电科学与工程学院 授课对象:硕士 先修课程:量子力学、统计物理、固体物理、半导体物理 一、教学目的 本课程教学,将介绍光和物质相互作用的基本理论、典型的半导体光电子器件的工作原 理、器件结构、器件特性及其基本工艺,研讨主要半导体器件的新发展与应用。使学生了解 光学与光电子学科发展的新技术和方法,重点了解相关物理概念、掌握基本理论的应用实例。 为进一步学习后继课程,创造性地研究、开发和制备各种半导体光电子器件打下专业物理基 础。 二、教学内容与要求(包括总学时、章节内容的学时分配说明,各章节中应了解 或掌握内容的细化描述,难点与重点说明;课程设计或作业安排的内容与次数要 求、工程实验要求等) 第一章:半导体物理基础(4学时) 1本章教学内容:(1)半导体的晶体结构(0.5学时)(2)半导体的能带结构和布里渊区 (0.5学时)(3)有效质量近似(0.5学时)(4)态密度理论(0.5学时)(5)研讨(2学时)。 2本章教学要求:通过本章课程的学习,要求学生理解导带、价带、能量带隙和布里渊 区的概念及形成的原理:掌握晶体的特征、空间点阵、半导体的化合物,有效质量近似基本 关系,能量空间和动量空间态密度表达式。 3本章教学重点:(1)半导体的晶体结构(2)直接带隙材料和间接带隙材料的特点(3) 半导体材料中有效质量的物理意义(4)体半导体材料态密度曲线。 4本章教学难点:(1)晶体结构的数学描述(2)k空间的能带图(3)有效质量计算关 系(4)态密度表达式数学推导。 本章研讨主题:直接带隙和间接带隙材料 第二章:半导体中的结理论(3学时) 1本章教学内容:(1)引言(0.5学时)(2)晶格匹配与晶格失配(0.5学时)(3)异质 结制备工艺(1学时)(4)超晶格与量子阱(1学时)。 2本章教学要求:通过本章课程的学习,要求学生了解LPE、MBE、MO-CVD异质结制 备工艺:掌握PN结、肖特基势垒与欧姆接触、半导体异质结基本结构与特性,晶格匹配与 晶格失配材料特点,超晶格与量子井的概念。 3本章教学重点:(1)半导体异质结基本结构与特性(2)常见半导体化合物的晶格参 数(3)LPE、MBE、MO-CVD各自的优势与应用范围(4)超晶格与量子井在半导体器件中 的应用。 4本章教学难点:(1)异质结的能带图(2)能量带隙的近似计算方法(3)超晶格与量 子井物理机制
《半导体光电子学》教学大纲 说明:“开课时间”一栏选填:春季、秋季、春季/秋季;“授课对象”一栏选填:硕士、博 士、硕士/博士;红色标记的为需重点阐述内容。 课程编号:0508036003 课程名称:半导体光电子学 学时数:40 学分:2 开课时间:秋季 开课学院:光电科学与工程学院 授课对象:硕士 先修课程:量子力学、统计物理、固体物理、半导体物理 一、教学目的 本课程教学,将介绍光和物质相互作用的基本理论、典型的半导体光电子器件的工作原 理、器件结构、器件特性及其基本工艺,研讨主要半导体器件的新发展与应用。使学生了解 光学与光电子学科发展的新技术和方法,重点了解相关物理概念、掌握基本理论的应用实例。 为进一步学习后继课程,创造性地研究、开发和制备各种半导体光电子器件打下专业物理基 础。 二、教学内容与要求(包括总学时、章节内容的学时分配说明,各章节中应了解 或掌握内容的细化描述,难点与重点说明;课程设计或作业安排的内容与次数要 求、工程实验要求等) 第一章:半导体物理基础(4 学时) 1 本章教学内容:(1)半导体的晶体结构(0.5 学时)(2)半导体的能带结构和布里渊区 (0.5 学时)(3)有效质量近似(0.5 学时)(4)态密度理论(0.5 学时)(5)研讨(2 学时)。 2 本章教学要求:通过本章课程的学习,要求学生理解导带、价带、能量带隙和布里渊 区的概念及形成的原理;掌握晶体的特征、空间点阵、半导体的化合物,有效质量近似基本 关系,能量空间和动量空间态密度表达式。 3 本章教学重点:(1)半导体的晶体结构(2)直接带隙材料和间接带隙材料的特点(3) 半导体材料中有效质量的物理意义(4)体半导体材料态密度曲线。 4 本章教学难点:(1)晶体结构的数学描述(2)k 空间的能带图(3)有效质量计算关 系(4)态密度表达式数学推导。 本章研讨主题:直接带隙和间接带隙材料 第二章:半导体中的结理论(3 学时) 1 本章教学内容:(1) 引言(0.5 学时) (2) 晶格匹配与晶格失配(0.5 学时)(3) 异质 结制备工艺(1 学时)(4) 超晶格与量子阱(1 学时)。 2 本章教学要求:通过本章课程的学习,要求学生了解 LPE、MBE、MO-CVD 异质结制 备工艺;掌握 P-N 结、肖特基势垒与欧姆接触、半导体异质结基本结构与特性,晶格匹配与 晶格失配材料特点,超晶格与量子井的概念。 3 本章教学重点:(1)半导体异质结基本结构与特性(2)常见半导体化合物的晶格参 数(3)LPE、MBE、MO-CVD 各自的优势与应用范围(4)超晶格与量子井在半导体器件中 的应用。 4 本章教学难点:(1)异质结的能带图(2)能量带隙的近似计算方法(3)超晶格与量 子井物理机制
第三章:半导体中的光现象(6学时) 1本章教学内容:(1)半导体中的光吸收(1学时)(2)Einstein光辐射(1学时)(3)半 导体中的光折射(2学时)(4)研讨(2学时)。 2本章教学要求:通过本章课程的学习,要求学生理解各种光吸收过程主要是电子跃迁 的吸收:掌握自发辐射、受激辐射、受激吸收的物理过程以及准费米能级,Kramers-Kronig关 系。 3本章教学重点:(1)带间直接跃迁的光吸收、带间间接跃迁的光吸收、激子吸收物理 过程(2)自发跃迁与受激跃迁之间的关系,直接带隙材料的增益谱和自发辐射谱(3)各种 参量对折射率的影响,复折射率的实部与虚部的相关性。 4本章教学难点:(1)Einstein的A、B系数的推导(2)折射率随吸收系数变化的数 学表达式。 本章研讨主题:分析折射率、吸收系数、衰减常数在光学元件的设计、光通信系统的设 计、集成光学中介质光波导的设计中的实际应用。 第四章:半导体二极管的物理机制(7学时) 1本章教学内容:(1)半导体中载流子的输运理论(1学时)(2)p结注入特性的理论 基础(2学时)(3)常用二极管结构及特性分析(2学时)(4)研讨(2学时)。 2本章教学要求:通过本章课程的学习,要求学生掌握半导体载流子产生和复合的动力 学过程,各种偏置下p的特性,常用二极管结构。 3本章教学重点:(1)半导体二极管形成的物理机制(2)各种偏置下p用途(3)不 同结构二极管特性及用途 4本章教学难点:(1)连续性方程、传输方程、电中性条件(2)电子亲和势和功函数。 本章研讨主题:半导体二极管在光电子器件中的作用。 第五章:半导体发光二极管(5学时) 1本章教学内容:(1)LEDs辐射复合机制(0.5学时)(2)直接带隙材料和间接带隙材 料(1学时)(0.5)(3)LEDs的工作原理和结构特性(2学时)(4)研讨(2学时)。 2本章教学要求:通过本章课程的学习,要求学生掌握半导体材料的复合机制,直接带 隙材料和间接带隙材料的性质,LEDs的工作原理。 3本章教学重点:(1)LEDs辐射原理(2)直接带隙材料和间接带隙材料的辐射机理 (3)LEDs的效率和结构特性。 4本章教学难点:(1)半导体中载流子复合机理(2)直接带隙材料和间接带隙材料的 辐射理论(3)自发辐射理论。 第六章:半导体激光器(5学时) 1本章教学内容:(1)半导体激光器的工作原理和基本结构(1学时)(2)半导体激光 器的应用(1学时)(3)研讨(2学时)。 2本章教学要求:通过本章课程的学习,要求学生了解各种半导体激光器的应用现状: 掌握各种半导体激光器的工作原理和结构。 3本章教学重点:(1)掌握同质结、单异质结、双异质结、分布反馈、耦合腔、量子阱、 量子点、量子级联、垂直腔面发射等半导体激光器的基本工作原理和结构。(2)各种半导体 激光器在不同场合的应用情况(3)半导体激光器的新发展。 4本章教学难点:结构变化对半导体激光器特性的影响
第三章:半导体中的光现象(6 学时) 1 本章教学内容:(1) 半导体中的光吸收(1 学时)(2) Einstein 光辐射(1 学时)(3) 半 导体中的光折射(2 学时)(4)研讨(2 学时)。 2 本章教学要求:通过本章课程的学习,要求学生理解各种光吸收过程主要是电子跃迁 的吸收;掌握自发辐射、受激辐射、受激吸收的物理过程以及准费米能级,Kramers-Kronig 关 系。 3 本章教学重点:(1)带间直接跃迁的光吸收、带间间接跃迁的光吸收、激子吸收物理 过程(2)自发跃迁与受激跃迁之间的关系,直接带隙材料的增益谱和自发辐射谱(3)各种 参量对折射率的影响,复折射率的实部与虚部的相关性。 4 本章教学难点:(1)Einstein 的 A、B 系数的推导(2)折射率随吸收系数变化的数 学表达式。 本章研讨主题:分析折射率、吸收系数、衰减常数在光学元件的设计、光通信系统的设 计、集成光学中介质光波导的设计中的实际应用。 第四章:半导体二极管的物理机制(7 学时) 1 本章教学内容:(1) 半导体中载流子的输运理论(1 学时)(2) pn 结注入特性的理论 基础(2 学时) (3) 常用二极管结构及特性分析(2 学时)(4)研讨(2 学时)。 2 本章教学要求:通过本章课程的学习,要求学生掌握半导体载流子产生和复合的动力 学过程,各种偏置下 pn 的特性,常用二极管结构。 3 本章教学重点:(1)半导体二极管形成的物理机制(2)各种偏置下 pn 用途(3)不 同结构二极管特性及用途 4 本章教学难点:(1)连续性方程、传输方程、电中性条件(2)电子亲和势和功函数。 本章研讨主题:半导体二极管在光电子器件中的作用。 第五章:半导体发光二极管(5 学时) 1 本章教学内容:(1) LEDs 辐射复合机制(0.5 学时) (2) 直接带隙材料和间接带隙材 料(1 学时)(0.5) (3) LEDs 的工作原理和结构特性 (2 学时)(4)研讨(2 学时)。 2 本章教学要求:通过本章课程的学习,要求学生掌握半导体材料的复合机制,直接带 隙材料和间接带隙材料的性质,LEDs 的工作原理。 3 本章教学重点:(1)LEDs 辐射原理(2)直接带隙材料和间接带隙材料的辐射机理 (3)LEDs 的效率和结构特性。 4 本章教学难点:(1)半导体中载流子复合机理(2)直接带隙材料和间接带隙材料的 辐射理论(3)自发辐射理论。 第六章:半导体激光器 (5 学时) 1 本章教学内容:(1) 半导体激光器的工作原理和基本结构(1 学时) (2) 半导体激光 器的应用(1 学时)(3) 研讨(2 学时)。 2 本章教学要求:通过本章课程的学习,要求学生了解各种半导体激光器的应用现状; 掌握各种半导体激光器的工作原理和结构。 3 本章教学重点:(1)掌握同质结、单异质结、双异质结、分布反馈、耦合腔、量子阱、 量子点、量子级联、垂直腔面发射等半导体激光器的基本工作原理和结构。(2)各种半导体 激光器在不同场合的应用情况(3)半导体激光器的新发展。 4 本章教学难点:结构变化对半导体激光器特性的影响
本章研讨主题:半导体激光器的新发展。 第七章:半导体光电探测器(5学时) 1本章教学内容:(1)半导体光电探测器基本原理(1学时)(2)结型光电二极管和雪 崩光电二极管的结构与特性(1学时)(3)电荷耦合器件(CCD)(1学时)(4)研讨(2学 时)。 2本章教学要求:通过本章课程的学习,要求学生理解各种半导体光电探测器基本原理: 掌握结型光电二极管和雪崩光电二极管的结构,CCD的工作原理。 3本章教学重点:(1)光电二极管各种参数(2)CCD的广泛应用(3)先进的光探测 技术。 4本章教学难点:噪声和增益带宽的特性。 本章研讨主题:先进的光探测技术。 第八章:半导体光调制器(5学时) 1本章教学内容:(1)半导体电光调制器的机理(2学时)(2)半导体电光调制器的制 备工艺(0.5学时)(3)半导体电光调制器的应用(0.5学时)(4)研讨(2学时)。 2本章教学要求:通过本章课程的学习,要求学生了解各种半导体电光调制器的制备工 艺:掌握半导体电光调制器的种类和工作原理。 3本章教学重点:(1)产生电吸收的机理(2)M-Z型半导体调制器工作原理及特性(3) 半导体电光调制器的新发展。 4本章教学难点:在外加电场的作用下自由载流子的运动规律。 本章研讨主题:半导体电光调制器的新发展。 三、教学方式(尤其是研讨式小班教学与研讨的设计、学业评价方式与依据等) 《半导体光电子学》探究式小班教学的授课团队分为授课组和助教组。授课组包括刘爽、 陆荣国老师,助教组包括学生助教。课程的实施过程如下:1首先构建基础,解决好基本知 识点的传授。这一过程由授课组负责。2在传授完知识点后,就是最关键的部分一一分析讨 论阶段。课程采用分组讨论的方式,将整个班级分为几个小组。教师会在每章课程开始时给 学生一个讨论的主题,要求学生在课下搜集整理分析相关资料并制作PPT,然后由授课组老 师带领学生开展研究讨论。学生是讨论的主体,教师只是在重要方向以及疑难问题上给予指 引和解答,教师可以从学生的讨论过程中检测学生学习相关知识的基础情况、深度以及广度, 并及时给予补充和纠正,学生之间激烈的学生讨论不但营造了良好的教学环境,而且很大程 度上激发了学生的学习兴趣。3由助教组建立课程QQ群,在课余解决学生的疑问,让研讨 在课后得到延续。 学生的学业评价由三大部分组成: 1期末考试(50%) 侧重考核学生对基础知识的掌握程度,评估学生运用所学知识分析解决问题的能力。 2“探究”教学过程考核(50%) 侧重考查学生上课参与与互动“研究”的程度。包括观点陈述比较、问题理解能力、语 言表达能力和精神状态等,采用现场考核,随堂打分记录的方式
本章研讨主题:半导体激光器的新发展。 第七章:半导体光电探测器 (5 学时) 1 本章教学内容:(1) 半导体光电探测器基本原理(1 学时) (2) 结型光电二极管和雪 崩光电二极管的结构与特性(1 学时)(3) 电荷耦合器件(CCD)(1 学时)(4)研讨(2 学 时)。 2 本章教学要求:通过本章课程的学习,要求学生理解各种半导体光电探测器基本原理; 掌握结型光电二极管和雪崩光电二极管的结构,CCD 的工作原理。 3 本章教学重点:(1)光电二极管各种参数(2)CCD 的广泛应用(3)先进的光探测 技术。 4 本章教学难点:噪声和增益带宽的特性。 本章研讨主题:先进的光探测技术。 第八章:半导体光调制器 (5 学时) 1 本章教学内容:(1) 半导体电光调制器的机理(2 学时) (2) 半导体电光调制器的制 备工艺(0.5 学时) (3) 半导体电光调制器的应用(0.5 学时) (4)研讨(2 学时)。 2 本章教学要求:通过本章课程的学习,要求学生了解各种半导体电光调制器的制备工 艺;掌握半导体电光调制器的种类和工作原理。 3 本章教学重点:(1)产生电吸收的机理(2)M-Z 型半导体调制器工作原理及特性(3) 半导体电光调制器的新发展。 4 本章教学难点:在外加电场的作用下自由载流子的运动规律。 本章研讨主题:半导体电光调制器的新发展。 三、教学方式(尤其是研讨式小班教学与研讨的设计、学业评价方式与依据等) 《半导体光电子学》探究式小班教学的授课团队分为授课组和助教组。授课组包括刘爽、 陆荣国老师,助教组包括学生助教。课程的实施过程如下:1 首先构建基础,解决好基本知 识点的传授。这一过程由授课组负责。2 在传授完知识点后,就是最关键的部分——分析讨 论阶段。课程采用分组讨论的方式,将整个班级分为几个小组。教师会在每章课程开始时给 学生一个讨论的主题,要求学生在课下搜集整理分析相关资料并制作 PPT,然后由授课组老 师带领学生开展研究讨论。学生是讨论的主体,教师只是在重要方向以及疑难问题上给予指 引和解答,教师可以从学生的讨论过程中检测学生学习相关知识的基础情况、深度以及广度, 并及时给予补充和纠正,学生之间激烈的学生讨论不但营造了良好的教学环境,而且很大程 度上激发了学生的学习兴趣。3 由助教组建立课程 QQ 群,在课余解决学生的疑问,让研讨 在课后得到延续。 学生的学业评价由三大部分组成: 1 期末考试(50%) 侧重考核学生对基础知识的掌握程度,评估学生运用所学知识分析解决问题的能力。 2“探究”教学过程考核(50%) 侧重考查学生上课参与与互动“研究”的程度。包括观点陈述比较、问题理解能力、语 言表达能力和精神状态等,采用现场考核,随堂打分记录的方式
四、考核方式与成绩评定(成绩评定指最终考核成绩的构成,说明平时考核成绩 与期末考试成绩各占的比例) 基础知识闭卷考试50%+研讨50%。 五、教材及主要参考书目(请参考参考文献格式,说明作者、书名、出版社及出 版时间) 教材: [1)《半导体光子学》,余金中编著,科学出版社,2015年. 参考教材: [1《固体光电子学》,傅竹西编著,中国科学技术大学出版社,2012年 [2]《Optoelectronics and photonics principles and practices》),S.O.Kasap编著,电子工业 出版社,2003年. [3)《半导体集成光电子学》,W.T.TSANG.编著,电子工业出版社,1993年 [4]《Semiconductor Optoelectronic Devices(Second Edition)》,Pallab Bhattacharya编著, Prentice Hal,1997年. [5]《半导体光电子学(第2版)》,黄德修编著,电子工业出版社,2013年 (大纲撰写人:陆荣国) (大纲审稿人:刘爽)
四、考核方式与成绩评定(成绩评定指最终考核成绩的构成,说明平时考核成绩 与期末考试成绩各占的比例) 基础知识闭卷考试 50%+研讨 50%。 五、教材及主要参考书目(请参考参考文献格式,说明作者、书名、出版社及出 版时间) 教材: [1] 《半导体光子学》,余金中编著,科学出版社,2015 年. 参考教材: [1] 《固体光电子学》,傅竹西编著,中国科学技术大学出版社,2012 年. [2] 《Optoelectronics and photonics principles and practices》,S. O. Kasap 编著,电子工业 出版社,2003 年. [3] 《半导体集成光电子学》,W. T. TSANG. 编著, 电子工业出版社,1993 年. [4] 《Semiconductor Optoelectronic Devices(Second Edition)》,Pallab Bhattacharya 编著, Prentice Hal, 1997 年. [5] 《半导体光电子学(第 2 版)》,黄德修编著,电子工业出版社,2013 年. (大纲撰写人:陆荣国) (大纲审稿人:刘爽)