
麻省理工学院 电气工程及计算机科学系 6,012电子器件与电路 问题集6 布置:2003年10月10日 粮止:2003年10月17日 问思1-已知μh=00©m2V-s做课程中的问题9.1,不要用避中的给定值。 问思2.做课程中的问题9.8 国愿3下面这个图所阐述的同题是很新奇的半导体氧化物半导体(505)结构。两段半导体区域 军是的p型硅材料,净受主浓度为10m:氧化物是一个50m(5xl0*cm)厚的二氧化硅层. 硅Si的介电常数是1012Fkm,二氧化硅的介电常数是3.5x10Fcm p-Si p-Si 10cm 3 10cm3 -t=/20t/2 解决这个问题时用耗尽近拟慎醒。假定损耗区城的瓷度小于w2图中的刻度不准。 (a》当VA0且图示结构处于热平衡状态时,在下面的空白处绘出x位于,w2和w2之间的静电势 分布的草图并作出标注。 (b)当p型区规的热平衡静电势为P时,在器件两端加上偏置电压使得x气2时的静电势等于 p,也设是(L2二甲)·我们移这种现象为右侧倒置激发。并且称这个偏置电压为右侧门限电压, VIR (i》 V:的标志是什么?解释你的答案。 (i) 在此偏置电压下,右边2侧的耗尽层的厚皮是多少? () 在此偏置电压作用下,左侧即x-2侧的半导体氧化物接触面的状态是? (iw》 V的值是多少? (c)检出和标注净电荷密度。风x,当偏置电压V为V+2V时,-2<x<2范调内的净电荷密 度分布图并作出标注:别忘了《6)中对V的定文。请务必标注纵坐标并说明每一个脉冲的量领
麻省理工学院 电气工程及计算机科学系 6.012 电子器件与电路 问题集 6 布置:2003 年 10 月 10 日 截止:2003 年 10 月 17 日 问题 1已知µh = 300 cm2/Vs 做课程中的问题 9.1,不要用题中的给定值。 问题2 做课程中的问题9.8。 问题 3下面这个图所阐述的问题是很新奇的半导体氧化物半导体(SOS)结构。两段半导体区域 都是的 p 型硅材料,净受主浓度为 1016cm3;氧化物是一个 50nm(5x106cm)厚的二氧化硅层。 硅 Si 的介电常数是 1012F/cm,二氧化硅的介电常数是 3.5x1013F/cm。 解决这个问题时用耗尽近似模型。假定损耗区域的宽度小于w/2,图中的刻度不准。 (a)当VAB=0且图示结构处于热平衡状态时,在下面的空白处绘出x位于w/2和w/2之间的静电势 分布的草图并作出标注。 (b)当 p 型区域的热平衡静电势为 p 时,在器件两端加上偏置电压使得 x=tox/2 时的静电势等于 p,也就是(tox/2=p)。我们称这种现象为右侧倒置激发,并且称这个偏置电压为右侧门限电压, VTR。 (i) VTR的标志是什么?解释你的答案。 (ii) 在此偏置电压下,右边 tox/2 侧的耗尽层的厚度是多少? (iii) 在此偏置电压作用下,左侧即 x=tox/2 侧的半导体氧化物接触面的状态是? (iv) VTR的值是多少? (c)绘出和标注净电荷密度,ρ(x), 当偏置电压VTR为VAB+2V时, w/2<x<w/2范围内的净电荷密 度分布图并作出标注;别忘了(b)中对VTR的定义。请务必标注纵坐标并说明每一个脉冲的量级

(d》当偏置电压为V.的前提下,定义使得x-ow2时电压为-p的左门限电压V·V是多少?(如 果际愿意,华可以对黑V给出你的答案,利用对称分析能够简化计算) ()注意:这个部分只占4分,所以不要在这里花太多时间。假设现在是一个不一样的S05结构, 其中左侧半导体区域渗杂为n型而不是P型。净携杂沫度为10m3。 0 绘出热平衡也就是V0条件下,当-w2xw2时的净电势。标注纵轴,而无需计 算任何耗尽层的厚度。 ( 绘出当此结构中VA广V时静电势的简阁,VTR的定文和前面的一样参看(b)]但 取值无需相等。 (i而 当V和V的定义果前面一样时,对照新结构下V的值,得到Vn的值是多少? (利用问题的不对称性分析能够简化求解过程) 何思4下面是比较有代表性的丙个硅器针结构 Device A: Device B: 15 p-Si 20m p-Si B 这两个器件都是用净携杂水平为10”em3的p型硅制成的.20■m宽.m区携杂为10m,r p结离顶面距离11m。薄氧化物是一种高质量热氧化物16m厚,20gm宽,15m长。在器件A 里,n区20m宽,5μm长,伸展一直到博氧化物的边缘,在卷件B里,它204m党。20μm长,全 部种展到薄氧化物下,如图所示。 保也许认为整个硅的电子迁移率,ue,为1600cmV-s空穴迁移半为600cmVs(除了在 600cmV-s和■cmV-s的逆转层);在室温下,木征载流子浓度,n为10©m:介电常数, Si,为102Fcm氧化物的介电常数,ax,为3*10平km,相对于纯硅,门金属d的静电势为0.3V。 (注意:这有比你活要更多的信息,阻是我们可以把这个问思血在后面的问思设定)。 a)i)在室温下,在热平衡状态下,相对于纯砖来说。什么是型硅的静电势 i门在室温下什么是无偏+p结的内置电势? b)器作ABOS电容器结构平带电压,V分别是多少T c)在这些器件中,一个MO5结构的门槛电压的大小,V为1V,另一个为4V.利用这个信息和你 的MOS电容器的知机推斯出每个MOS电客器的大小和标注。例如用p型硅做的和用型硅做的
(d)当偏置电压为VAB的前提下,定义使得x=tox/2时电压为p的左门限电压VTL。VTL是多少?(如 果你愿意,你可以对照VTR给出你的答案,利用对称分析能够简化计算) (e)注意:这个部分只占 4 分,所以不要在这里花太多时间。假设现在是一个不一样的 SOS 结构, 其中左侧半导体区域掺杂为 n 型而不是 p 型,净掺杂浓度为 1016 cm3。 (i) 绘出热平衡也就是 VAB=0 条件下,当w/2<x<w/2 时的净电势。标注纵轴,而无需计 算任何耗尽层的厚度。 (ii) 绘出当此结构中 VAB=VTR时静电势的简图,VTR 的定义和前面的一样[参看(b)]但 取值无需相等。 (iii) 当 VTR和 VTL的定义跟前面一样时,对照新结构下 VTR的值,得到 VTL的值是多少? (利用问题的不对称性分析能够简化求解过程) 问题4下面是比较有代表性的两个硅器件结构 这两个器件都是用净掺杂水平为10 17 cm 3 的p型硅制成的, 20 μm 宽.n+区掺杂为1018cm3, ,n+ p结离顶面距离1µm 。薄氧化物是一种高质量热氧化物16nm厚,20µm 宽,15µm 长。在器件A 里,n+区20µm宽,5µm 长,伸展一直到薄氧化物的边缘。在器件B里,它20µm宽,20µm 长,全 部伸展到薄氧化物下,如图所示。 你也许认为整个硅的电子迁移率 , µe, 为1600 cm2 /Vs,空穴迁移率为 600cm2 /Vs(除了在 =600 cm2 /Vs和 = cm2 /Vs的逆转层);在室温下,本征载流子浓度, ni,为1010 cm3 ;介电常数, Si,为1012 F/cm.氧化物的介电常数, ox, 为3*1013F/cm,相对于纯硅,门金属d的静电势为0.3V。 (注意: 这有比你需要更多的信息,但是我们可以把这个问题加在后面的问题设定)。 a) i)在室温下,在热平衡状态下,相对于纯硅来说,什么是p型硅的静电势 ii)在室温下什么是无偏n+p结的内置电势? b)器件A,BMOS电容器结构平带电压,VFB分别是多少? c)在这些器件中,一个MOS结构的门槛电压的大小,|VT|为1V,另一个为4V。利用这个信息和你 的MOS电容器的知识推断出每个MOS电容器的大小和标注。例如用p型硅做的和用n型硅做的

0在门电压Y。为V的每个器件的薄氧化物的下面的半导体表面(累积,耗尽,成反型)的条件 是什么?给出氧亿硅表面的移动空穴成电子的特性和板密度。 可题5这个问题要求你利用近程实验系统进行器件测量,即网络实数室”系统。防冈 p边m山阅读这提供的用户手精。(指导你登记并符到一个网络实验室用户帐号, 但是如果乐没有这么做。还没有用户帐号,按照问题设定5的说明)·读完这个手册之后,测量一 下网储实验室的器作2部分。通过Ja程序的“信道精确度”这择器针菜单中所列出的器件, (a)在电压-10V到+IV之间时测量这个器件的电流-电压特性。系绕提俱的最大电流为 1O0mA,本器件可以达到这个数量,但是一股情况比这个要少。实验中要考虑到保护这些墨件, 因为被测量的即二极管是真实的,它可以被破坏。如知果这些特性看起来不理想,试一下第二个器 件并且告诉我们(看看下面的注解)。 用两种方式西出特性曲线: ()线性坚标,即画出.和VA:的关系曲线 (i)对数-线性坐标,即画出1ag.oV的关系由线 我们注意选择“自动刻度”功修对绘特性根有帮助。采用这种方式典型的最低电流值是10心A。 最后,你需要打印出屑格实登室“测量结果”根的屏幕显示内容,然后与作业的其它部分一起上 交。 (b)对比饱和电流值1s,从两种方法入于: (i)VAn<kT向时的k (百)当VA变为零时城轴上的截取值vA, (©》假定vT作理想变化,从对数-线性图可以确定器件温度。注意到你己经通过“测量结果 医的“查看数据”按钮得到了实际数据。它们可以通过“下载数据按钮下载到本烛碰盘。 ()在多大的正向偏置电压作用下,类中性区域、结点和导线中可以忽略串联电阻的假设开始不 成立?你估计器件中的申联电阻是多大T 对网络实验室的用加总评: 如果你碰到了网络实验室或者二极管方面的问恩,请给网路试验家工程的负责人del Alam心教授 (lamo@mit.edu)或者网络实验室系统主管Jim Hardison《hardison@ml.mit.ed发e-mail. 运用好建立在“通道定义”面版中的“文件素单”下的“工具”栏中的安装管理函数(参看用户 于糖)将使你受益匪浅。 为了研究需要。系辣记录了所有的登录情况和每个用户的笔记
d) 在门电压VGB,为2V的每个器件的薄氧化物的下面的半导体表面(累积,耗尽,或反型)的条件 是什么?给出氧化硅表面的移动空穴或电子的特性和板密度。 问题5-这个问题要求你利用远程实验系统进行器件测量,即“网络实验室”系统。访问 http://weblab.mit.edu,阅读这提供的用户手册。(指导你登记并得到一个网络实验室用户帐号, 但是如果你没有这么做,还没有用户帐号,按照问题设定5的说明)。读完这个手册之后,测量一 下网络实验室的器件2部分。通过Java程序的“信道精确度”选择器件菜单中所列出的器件。 (a)在电压10V到+1V之间时测量这个器件的电流电压特性。系统提供的最大电流为 100mA,本器件可以达到这个数量,但是一般情况比这个要少。实验中要考虑到保护这些器件。 因为被测量的pn二极管是真实的,它可以被破坏。如果这些特性看起来不理想,试一下第二个器 件并且告诉我们(看看下面的注解)。 用两种方式画出特性曲线: (i)线性坐标,即画出.iD 和 VAB 的关系曲线 (ii)对数线性坐标,即画出log.iD和VAB的关系曲线 我们注意选择“自动刻度”功能对绘制特性很有帮助。采用这种方式典型的最低电流值是 100nA。 最后,你需要打印出网络实验室“测量结果”框的屏幕显示内容,然后与作业的其它部分一起上 交。 (b)对比饱和电流值 Is,从两种方法入手: (i) VAB<<kT/q时的|iD|; (ii)当 VAB变为零时纵轴上的截取值 I seqVAB/kT。 (c)假定 eqVAB/kT作理想变化,从对数线性图可以确定器件温度。注意到你已经通过“测量结果” 框的“查看数据”按钮得到了实际数据。它们可以通过“下载数据”按钮下载到本地磁盘。 (d)在多大的正向偏置电压作用下,类中性区域、结点和导线中可以忽略串联电阻的假设开始不 成立?你估计器件中的串联电阻是多大? 对网络实验室的附加总评: 如果你碰到了网络实验室或者二极管方面的问题,请给网络试验室工程的负责人 del Alamo 教授 (alamo@mit.edu)或者网络实验室系统主管 Jim Hardison(hardison@mtl.mit.edu)发 email。 运用好建立在“通道定义”面板中的“文件菜单”下的“工具”栏中的安装管理函数(参看用户 手册)将使你受益匪浅。 为了研究需要,系统记录了所有的登录情况和每个用户的笔记