《薄膜材料与薄膜技术》教学大纲课程名称：薄膜材料与薄膜技术课程类别（必修/选修）：选修课程英文名称：ThinFilmMaterialsandThinFilmTechnology其中实验/实践学时：0总学时/周学时/学分：24/3/1.5先修课程：高等数学、大学物理、材料科学基础、材料分析方法等后续课程支撑：材料制备方法、真空技术、毕业设计等授课地点：松山湖校区6A402授课时间：周一/5-7节授课对象：2019金属班开课学院：材料科学与工程任课数师姓名/职称：李月明/刷研究员答疑时间、地点与方式：1.通过微信、QQ、电子邮件等线上答疑；2.习题课，安排集中答疑：3.每次上课的课间和课后，采用一对一的间答方式。课程考核方式：开卷（）闭卷（）课程论文（V）其它（）使用教材：唐伟忠。《薄膜材料制备原理、技术及应用》（第2版），冶金工业出版社：教学参考资料：田民波著，《薄膜技术与薄膜材料》，清华大学出版社：辛煜，叶超。《固体薄膜材料与制备技术》，科学出版社：杨邦朝，王文生。《薄膜物理与技术》，电子科技大学出版社：M.Oring.《MaterialScienceOfThinFilms-Deposition&Structure》世图影印版课程简介：薄膜材料及其加工技术在航空航天、电子信息、机械工程、能源、生物医学等国民经济主要行业和领域中发挥着越来越重要的作用。本课程主要包括薄膜制备的真空技术基础，薄膜的物理气相沉积，薄膜的化学气相沉积，薄膜的生长过程和薄膜结构，薄膜的表征方法和薄膜材科及其应用等六部分内容。课程的开设旨在引导学生了解薄膜材料和薄膜技术的发展概况，初步掌握真空技术的相关知识和薄膜制备方法及技术体系，理解薄膜沉积过程中工艺参数对薄膜结构、成分、内应力等的影响，掌握薄膜结构的表征方法，为薄膜材料的制备和应用研究奠定基础。课程教学目标及对毕业要求指标点的支撑：支撑毕业要求指标点毕业要求课程教学目标目标1：C3能够针对金属材料领域的复杂工程C3.设计/开发解决方案：能够设计针金属材料的设1
1 《薄膜材料与薄膜技术》教学大纲 课程名称：薄膜材料与薄膜技术 课程类别（必修/选修）：选修 课程英文名称：Thin Film Materials and Thin Film Technology 总学时/周学时/学分：24/3/1.5 其中实验/实践学时：0 先修课程：高等数学、大学物理、材料科学基础、材料分析方法等 后续课程支撑：材料制备方法、真空技术、毕业设计等 授课时间：周一/5-7 节 授课地点：松山湖校区 6A402 授课对象：2019 金属班 开课学院：材料科学与工程 任课教师姓名/职称：李月明/副研究员 答疑时间、地点与方式：1. 通过微信、QQ、电子邮件等线上答疑；2. 习题课，安排集中答疑；3. 每次上课的课间和课后，采用一对一的问答方式。 课程考核方式：开卷（）闭卷（）课程论文（）其它（ ） 使用教材：唐伟忠.《薄膜材料制备原理、技术及应用》（第 2 版），冶金工业出版社； 教学参考资料：田民波著.《薄膜技术与薄膜材料》，清华大学出版社；辛煜，叶超.《固体薄膜材料与制备技术》，科学出版社；杨邦朝，王文生.《薄 膜物理与技术》，电子科技大学出版社；M.Oring. 《Material Science Of Thin Films-Deposition & Structure》世图影印版 课程简介：薄膜材料及其加工技术在航空航天、电子信息、机械工程、能源、生物医学等国民经济主要行业和领域中发挥着越来越重要的作用。本课程 主要包括薄膜制备的真空技术基础，薄膜的物理气相沉积，薄膜的化学气相沉积，薄膜的生长过程和薄膜结构，薄膜的表征方法和薄膜材料及其应用等 六部分内容。课程的开设旨在引导学生了解薄膜材料和薄膜技术的发展概况，初步掌握真空技术的相关知识和薄膜制备方法及技术体系，理解薄膜沉积 过程中工艺参数对薄膜结构、成分、内应力等的影响，掌握薄膜结构的表征方法，为薄膜材料的制备和应用研究奠定基础。 课程教学目标及对毕业要求指标点的支撑： 课程教学目标 支撑毕业要求指标点 毕业要求 目标 1： C3 能够针对金属材料领域的复杂工程 C3．设计/开发解决方案：能够设计针金属材料的设
掌握薄膜材料的定义、分类、制备、形成过程、成分、结问题，设计满足特定需求的解决方案或计、制备、成型加工过程中所涉及的工艺、生产流构综合性能：熟悉薄膜材料沉积装备的原理及技术手段。工艺流程。程及设备进行设计并制定开发解决方案，能够在设计环节中体现创新意识，考虑社会、健康、安全、法律、文化以及环境等因素。目标2：C4能够设计与金属材料工程专业相关C4.研究：能够基于科学原理并采用科学方法对金属材料工程领域复杂工程问题进行研究，包括设计掌握薄膜材料制备方法，装备的基本原理与基本操作：使的分析、测试、检验等实验，对金属材用常用物理气相沉积和化学气相沉积法，能进行简单薄膜料工程相关的复杂工程问题进行研究，实验、分析与解释数据、并通过信息综合得出合理材料的制备。并通过信息综合得到合理有效的结论。有效的结论。目标3：C6能够分析或预测产品设计、研发和培养学生具有主动参与、积极进取、崇尚科学、探究科学加工过程中可能出现的问题，能够评价C6.工程与社会：能够基于金属材料与工程相关背金属材料工程专业工程实践和复杂工景知识进行合理分析，评价金属材料工程领域实践的学习态度和思想意识：养成理论联系实际、科学严谨、和复杂工程问题解决方案对社会、健康、安全、法认真细致、实事求是的科学态度和职业道德。程问题解决方案对社会、健康、安全、法律以及文化的影响，并理解应承担的律以及文化的影响，并理解应承担的责任。责任。理论教学进程表教学模式授课教学时教学内容（重点、难点、课程思政融入支撑课周次教学主题教学方法作业安排师数点)（线上/线下）程目标腾讯会议讲述大纲，介绍本课程的主要内容、上绪论及薄膜制备的线上李月明目标一1-2直播课堂课要求以及考核方式等内容。真空技术基础2
2 掌握薄膜材料的定义、分类、制备、形成过程、成分、结 构综合性能；熟悉薄膜材料沉积装备的原理及技术手段。 问题，设计满足特定需求的解决方案或 工艺流程。 计、制备、成型加工过程中所涉及的工艺、生产流 程及设备进行设计并制定开发解决方案，能够在设 计环节中体现创新意识，考虑社会、健康、安全、 法律、文化以及环境等因素。 目标 2： 掌握薄膜材料制备方法，装备的基本原理与基本操作；使 用常用物理气相沉积和化学气相沉积法，能进行简单薄膜 材料的制备。 C4 能够设计与金属材料工程专业相关 的分析、测试、检验等实验，对金属材 料工程相关的复杂工程问题进行研究， 并通过信息综合得到合理有效的结论。 C4．研究：能够基于科学原理并采用科学方法对金 属材料工程领域复杂工程问题进行研究，包括设计 实验、分析与解释数据、并通过信息综合得出合理 有效的结论。 目标 3： 培养学生具有主动参与、积极进取、崇尚科学、探究科学 的学习态度和思想意识；养成理论联系实际、科学严谨、 认真细致、实事求是的科学态度和职业道德。 C6 能够分析或预测产品设计、研发和 加工过程中可能出现的问题，能够评价 金属材料工程专业工程实践和复杂工 程问题解决方案对社会、健康、安全、 法律以及文化的影响，并理解应承担的 责任。 C6. 工程与社会：能够基于金属材料与工程相关背 景知识进行合理分析，评价金属材料工程领域实践 和复杂工程问题解决方案对社会、健康、安全、法 律以及文化的影响，并理解应承担的责任。 理论教学进程表 周次 教学主题 授课教 师 学时 数 教学内容（重点、难点、课程思政融入 点） 教学模式 （线上/线下） 教学方法 作业安排 支撑课 程目标 1-2 绪论及薄膜制备的 真空技术基础 李月明 4 讲述大纲，介绍本课程的主要内容、上 课要求以及考核方式等内容。 线上 腾讯会议 直播课堂 目标一
讲述开篇绪论部分，介绍薄膜制备的真空基础。重点：薄膜的定义、分类。难点：薄膜的分类，真空技术与薄膜材料与技术的关系。课程思政融入点：介绍薄膜材料的研究进展，和我国在薄膜材料上的成果，并与发达国家相比较，让学生正确意识到我国曾在古代引导人类文明的前进，但是目前我国与发达国家相比，科技上还有很大差距，引出“李约瑟难题”，激发学生的家国情怀与使命担当，鼓励同学们勇于创新，为中华民族的伟大复兴而努力学习奋斗，课程思政作业：通过文献检索或网络重点：物理气相沉积方法及装备资源查找，每人须优学院薄膜的物理气相沉李月明线上目标二2-3难点：物理气相沉积镀膜原理阅读至少十篇薄膜积课堂直播材料有关的文献，并整理制作PPT。（学生根据课程内
3 讲述开篇绪论部分，介绍薄膜制备的真 空基础。 重点：薄膜的定义、分类。 难点：薄膜的分类，真空技术与薄膜材 料与技术的关系。 课程思政融入点：介绍薄膜材料的研究 进展，和我国在薄膜材料上的成果，并 与发达国家相比较，让学生正确意识到 我国曾在古代引导人类文明的前进，但 是目前我国与发达国家相比，科技上还 有很大差距，引出“李约瑟难题”，激 发学生的家国情怀与使命担当，鼓励同 学们勇于创新，为中华民族的伟大复兴 而努力学习奋斗。 2-3 薄膜的物理气相沉 积 李月明 5 重点：物理气相沉积方法及装备 难点：物理气相沉积镀膜原理 线上 优学院 课堂直播 课程思政作业：通 过文献检索或网络 资源查找，每人须 阅读至少十篇薄膜 材料有关的文献， 并整理制作 PPT。 （学生根据课程内 目标二
容选定不同的主题)重点：化学气相沉积反应的类型、气相沉积装备和技术。难点：化学气相沉积反应过程的热力学和动力学。课程思政融入点：介绍黄子卿教授的科研经历和爱国情怀。黄子卿教授是中国物理化学奠基人之一，在热力学、溶液理论、电化学和生物化学等方面颇有建课程思政作业：阅树。曾以严谨的科学态度精心设计实验优学院薄膜的化学气相沉读薄膜相关的文献李月明线上目标二24-5装置，排除了各种可能的干扰，精确测积或书籍，继续完善课堂直播定了水的三相点，后被确定为国际热力PPT.学温标的基准点，具有划时代意义。黄先生除了坚持不懈的探索精神，其深厚的爱国情怀更令人印象深刻。黄先生生于外强入侵国家多灾多难的年代，在美取得博士学位时正值日本全面侵华战争的前夕。他不多人反对，毅然回到祖国，报效国家。新中国成立后，他更不国的化学教育和科学研究借余力地为X
4 容 选 定 不 同 的 主 题） 4-5 薄膜的化学气相沉 积 李月明 4 重点：化学气相沉积反应的类型、气相 沉积装备和技术。 难点：化学气相沉积反应过程的热力学 和动力学。 课程思政融入点：介绍黄子卿教授的科 研经历和爱国情怀。黄子卿教授是中国 物理化学奠基人之一，在热力学、溶液 理论、电化学和生物化学等方面颇有建 树。曾以严谨的科学态度精心设计实验 装置，排除了各种可能的干扰，精确测 定了水的三相点，后被确定为国际热力 学温标的基准点，具有划时代意义。黄 先生除了坚持不懈的探索精神，其深厚 的爱国情怀更令人印象深刻。黄先生生 于外强入侵国家多灾多难的年代，在美 取得博士学位时正值日本全面侵华战争 的前夕。他不顾多人反对，毅然回到祖 国，报效国家。新中国成立后，他更不 惜余力地为中国的化学教育和科学研究 线上 优学院 课堂直播 课程思政作业：阅 读薄膜相关的文献 或书籍，继续完善 PPT。 目标二
工作贡献了毕生的精力。重点：薄膜生长过程、形核理论、薄膜结构。难点：薄膜中的应力与薄膜附着力。课程思政融入点：薄膜生长过程中，每优学院薄膜的生长过程和李月明线上目标二：4作业5-6一个影响因素都会对最终薄膜的质量产薄膜结构课堂直播生或多或少的影响，因此在薄膜制备过程中要严格的控制每个参数，以此为切入点融入认真负责和刻苦钻研的工匠精神。重点：薄膜厚度的测量方法、薄膜结构课堂讲授/的表征方法。李月明线下目标二46-7.薄膜的表征方法小组讨论难点：薄膜成分的测量方法。重点：装饰功能薄膜、机械功能薄膜、物理机械薄膜、特殊功能薄膜、材料表面微细加工技术。课堂讲授/功能薄膜材料及其李月明3线下目标三8难点：特殊功能薄膜、材料表面微细加小组讨论应用工技术。课程思政融入点：通过薄膜的广泛应用，尤其是在电子计算机以及电子手表等显5
5 工作贡献了毕生的精力。 5-6 薄膜的生长过程和 薄膜结构 李月明 4 重点：薄膜生长过程、形核理论、薄膜 结构。 难点：薄膜中的应力与薄膜附着力。 课程思政融入点：薄膜生长过程中，每 一个影响因素都会对最终薄膜的质量产 生或多或少的影响，因此在薄膜制备过 程中要严格的控制每个参数，以此为切 入点融入认真负责和刻苦钻研的工匠精 神。 线上 优学院 课堂直播 作业 目标二 6-7 薄膜的表征方法 李月明 4 重点：薄膜厚度的测量方法、薄膜结构 的表征方法。 难点：薄膜成分的测量方法。 线下 课堂讲授/ 小组讨论 目标二 8 功能薄膜材料及其 应用 李月明 3 重点：装饰功能薄膜、机械功能薄膜、 物理机械薄膜、特殊功能薄膜、材料表 面微细加工技术。 难点：特殊功能薄膜、材料表面微细加 工技术。 课程思政融入点：通过薄膜的广泛应用， 尤其是在电子计算机以及电子手表等显 线下 课堂讲授/ 小组讨论 目标三
示装置上，且薄膜芯片加载到无人机、共享单车、建筑、衣服等上面，可以实现随时随地充电，颠覆传统的能源生产和消费方式，提升人民生活水平。鼓励同学们学好专业知识，增强专业自信，服务企业、奉献社会。科技的便利离不开党的领导和国家的制度，增强制度自信和文化自信。合计24课程考核评价依据及成绩比例（%）比例总计（%）课程目标支撑毕业要求指标点作业考勤PPT期末论文25C30n1010目标一5n目标二C410153540inn1020目标三C6100总计10304515备注：1）根据（东莞理工学院考试管理规定》第士二条规定：广课3次（或6课时）学生不得参加该课程的期终考核2）各项考核标准见附件所示，6
6 示装置上，且薄膜芯片加载到无人机、 共享单车、建筑、衣服等上面，可以实 现随时随地充电，颠覆传统的能源生产 和消费方式，提升人民生活水平。鼓励 同学们学好专业知识，增强专业自信， 服务企业、奉献社会。科技的便利离不 开党的领导和国家的制度，增强制度自 信和文化自信。 合计 24 课程考核 课程目标 支撑毕业要求指标点 评价依据及成绩比例（%） 比例总计（%） 作业 PPT 期末论文 考勤 目标一 C3 0 10 10 5 25 目标二 C4 5 10 15 5 35 目标三 C6 5 10 20 5 40 总计 10 30 45 15 100 备注：1）根据《东莞理工学院考试管理规定》第十二条规定：旷课 3 次（或 6 课时）学生不得参加该课程的期终考核。2）各项考核标准见附件所示
大纲编写时间：2022年2月17日系（部）审查意见：我系已对本课程教学大纲进行了审查，同意执行。达系（部）主任签名：2年2月21日日期：2022备注：7
7 大纲编写时间：2022 年 2 月 17 日 系（部）审查意见： 我系已对本课程教学大纲进行了审查，同意执行。 系（部）主任签名： 日期： 2022 年 2 月 21 日 备注：
附录：各类考核评分标准表作业评分标准评分标准观测点B(85)C(70)D(O)A(100)概念比较清楚，作业比较认真，概念基本清楚，答题基本正概念不太清楚，答题错误基本概念掌握程度概念清楚，答题正确。确。较多。答题比较正确。概念比较清楚，作业比较认真，概念基本清楚，答题基本正概念不太清楚，答题错误解决问题的方案正确性解题思路清晰，计算正确。确。答题比较正确。较多。按时完成，书写较为一般，未交作业或后期补交，不按时完成，书写工整、清晰，按时完成，书写清晰，主要符号、作业完成态度部分符号、单位按照规范执能辨识，符号、单位等不符号、单位等按规范要求执行。单位按照规范执行。行。按照规范执行。PPT演示评分标准评分标准观测点A(100)B(85)C(70)D(O)格式规范，标题、内容等重点格式基本规范，基本能区分PPT格式排版格式较为规范，能区分主次标题标题和内容区分不明显，主次标题和内容，排版尚一目了然，在字体字号方面有和内容，排版较为整齐。不注意排版。（权重0.3)可。区别：排版整齐美观。8
8 附录：各类考核评分标准表 作业评分标准 观测点 评分标准 A(100) B(85) C(70) D(0) 基本概念掌握程度 概念清楚，答题正确。 概念比较清楚，作业比较认真， 答题比较正确。 概念基本清楚，答题基本正 确。 概念不太清楚，答题错误 较多。 解决问题的方案正确性 解题思路清晰，计算正确。 概念比较清楚，作业比较认真， 答题比较正确。 概念基本清楚，答题基本正 确。 概念不太清楚，答题错误 较多。 作业完成态度 按时完成，书写工整、清晰， 符号、单位等按规范要求执行。 按时完成，书写清晰，主要符号、 单位按照规范执行。 按时完成，书写较为一般， 部分符号、单位按照规范执 行。 未交作业或后期补交，不 能辨识，符号、单位等不 按照规范执行。 PPT 演示评分标准 观测点 评分标准 A(100) B(85) C(70) D(0) PPT 格式排版 （权重 0.3） 格式规范，标题、内容等重点 一目了然，在字体字号方面有 区别；排版整齐美观。 格式较为规范，能区分主次标题 和内容，排版较为整齐。 格式基本规范，基本能区分 主次标题和内容，排版尚 可。 标题和内容区分不明显， 不注意排版
主题清晰明确，内容准确反映与主题有所相关，基本能够对应主题，能够反映相关课题对PPT内容相关课题对应的国内外研究前反映相关课题对应的国内与课题不相关，没有进行应的国内外材料前沿，内容较为沿，内容丰富（包含图示或视外材料前沿，具有基本的内相关内容的介绍。（权重0.4）丰富（包含图片等）。容介绍。频等）。PPT讲述未提交或后期补交，内容思路清晰，表达流畅，对所讲照着PPT直接读，不太熟思路较为清晰，表达较为顺畅。练。领域内容非常熟悉，大方自信。不完整，未进行有效讲述。（权重0.3)期末论文评分标准评分标准观测点A(100)B(85)C(70)D(0)文献主题和内容与课程或专业文献主题和内容与课程或文献主题和内容与课程或论文主题和内容与课程或专业主题、内容跟课程相关性较为相关，参考文献选自正规的专业相关性较低，文献来源专业不相关，文献来源不密切相关，参考文献引用合理明学术期刊一般的学术期刊论文对主题的阐述合理，逻辑论文对主题的阐述基本合论文对主题的阐述较为合理，逻论文拼凑明显，未体现个清晰，介绍相关的发展趋势及理，有一定逻辑，罗列介绍论文内容辑较为清晰，介绍相关的研究发人思维及加工思路，内容最新前沿，图文并茂，科学严相关的研究发展历程，文章敷衍。展历程，图文清晰，科学严谨。谨。很少或基本无图。版面整齐，字体统一，符号应版面较为整齐，字体较为统一，版面基本整齐，字体基本统版面非常混乱，字体不统论文版面和格式用标准，参考文献格式规范。符号应用较为标准，参考文献格一，符号应用基本标准，有一，符号应用不符合规范，9
9 PPT 内容 （权重 0.4） 主题清晰明确，内容准确反映 相关课题对应的国内外研究前 沿，内容丰富（包含图示或视 频等）。 对应主题，能够反映相关课题对 应的国内外材料前沿，内容较为 丰富（包含图片等）。 与主题有所相关，基本能够 反映相关课题对应的国内 外材料前沿，具有基本的内 容介绍。 与课题不相关，没有进行 相关内容的介绍。 PPT 讲述 （权重 0.3） 思路清晰，表达流畅，对所讲 领域内容非常熟悉，大方自信。 思路较为清晰，表达较为顺畅。 照着 PPT 直接读，不太熟 练。 未提交或后期补交，内容 不完整，未进行有效讲述。 期末论文评分标准 观测点 评分标准 A(100) B(85) C(70) D(0) 主题、内容跟课程相关性 论文主题和内容与课程或专业 密切相关，参考文献引用合理 文献主题和内容与课程或专业 较为相关，参考文献选自正规的 学术期刊 文献主题和内容与课程或 专业相关性较低，文献来源 一般的学术期刊 文献主题和内容与课程或 专业不相关，文献来源不 明 论文内容 论文对主题的阐述合理，逻辑 清晰，介绍相关的发展趋势及 最新前沿，图文并茂，科学严 谨。 论文对主题的阐述较为合理，逻 辑较为清晰，介绍相关的研究发 展历程，图文清晰，科学严谨。 论文对主题的阐述基本合 理，有一定逻辑，罗列介绍 相关的研究发展历程，文章 很少或基本无图。 论文拼凑明显，未体现个 人思维及加工思路，内容 敷衍。 论文版面和格式 版面整齐，字体统一，符号应 用标准，参考文献格式规范。 版面较为整齐，字体较为统一， 符号应用较为标准，参考文献格 版面基本整齐，字体基本统 一，符号应用基本标准，有 版面非常混乱，字体不统 一，符号应用不符合规范
式较为规范。参考文献。不添加或者随意添加参考文献。考勤评分标准评分标准观测点A(100)B(85)C(70)D(O)三次以上未出勤者无平时无缺席，认真听讲，积极参与无缺席，认真听讲，参与互动及出勤及课程参与度基本无缺席，少于3次。成绩。互动及讨论。讨论。10
10 式较为规范。 参考文献。 不添加或者随意添加参考 文献。 考勤评分标准 观测点 评分标准 A(100) B(85) C(70) D(0) 出勤及课程参与度 无缺席，认真听讲，积极参与 互动及讨论。 无缺席，认真听讲，参与互动及 讨论。 基本无缺席，少于 3 次。 三次以上未出勤者无平时 成绩